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기판 상에 투명전극을 증착하는 단계;상기 투명전극 상에 절연체 또는 다른 투명전극을 증착하는 단계; 및상기 절연체 또는 상기 다른 투명전극 상에 금속전극을 증착하는 단계를 포함하고,상기 투명전극 상에 상기 절연체가 증착된 경우, 상기 투명전극 상에 상기 절연체가 증착되지 않은 경우보다 태양전지의 반사도가 감소하고 상기 태양전지의 광전류밀도가 증가하며,상기 투명전극 상에 상기 절연체 대신에 상기 다른 투명전극이 증착하되 상기 다른 투명전극의 도핑 농도가 상기 투명전극의 도핑 농도보다 낮은 경우, 상기 광전류밀도가 증가하는,태양전지 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 투명전극은, 붕소 도핑된 산화 아연(B-doped ZnO), 알루미늄 도핑된 산화 아연(ZnO: Al) 및 인듐 주석 산화물(ITO)로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 하나를 포함하는,태양전지 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 절연체는, 황화 아연(ZnxSy), 산화 알루미늄(AlxOy), 산화 하프늄(HfxOy), 산화 몰리브덴(MoxOy), 산화 티타늄(TixOy), 산화 텅스텐(WxOy), 질화 규소(SixNy), 실리콘 질화물(SiOxNy), 산화 인듐(InxOy), 산화 주석(SnxOy) 및 산화 아연(ZnxOy)으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는,태양전지 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 절연체가 황화 아연(ZnxSy)인 경우, 상기 절연체의 두께는 35nm 이하이고,상기 절연체가 산화 알루미늄(AlxOy)인 경우, 상기 절연체의 두께는 160nm 이하이고,상기 절연체가 산화 하프늄(HfxOy)인 경우, 상기 절연체의 두께는 400nm 이하이고,상기 절연체가 산화 몰리브덴(MoxOy)인 경우, 상기 절연체의 두께는 40nm 이하이고,상기 절연체가 산화 티타늄(TixOy)인 경우, 상기 절연체의 두께는 35nm 이하이고,상기 절연체가 산화 텅스텐(WxOy)인 경우, 상기 절연체의 두께는 50nm 이하이고,상기 절연체가 질화 규소(SixNy)인 경우, 상기 절연체의 두께는 80nm 이하이고,상기 절연체가 실리콘 질화물(SiOxNy)인 경우, 상기 절연체의 두께는 400nm 이하이고,상기 절연체가 산화 인듐(InxOy)인 경우, 상기 절연체의 두께는 100nm 이하이고,상기 절연체가 산화 주석(SnxOy)인 경우, 상기 절연체의 두께는 100nm 이하이고,상기 절연체가 산화 아연(ZnxOy)인 경우, 상기 절연체의 두께는 30nm 이하인,태양전지 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 다른 투명전극은,붕소 도핑된 산화 아연(B-doped ZnO), 알루미늄 도핑된 산화 아연(ZnO: Al) 및 인듐 주석 산화물(ITO)로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 하나를 포함하는,태양전지 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 다른 투명전극이 붕소 도핑된 산화 아연(B-doped ZnO)인 경우, 상기 다른 투명전극의 두께는 75nm 이하이고,상기 다른 투명전극이 알루미늄 도핑된 산화 아연(ZnO: Al)인 경우, 상기 다른 투명전극의 두께는 55nm 이하이고,상기 다른 투명전극이 인듐 주석 산화물(ITO)인 경우, 상기 다른 투명전극의 두께는 50nm 이하인,태양전지 제조 방법
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기판;상기 기판 상에 증착되는 투명전극;상기 투명전극 상에 증착되는 절연체 또는 상기 투명전극과 다른 성질을 가지는 추가 투명전극; 및상기 절연체 또는 추가 투명전극 상에 증착되는 금속전극을 포함하고,상기 투명전극 상에 상기 절연체가 증착된 경우, 상기 투명전극 상에 상기 절연체가 증착되지 않은 경우보다 태양전지의 반사도가 감소하고 상기 태양전지의 광전류밀도가 증가하며,상기 투명전극 상에 상기 절연체 대신에 상기 추가 투명전극이 증착하되 상기 추가 투명전극의 도핑 농도가 상기 투명전극의 도핑 농도보다 낮은 경우, 상기 광전류밀도가 증가하는,태양전지
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