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플라즈마 방전 특성 모니터링 장치를 이용한 플라즈마 방전 특성 모니터링 방법에 있어서, 진공 상태의 플라즈마 챔버 내의 촬상 영상을 수집하는 단계;상기 플라즈마 챔버에 플라즈마를 발생시킨 후 상기 플라즈마 챔버 내의 촬상 영상을 수집하는 단계;상기 플라즈마 발생 상태의 촬상 영상에 대한 픽셀들의 그레이 스케일 값을 이용하여, 각각의 그레이 스케일 값에 대응하는 픽셀수의 분포인 제1 입자수 분포를 획득하는 단계;상기 진공 상태의 촬상 영상으로부터 기 획득된 기준 입자수 분포를 상기 제1 입자수 분포로부터 차감하여 제2 입자수 분포를 연산하는 단계;상기 제2 입자수 분포 내에서, 플라즈마 방전 전압과 관련되는 제1 그레이 스케일 범위 및 방전 전류와 관련되는 제2 그레이 스케일 범위를 추출하는 단계; 및상기 제1 그레이 스케일 범위에 속하는 총 픽셀 수 및 상기 제2 그레이 스케일 범위에 속하는 총 픽셀 수를 각각 제1 기준값 및 제2 기준값과 비교하여 플라즈마의 정상 여부를 판단하는 단계를 포함하며,상기 제1 그레이 스케일 범위는 G1 내지 G2 값 범위이고, 상기 제2 그레이 스케일 범위는 G2보다 큰 G3 내지 G4 값 범위이며,상기 G1은 상기 제2 입자수 분포에서 픽셀수가 기 설정된 임계값 이상으로 상승되는 최초 지점에 대응하는 그레이 스케일 값이고, 상기 G4는 픽셀수가 다시 제1 임계값 이하로 하강되는 지점에 대응하는 그레이 스케일 값인 플라즈마 방전 특성 모니터링 방법
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청구항 1에 있어서,상기 진공 상태의 촬상 영상으로부터 상기 기준 입자수 분포를 획득하는 단계; 및기 설정된 정상 진공 조건에 대응하는 정상 입자수 분포로부터 상기 기준 입자수 분포를 차감한 결과를 이용하여 상기 진공 상태가 정상적으로 형성된 것인지 여부를 판단하는 단계를 더 포함하는 플라즈마 방전 특성 모니터링 방법
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삭제
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청구항 1에 있어서,상기 기 설정된 임계값은 0 이상의 기 설정된 정수인 플라즈마 방전 특성 모니터링 방법
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청구항 1에 있어서,상기 제1 그레이 스케일 범위 내에서 발생하는 픽셀수의 제1 피크점의 크기는, 상기 제2 그레이 스케일 범위 내에서 발생하는 제2 피크점보다 낮으며,상기 G2는 상기 제1 피크점을 기점으로 픽셀수가 감소한 후 다시 상승되기 시작하는 전환점에 대응하는 그레이 스케일 값이고, 상기 G3는 상기 G2보다 1만큼 큰 값을 가지는 그레이 스케일 값인 플라즈마 방전 특성 모니터링 방법
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청구항 1에 있어서,상기 플라즈마의 정상 여부를 판단하는 단계는,상기 제1 그레이 스케일 범위에 속하는 총 픽셀 수가 상기 제1 기준값의 오차 범위를 벗어나거나 상기 제2 그레이 스케일 범위에 속하는 총 픽셀 수가 상기 제2 기준값의 오차 범위를 벗어나면, 상기 플라즈마가 비정상인 것으로 판단하고 비정상 알람을 발생시키는 플라즈마 방전 특성 모니터링 방법
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청구항 1 또는 청구항 6에 있어서,상기 제1 및 제2 기준값은 상기 플라즈마 챔버 내에 주입된 가스 유량, 인가 파워, 압력 중 적어도 하나의 공정 변수에 따라 변동하도록 설정되며, 상기 가스 유량이 많을수록 상기 제1 기준값은 낮아지고 상기 제2 기준값은 높아지는 플라즈마 방전 특성 모니터링 방법
