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수소 센서 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2019033770
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 P형 실리콘 나노 와이어 어레이; 및 상기 나노 와이어 어레이 표면에 형성된 수소화 촉매를 포함하는 수소 센서 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
Int. CL G01N 27/04 (2006.01.01) G01N 33/00 (2006.01.01) G01N 27/12 (2006.01.01) G01N 27/16 (2006.01.01)
CPC G01N 27/04(2013.01) G01N 27/04(2013.01) G01N 27/04(2013.01) G01N 27/04(2013.01) G01N 27/04(2013.01)
출원번호/일자 1020160021533 (2016.02.23)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1765412-0000 (2017.07.31)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20170804) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.02.23)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이우영 대한민국 서울특별시 서대문구
2 장병진 대한민국 서울특별시 서대문구
3 백지선 대한민국 서울특별시 서대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이룸리온 대한민국 서울특별시 서초구 사평대로 ***, *층 (반포동)
2 특허법인이룸 대한민국 서울시 서초구 사평대로 ***, *층(반포동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 신성씨앤티 서울특별시 금천구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.02.23 수리 (Accepted) 1-1-2016-0179407-76
2 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document		 2016.04.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0049203-92
3 [복대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Sub-agent] Report on Agent (Representative)		 2016.04.04 수리 (Accepted) 1-1-2016-0321799-91
4 서류반려통지서
Notice for Return of Document		 2016.04.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0052061-76
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.10.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2016.12.09 수리 (Accepted) 9-1-2016-0050188-89
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.12.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0907072-42
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.02.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0122956-30
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.02.06 수리 (Accepted) 1-1-2017-0122990-83
10 등록결정서
Decision to grant		 2017.06.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0446997-58
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
P형 실리콘 나노 와이어 어레이; 및 상기 나노 와이어 어레이 표면에 형성된 수소화 촉매를 포함하고,상기 수소화 촉매는 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 로듐(Rd), 알루미늄(Al), 니켈(Ni), 망간(Mn), 몰리브덴(Mo), 마그네슘(Mg) 및 바나듐(V)으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 금속을 포함하고,수소 노출 후, 상기 수소화 촉매는 금속 하이드라이드(MHx)로 환원되어, 상기 나노 와이어 어레이 내부 정공을 중성화시키는 것을 특징으로 하는 수소 센서
2 2
제1항에 있어서,상기 나노 와이어 어레이는 3족 원소가 도핑된 것인수소 센서
3 3
제2항에 있어서,상기 3족 원소의 도핑량은 1011개/cm3 내지 1020 개/cm3인 수소 센서
4 4
제1항에 있어서,상기 나노 와이어 어레이의 비저항값은 0
5 5
삭제
6 6
삭제
7 7
제1항에 있어서,상기 수소 센서는 수소 노출 후, 상기 나노 와이어 어레이 및 상기 수소화 촉매의 계면에 쇼트키 접촉(Schottky contact)을 형성하는 수소 센서
8 8
제1항에 있어서,상기 수소 센서는 1% 수소 노출을 기준으로, 하기 수학식 1의 민감도(sensitivity)는 1% 이상인수소 센서:[수학식 1]민감도(sensitivity)(%) = ((R1 - R0)/R0) × 100%상기 R1은 수소 노출 후 최대 저항값이고, R0는 수소 노출 전 저항값이다
9 9
(a) P형 실리콘 웨이퍼를 에칭하여 P형 실리콘 나노 와이어 어레이를 형성하는 단계; 및 (b) 상기 나노 와이어 어레이 표면에 수소화 촉매를 증착시키는 단계를 포함하고,상기 수소화 촉매는 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 로듐(Rd), 알루미늄(Al), 니켈(Ni), 망간(Mn), 몰리브덴(Mo), 마그네슘(Mg) 및 바나듐(V)으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 금속을 포함하고,수소 노출 후, 상기 수소화 촉매는 금속 하이드라이드(MHx)로 환원되어, 상기 나노 와이어 어레이 내부 정공을 중성화시키는 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조방법
10 10
제9항에 있어서,상기 (a) 단계에서 에칭은 질산은(AgNO3) 및 불산 함유 용액을 이용하되, 상기 불산 100ml에 대하여, 상기 질산은(AgNO3) 0
11 11
제9항에 있어서,상기 (a) 단계에서 에칭은 50℃ 내지 70℃에서 수행되는수소 센서의 제조방법
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN107102033 CN 중국 FAMILY
2 EP03211407 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
3 JP06360137 JP 일본 FAMILY
4 JP29151081 JP 일본 FAMILY
5 US10481118 US 미국 FAMILY
6 US20170241932 US 미국 FAMILY

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN107102033 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 CN107102033 CN 중국 DOCDBFAMILY
3 EP3211407 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
4 JP2017151081 JP 일본 DOCDBFAMILY
5 JP6360137 JP 일본 DOCDBFAMILY
6 US10481118 US 미국 DOCDBFAMILY
7 US2017241932 US 미국 DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 연세대학교 산학협력단 중점연구소지원사업 나노융합 그린에너지 응용 기술 개발
2 산업통상자원부 연세대학교 산학협력단 (R＆D 사업) 공공 R＆D 성과 및 기술나눔 이전 기술의 상용화 개발 지원 엔진오일 상태 실시간 감지 센서 시스템 개발