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방열유리 위에 금속박막이 위치하는 기판부;상기 기판부의 상부에 위치하여 상기 기판부로 그래핀 용액을 분사하는 분사부;상기 기판부의 하부에 위치하여 할로겐 히터를 이용하여 상기 기판부를 기 설정된 범위의 온도로 가열하는 가열부;상기 기판부를 상기 분사부와 상기 가열부 사이에서 이송하는 이동부; 상기 가열부를 이용하여 상기 금속박막을 기 설정된 범위의 온도로 가열한 상태에서, 상기 금속박막의 상부로 상기 그래핀 용액을 분사시켜 3차원 그래핀 구조체를 형성하도록 하는 제어부;상기 기판부의 상부에서 상기 금속박막 위에 형성되는 상기 3차원 그래핀 구조체에 대해 조명을 조사하는 조명부;비전 카메라를 이용하여 상기 3차원 그래핀 구조체의 비전영상을 획득하는 영상획득부;및상기 기판부의 일측에 형성되어 팬을 구동시켜 상기 3차원 그래핀 구조체를 냉각시키는 냉각부를 포함하고,상기 조명부는 3차원 그래핀 구조체의 측면에서 3차원 그래핀 구조체로 조명을 조사하는 발광부 및 3차원 그래핀 구조체를 투과한 조명을 수광하는 수광부를 더 포함하고,상기 이동부는 상기 기판부를 수직 방향으로 높이를 조절하거나 기판부의 기울기를 조절할 수 있고,상기 제어부는 상기 3차원 그래핀 구조체의 비전영상 속 기공의 크기, 밀도를 분석하여 상기 기판부와 상기 가열부 간의 거리를 가변시키거나, 상기 가열부의 출력을 조절하고, 상기 냉각부를 제어하여 상기 3차원 그래핀 구조체의 기공의 크기를 가변시키는 3차원 그래핀 구조체 형성장치
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제1항에 있어서,적외선 카메라를 이용하여 상기 금속박막의 온도를 감지하는 온도감지부를 더 포함하고,상기 제어부는,상기 온도감지부를 통해 감지된 온도에 따라 상기 기판부와 상기 가열부 간의 거리를 가변시키거나, 상기 가열부의 출력을 조절하여 상기 금속박막의 온도를 조절하는 3차원 그래핀 구조체 형성장치
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제1항에 있어서,상기 기판부로 레이저를 조사하여 상기 분사부와의 거리를 감지하는 거리감지부를 더 포함하고,상기 제어부는,상기 거리감지부로부터 획득한 거리정보에 따라 상기 3차원 그래핀 구조체의 두께정보를 분석하여 상기 분사부를 가변제어하는 3차원 그래핀 구조체 형성장치
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제1항에 있어서,상기 제어부는,상기 조명부의 조명이 상기 3차원 그래핀 구조체를 투과하는 투광도를 획득하여 불량 여부를 판단하는 3차원 그래핀 구조체 형성장치
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제1항에 있어서,상기 분사부의 소음을 감지하는 소음감지부를 더 포함하고,상기 제어부는,상기 소음감지부로부터 상기 분사부의 소음정보를 획득하여 불량 여부를 판단하는 3차원 그래핀 구조체 형성장치
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