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테두리부와 상기 테두리부 내측에 중공부를 가지는 서브스트레이트;상기 서브스트레이트의 상기 테두리부의 상면과 상기 중공부에 형성되는 제1 절연막;상기 제1 절연막의 상면 중앙에 형성되되, 링부와 상기 링부를 둘러싸는 둘레부로 구성되는 감지부와 상기 감지부와 전기적으로 연결되는 한 쌍의 센서 전극부를 가지는 센서 전극 패턴;상기 제1 절연막의 상기 센서 전극 패턴과 동일 평면상에 형성되며, 상기 감지부를 가열하도록 상기 감지부를 둘러싸며 형성되는 가열부와 상기 가열부와 전기적으로 연결되는 한 쌍의 히터 전극부를 가지는 전열 전극 패턴;상기 센서 전극 패턴과 상기 전열 전극 패턴 상면에 형성되되, 상기 감지부, 상기 센서 전극부 및 상기 히터 전극부를 외부로 노출시키기 위한 노출부를 구비한 제2 절연막; 및상기 감지부를 외부로 노출시키기 위한 노출부에 임계값 이상의 전기장에 의하여 토출되어 코팅되는 감지물질;을 포함하는 가스센서 어레이
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제1항에 있어서,상기 센서 전극부와 상기 히터 전극부는 상기 감지물질을 사이에 두고 서로 마주보며 배치된 것을 특징으로 하는 가스센서 어레이
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제1항에 있어서,상기 감지물질은 전기수력학 프린팅(EHD)으로 코팅되는 것을 특징으로 하는 가스센서 어레이
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제1항에 있어서,상기 노출부는 복수 개이되, 상기 복수 개의 노출부 각각에 다양한 감지물질이 코팅되는 것을 특징으로 하는 가스센서 어레이
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제1항에 있어서,상기 감지부와 상기 가열부는 상기 제1 절연막 상의 중앙에 배치되고, 상기 한 쌍의 센서 전극부와 상기 한 쌍의 히터 전극부는 각각 상기 제1 절연막의 모서리에 배치되는 것을 특징으로 하는 가스센서 어레이
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제1항에 있어서,상기 전열 전극 패턴은 하나의 전열선이 상기 한 쌍의 히터 전극부 중 하나로부터 연장되어 상기 감지부를 이중의 원 형상으로 감싸고 다시 연장되어 다른 하나로 이어지는 것을 특징으로 하는 가스센서 어레이
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서브스트레이트에 제 1절연막을 형성하는 제1절연막 형성단계;상기 제1 절연막의 상면의 동일 평면상에 센서 전극 패턴과 전열 전극 패턴을 형성하는 패턴 형성단계;상기 센서 전극 패턴과 상기 전열 전극 패턴의 상면에 제2 절연막을 형성하는 제2절연막 형성단계;상기 제2 절연막의 상면에 와이어 본딩과 감지물질이 코팅되기 위한 노출부를 형성하기 위하여 상기 제2 절연막 상면의 설정된 위치를 식각 처리하는 노출부 형성단계; 및상기 노출부에 전기수력학 방식으로 감지물질을 프린팅하는 감지물질 프린팅단계;를 포함하는 가스센서 어레이 제작방법
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제7항에 있어서,상기 센서 전극 패턴과 상기 전열 전극 패턴의 와이어 본딩부는 상기 감지물질이 코팅되기 위한 노출부를 사이에 두고 서로 마주보도록 형성되는 것을 특징으로 하는 가스센서 어레이 제작방법
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제7항에 있어서,상기 감지물질 프린팅단계는, 상기 감지물질이 코팅되기 위한 노출부에 감지물질이 토출되는 노즐을 위치시키는 노즐부 정렬단계;상기 노즐과 상기 노출부 사이에 전압을 인가하여 전기장을 형성시키는 전기장 형성단계; 및상기 전압을 임계전압 이상 상승시켜 감지물질 액적을 토출시키는 감지물질 토출단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스센서 어레이 제작방법
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