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레이저 간섭계에서 출사된 레이저 광이 목표 측정물에 입사되어 반사된 레이저 광을 수신하는 콜리메이팅 광학계에 있어서, 레이저 광이 출사되는 파이버 코어;상기 파이버 코어에서 출사된 레이저 광의 굴절률을 점진적으로 변화시켜, 후방측 제1초점으로 상기 레이저 광을 집속시키는 그린렌즈세트; 상기 제1초점을 기점으로 발산되는 레이저 광을 평행광 형태로 출사시켜 목표 측정물인 측정대상미러에 입사시키는 콜리메이팅 렌즈; 및상기 콜리메이팅 렌즈와 상기 측정대상미러 사이에 구비되어, 상기 콜리메이팅 렌즈에서 출사된 평행한 레이저 광의 폭을 배율만큼 감소시켜 상기 측정대상미러 측으로 출사시키는 반전 망원계;를 포함하고, 상기 측정대상미러에서 반사된 레이저 광은 콜리메이팅 렌즈, 그린렌즈 세트를 투과하여 상기 파이버 코어로 수신되는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계와 목표 측정물 사이에서 광신호를 송수신하는 콜리메이팅 광학계
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제 1항에 있어서, 상기 그린렌즈세트의 배율은 5 ~ 15인 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계와 목표 측정물 사이에서 광신호를 송수신하는 콜리메이팅 광학계
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제 3항에 있어서, 상기 그린렌즈세트는, 상기 파이버코어에서 출사되어 발산되는 형태의 레이저 광이 입사되어 평행광 형태로 굴절률을 점진적으로 변화시키는 제1그린렌즈; 및입사면이 상기 제1그린렌즈의 출사면과 연결되며, 상기 제1초점에 집속되도록 점진적으로 굴절률을 변화시키는 제2그린렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계와 목표 측정물 사이에서 광신호를 송수신하는 콜리메이팅 광학계
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제 1항에 있어서, 상기 반전망원계 배율은 5 ~ 15인 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계와 목표 측정물 사이에서 광신호를 송수신하는 콜리메이팅 광학계
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제 5항에 있어서, 상기 반전 망원경은, 상기 콜리메이팅 렌즈에서 출사한 평행광이 입사되어 후방의 제2초점으로 레이저 광을 집속시키는 대물렌즈; 및상기 제2초점에서 발산되는 레이저 광이 입사되어 상기 측정대상미러로 상기 레이저 광을 입사시키는 접안렌즈를 포함하고, 상기 접안렌즈에서 출사되는 레이저 광의 폭은 상기 대물렌즈로 입사되는 레이저 광의 폭보다 상기 반전망원계 배율만큼 감소되는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계와 목표 측정물 사이에서 광신호를 송수신하는 콜리메이팅 광학계
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제 1항에 있어서, 상기 측정대상미러에서 반사된 레이저 광이 수신 가능한 상기 측정대상미러의 임계 틸팅각도는, 상기 그린렌즈세트와 상기 반전 망원경이 구비되지 않은 것과 대비하여, 상기 그린렌즈세트와 배율과 상기 반전 망원경의 배율을 곱한 값 만큼 증가되는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계와 목표 측정물 사이에서 광신호를 송수신하는 콜리메이팅 광학계
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콜리메이팅 광학계를 이용하여, 레이저 간섭계에서 출사된 레이저 광이 목표 측정물에 입사되어 반사된 레이저 광을 수신하는 방법에 있어서, 파이버 코어에서 레이저 광이 출사되는 제1단계;상기 파이버 코어에서 출사된 레이저 광이 그린렌즈세트를 투과하면서, 굴절률을 점진적으로 변화되어, 후방측 제1초점으로 레이저 광이 집속되는 제2단계;상기 제1초점을 기점으로 발산되는 레이저 광이 콜리메이팅 렌즈에 입사되어 평행광 형태로 출사되는 제3단계; 상기 콜리메이팅 렌즈에서 출사된 평행한 레이저 광이 반전망원계로 입사되어, 레이저 광의 폭을 배율만큼 감소시켜 측정대상미러 측으로 출사되는 제4단계; 상기 측정대상미러에서 반사된 레이저 광이 상기 반전망원계, 상기 콜리메이팅 렌즈, 상기 그린렌즈세트를 투과하여 상기 파이버 코어로 수신되는 제5단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계와 목표 측정물 사이에서 광신호를 송수신하는 방법
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제 8항에 있어서, 상기 제2단계는, 상기 파이버코어에서 출사되어 발산되는 형태의 레이저 광이 제1그린렌즈에 입사되어 평행광 형태로 굴절률이 점진적으로 변화되는 단계; 및입사면이 상기 제1그린렌즈의 출사면과 연결된 제2그린렌즈를 레이저 광이 투과하면서 상기 제1초점에 집속되도록 점진적으로 굴절률이 변화되는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계와 목표 측정물 사이에서 광신호를 송수신하는 방법
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제 9항에 있어서, 상기 제4단계는, 상기 콜리메이팅 렌즈에서 출사한 평행광이 대물렌즈로 입사되어 후방의 제2초점으로 레이저 광이 집속되는 단계; 및상기 제2초점에서 발산되는 레이저 광이 접안렌즈로 입사되어 상기 측정대상미러로 상기 레이저 광을 입사시키는 단계를 포함하고, 상기 접안렌즈에서 출사되는 레이저 광의 폭은 상기 대물렌즈로 입사되는 레이저 광의 폭보다 상기 반전망원계 배율만큼 감소되는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계와 목표 측정물 사이에서 광신호를 송수신하는 방법
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제 10항에 있어서,상기 측정대상미러에서 반사된 레이저 광이 수신 가능한 상기 측정대상미러의 임계 틸팅각도는, 상기 그린렌즈세트와 상기 반전 망원경이 구비되지 않은 것과 대비하여, 상기 그린렌즈세트와 배율과 상기 반전 망원경의 배율을 곱한 값 만큼 증가되는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계와 목표 측정물 사이에서 광신호를 송수신하는 방법
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레이저 간섭계를 이용한 변위량 측정 시스템에 있어서,레이저 광을 출력하는 레이저 광원;상기 레이저 광원에서 출력된 레이저 광이 입사되어 일부를 반사시켜 제1레이저 광을 출사시키고 나머지는 투과시켜 제2레이저 광을 출사시키는 빔스플리터;상기 빔스플리터에서 반사된 제1레이저 광을 반사시켜 상기 빔스플리터로 다시 입사시키는 고정경;상기 빔스플리터에서 출사된 제2레이저 광을 반사시켜 상기 빔스플리터로 다시 입사시키는 측정대상미러;상기 빔스플리터와 상기 측정대상미러 사이에 구비되는 제 1항, 및 제3항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 따른 콜리메이팅 광학계;상기 측정대상미러의 변위를 변화시키는 스테이지; 및상기 빔스플리터로 다시 입사된 상기 제1레이저 광과 상기 제2레이저 광이 입사되는 디텍터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계를 이용한 변위량 측정시스템
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제 12항에 있어서,상기 디텍터는, 상기 제1레이저 광과 상기 제2레이저 광의 위상차와 간섭 무늬를 분석하여 상기 스테이지에 의한 상기 측정대상미러의 변위를 측정하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계를 이용한 변위량 측정시스템
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