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진공 상태의 플라즈마 챔버 내의 촬상 영상을 수집하고, 상기 플라즈마 챔버에 플라즈마를 발생시킨 후 상기 플라즈마 챔버 내의 촬상 영상을 수집하는 영상 수집부;상기 플라즈마 발생 상태의 촬상 영상에 대한 픽셀들의 그레이 스케일 값을 이용하여, 각각의 그레이 스케일 값에 대응하는 픽셀수의 분포인 제1 입자수 분포를 획득하는 입자 분포 획득부;상기 진공 상태의 촬상 영상으로부터 기 획득된 기준 입자수 분포를 상기 제1 입자수 분포로부터 차감하여 제2 입자수 분포를 연산하는 연산부;상기 제2 입자수 분포 내에서, 플라즈마 방전 전압과 관련되는 제1 그레이 스케일 범위 및 방전 전류와 관련되는 제2 그레이 스케일 범위를 추출하는 범위 추출부; 및상기 제1 그레이 스케일 범위에 속하는 총 픽셀 수 및 상기 제2 그레이 스케일 범위에 속하는 총 픽셀 수를 각각 제1 기준값 및 제2 기준값과 비교하여 플라즈마의 정상 여부를 판단하는 모니터링부를 포함하며,상기 제1 그레이 스케일 범위는 G1 내지 G2 값 범위이고, 상기 제2 그레이 스케일 범위는 G2보다 큰 G3 내지 G4 값 범위이며,상기 G1은 상기 제2 입자수 분포에서 픽셀수가 기 설정된 임계값 이상으로 상승되는 최초 지점에 대응하는 그레이 스케일 값이고, 상기 G4는 픽셀수가 다시 제1 임계값 이하로 하강되는 지점에 대응하는 그레이 스케일 값인 플라즈마 방전 특성 모니터링 장치
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청구항 8에 있어서,상기 입자수 분포 획득부는, 상기 진공 상태의 촬상 영상으로부터 상기 기준 입자수 분포를 더 획득하며,상기 모니터링부는,기 설정된 정상 진공 조건에 대응하는 정상 입자수 분포로부터 상기 기준 입자수 분포를 차감한 결과를 기초로, 상기 진공 상태가 정상적으로 형성된 것인지 여부를 판단하는 플라즈마 방전 특성 모니터링 장치
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삭제
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청구항 8에 있어서,상기 기 설정된 임계값은 0 이상의 기 설정된 정수인 플라즈마 방전 특성 모니터링 장치
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청구항 8에 있어서,상기 제1 그레이 스케일 범위 내에서 발생하는 픽셀수의 제1 피크점의 크기는, 상기 제2 그레이 스케일 범위 내에서 발생하는 제2 피크점보다 낮으며,상기 G2는 상기 제1 피크점을 기점으로 픽셀수가 감소한 후 다시 상승되기 시작하는 전환점에 대응하는 그레이 스케일 값이고, 상기 G3는 상기 G2보다 1만큼 큰 값을 가지는 그레이 스케일 값인 플라즈마 방전 특성 모니터링 장치
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13
청구항 8에 있어서,상기 모니터링부는,상기 제1 그레이 스케일 범위에 속하는 총 픽셀 수가 상기 제1 기준값의 오차 범위를 벗어나거나 상기 제2 그레이 스케일 범위에 속하는 총 픽셀 수가 상기 제2 기준값의 오차 범위를 벗어나면, 상기 플라즈마가 비정상인 것으로 판단하고 비정상 알람을 발생시키는 플라즈마 방전 특성 모니터링 장치
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청구항 8 또는 청구항 13에 있어서,상기 제1 및 제2 기준값은 상기 플라즈마 챔버 내에 주입된가스 유량, 인가 파워, 압력 중 적어도 하나의 공정 변수에 따라 변동하도록 설정되며, 상기 가스 유량이 많을수록 상기 제1 기준값은 낮아지고 상기 제2 기준값은 높아지는 플라즈마 방전 특성 모니터링 장치
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