1 |
1
탄성 기판; 및상기 탄성 기판 상에 배치되고, 나노갭이 형성된 박막을 포함하고,상기 나노갭의 인자는 상기 탄성 기판에 작용하는 인장-압축력의 인장-압축 속도 및 인장-압축 변형률에 따라 제어되고,상기 인장-압축 속도는 400 ㎛/s 내지 800 ㎛/s이고, 상기 인장-압축 변형률은 90% 내지 120%이며,상기 나노갭의 인자는 상기 나노갭의 전체 밀도 또는 상기 나노갭의 평균 너비를 포함하는 것을 특징으로 하는수소 센서
|
2 |
2
삭제
|
3 |
3
삭제
|
4 |
4
제1항에 있어서,상기 인장-압축력이 인가되는 수평 방향을 x축 방향, 상기 인장-압축력이 인가되는 수직 방향을 y축 방향이라 할 때, 상기 x축 방향 및 상기 y축 방향에 수직으로 형성된 나노갭의 전체 밀도는 850 mm-1 내지 1475 mm-1인 수소 센서
|
5 |
5
제1항에 있어서, 상기 인장-압축력이 인가되는 수평 방향을 x축 방향, 상기 인장-압축력이 인가되는 수직 방향을 y축 방향이라 할 때, 상기 x축 방향 또는 상기 y축 방향에 수직으로 형성된 나노갭의 평균 너비는 각각 40 nm 내지 105 nm인 수소 센서
|
6 |
6
제1항에 있어서,상기 탄성 기판은 천연고무, 합성고무 또는 폴리머 재질로 형성된수소 센서
|
7 |
7
제1항에 있어서, 상기 박막은 Pd, Pt, Ni, Ag, Ti, Fe, Zn, Co, Mn, Au, W, In 및 Al로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 재질로 형성된 수소 센서
|
8 |
8
제1항에 있어서,상기 수소 센서는 40초 이내에 2% 수소 검출이 가능한 수소 센서
|
9 |
9
탄성 기판 상에 박막을 형성하는 단계; 및 상기 탄성 기판에 작용하는 인장-압축력의 인장-압축 속도 및 인장-압축 변형률을 조절하여 상기 박막에 형성된 나노갭의 인자를 제어하는 단계를 포함하고,상기 인장-압축 속도는 400 ㎛/s 내지 800 ㎛/s이고, 상기 인장-압축 변형률은 90% 내지 120%이며,상기 나노갭의 인자는 상기 나노갭의 전체 밀도 또는 상기 나노갭의 평균 너비를 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 센서의 제조방법
|
10 |
10
삭제
|
11 |
11
삭제
|