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측정 대상물에 레이저 빔을 조사하는 레이저 광원;조사된 상기 레이저 빔에 의해 발생되는 광 신호 중 상기 측정 대상물에 포함된 피측정 가스에 의한 라만광 신호를 통과시키는 밴드패스필터;상기 밴드패스필터에 의해 반사된 광 신호의 세기를 측정하는 반사광 검출기; 및상기 반사광 검출기에서 측정된 광 신호의 세기를 보정하고, 보정된 광 신호를 이용하여 상기 라만광 신호로부터 잡음광 신호를 제거하는 신호 처리부;를 포함하는 라만 라이다 장치
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제1항에 있어서,상기 라만 라이다 장치는,상기 밴드패스 필터를 통과한 라만광 신호의 세기를 측정하는 광 검출기;를 더 포함하는 라만 라이다 장치
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제2항에 있어서,상기 신호 처리부는,상기 측정 대상물이 없을 때 상기 광 검출기에서 측정한 라만광 신호의 세기와 상기 측정 대상물이 없을 때 상기 반사광 검출기에서 측정한 광 신호의 세기의 비율만큼 상기 반사광 검출기에서 측정된 광 신호의 세기를 축소시킴으로써, 상기 반사광 검출기에서 측정된 광 신호의 세기를 보정하는 라만 라이다 장치
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| 4 |
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제3항에 있어서,상기 신호 처리부는, 상기 광 검출기에서 측정한 라만광 신호의 세기에서 보정된 상기 광 신호의 세기를 감산함으로써, 상기 라만광 신호로부터 상기잡음광 신호를 제거하는 라만 라이다 장치
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5
측정 대상물에 레이저 빔을 조사하는 레이저 광원;조사된 상기 레이저 빔에 의해 발생되는 광 신호 중 상기 측정 대상물에 포함된 피측정 가스에 의한 라만광 신호를 통과시키는 제1 밴드패스필터; 조사된 상기 레이저 빔에 의해 발생되는 광 신호 중 상기 측정 대상물에 포함된 기준 가스에 의한 기준 라만광 신호를 통과시키는 제2 밴드패스필터; 상기 제1 밴드패스필터 및 상기 제2 밴드패스필터에 의해 반사된 광 신호의 세기를 측정하는 반사광 검출기; 및상기 반사광 검출기에서 측정된 광 신호의 세기를 보정하고, 보정된 광 신호를 이용하여 상기 라만광 신호 및 상기 기준 라만광 신호로부터 잡음광 신호를 제거하는 신호 처리부를 포함하는 라만 라이다 장치
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제5항에 있어서,상기 라만 라이다 장치는,상기 제1 밴드패스 필터를 통과한 라만광 신호의 세기를 측정하는 제1 광 검출기; 및상기 제2 밴드패스 필터를 통과한 기준 라만광 신호의 세기를 측정하는 제2 광 검출기;를 더 포함하는 라만 라이다 장치
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7
제6항에 있어서,상기 측정 대상물이 없을 때 상기 제1 광 검출기에서 측정한 라만광 신호의 세기와 상기 측정 대상물이 없을 때 상기 반사광 검출기에서 측정한 광 신호의 세기의 비율만큼 상기 반사광 검출기에서 측정된 광 신호의 세기를 축소시켜 제1 보정된 광 신호의 세기를 구하며,상기 측정 대상물이 없을 때 상기 제2 광 검출기에서 측정한 라만광 신호의 세기와 상기 측정 대상물이 없을 때 상기 반사광 검출기에서 측정한 광 신호의 세기의 비율만큼 상기 반사광 검출기에서 측정된 광 신호의 세기를 축소시켜 제2 보정된 광 신호의 세기를 구하는 라만 라이다 장치
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제7항에 있어서,상기 신호 처리부는, 상기 제1 광 검출기에서 측정한 라만광 신호의 세기에서 상기 제1 보정된 광 신호의 세기를 감산함으로써 상기 라만광 신호로부터 상기 잡음광 신호를 제거하며,상기 제2 광 검출기에서 측정한 기준 라만광 신호의 세기에서 상기 제2 보정된 광 신호의 세기를 감산함으로써 상기 기준 라만광 신호로부터 상기 잡음광 신호를 제거하는 라만 라이다 장치
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제6항에 있어서,상기 라만 라이다 장치는,조사된 상기 레이저 빔에 의해 발생되는 광 신호를 분할하여 상기 제1 밴드패스필터 및 상기 제2 밴드패스필터로 입사시키며, 상기 제1 밴드패스필터에 의해 반사된 라만광 신호 및 상기 제2 밴드패스필터에 의해 반사된 기준 라만광 신호를 상기 반사광 검출기로 입사시키는 광 분할기를 더 포함하는 라만 라이다 장치
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