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전자기 파형을 발생시키는 파형발생부;기판 상에 미세물질이 혼합된 유체매질이 분산되도록 상기 기판을 고정하는 기판수용부;상기 전자기 파형을 음파 진동으로 변환하고, 상기 음파 진동을 상기 기판수용부로 전달하고, 상기 음파 진동에 대응하여 상기 유체매질에 상기 미세물질의 미세패턴 구조를 형성하는 진동발생부; 및상기 미세패턴이 형성된 상기 유체매질로부터 용매를 제거하는 용매건조부;를 포함하는, 음파 진동을 이용한 미세물질 어레이 제조장치
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제1항에 있어서,상기 파형발생부로부터 생성된 상기 전자기 파형의 주파수 및 진폭 중 적어도 하나를 제어하는 파형조절부;를 더 포함하는, 음파 진동을 이용한 미세물질 어레이 제조장치
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제1항에 있어서,상기 미세패턴 구조는 상기 음파 진동의 진동수 및 진동의 세기에 기반하여 결정되는, 음파 진동을 이용한 미세물질 어레이 제조장치
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제3항에 있어서,상기 음파 진동의 진동수 및 진동의 세기는 상기 전자기 파형의 주파수 및 진폭 중 적어도 하나에 기반하여 결정되는, 음파 진동을 이용한 미세물질 어레이 제조장치
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제1항에 있어서,상기 미세패턴 구조의 입자간 간격은 상기 음파 진동의 진동수에 따라서 제어되는, 음파 진동을 이용한 미세물질 어레이 제조장치
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제1항에 있어서,상기 미세패턴 구조가 형성된 상기 유체매질에 커피링 효과를 형성하는 가열장치;를 더 포함하는, 음파 진동을 이용한 미세물질 어레이 제조장치
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제1항에 있어서,상기 미세패턴 구조는, 상기 기판 상에 2차원 격자 구조로 형성되는, 음파 진동을 이용한 미세물질 어레이 제조장치
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제1항에 있어서,상기 진동발생부는, 상기 유체매질의 상기 음파 진동의 전달을 이용하여 상기 미세물질의 입자간 이차결합을 제어하는, 음파 진동을 이용한 미세물질 어레이 제조장치
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제1항에 있어서,상기 기판은 친수성 또는 소수성 특성을 가지며,상기 미세물질은 상기 기판의 특성과 동일한 특성을 가지는, 음파 진동을 이용한 미세물질 어레이 제조장치
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제1항에 있어서,상기 기판과 상기 미세물질의 친수성 또는 소수성 특성이 다른 경우, 상기 기판 상에 산소 플라즈마 처리하는 플라즈마처리부;를 더 포함하는, 음파 진동을 이용한 미세물질 어레이 제조장치
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제1항에 있어서,상기 미세패턴 구조를 복수의 층으로 형성하는, 음파 진동을 이용한 미세물질 어레이 제조장치
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제11항에 있어서,상기 복수의 층으로 형성된 상기 미세패턴 구조는,상기 음파의 제1진동수에 대응하여 형성된 제1미세패턴 구조 및 상기 음파의 제2진동수에 대응하여 형성된 제2미세패턴 구조를 포함하도록 형성되는, 음파 진동을 이용한 미세물질 어레이 제조장치
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제12항에 있어서,상기 제1진동수 및 상기 제2진동수가 동일한 경우, 상기 제1미세패턴 구조 및 상기 제2 미세패턴 구조는 동일한 입자간 간격 및 격자 구조로 형성된, 음파 진동을 이용한 미세물질 어레이 제조장치
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기판 상에 미세물질이 혼합된 유체매질을 분산시키는 과정;상기 기판에 지정된 주파수의 음파 진동을 전달하는 과정;상기 기판에 전달된 상기 음파 진동에 대응하여 상기 기판 상의 상기 유체매질에 미세패턴 구조를 형성하는 과정; 및상기 미세패턴 구조가 형성된 상태에서 상기 유체매질의 용매를 제거하는 과정;을 포함하는, 음파 진동을 이용한 미세물질 어레이 제조방법
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제14항에 있어서,상기 유체매질의 용매는 상기 미세물질의 친수성 또는 소수성 특징에 따라서 극성 용매 또는 무극성 용매로 결정되는, 음파 진동을 이용한 미세물질 어레이 제조방법
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제14항에 있어서,상기 미세물질은, 상기 기판과 친수성 또는 소수성 특성이 동일한, 음파 진동을 이용한 미세물질 어레이 제조방법
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제14항에 있어서,상기 미세물질의 친수성 또는 소수성 특성이 상기 기판의 특성과 동일하지 않은 경우, 상기 기판에 산소 플라즈마를 처리하는 과정;을 더 포함하는, 음파 진동을 이용한 미세물질 어레이 제조방법
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제14항에 있어서,상기 용매가 제거된 미세패턴 구조에 상기 미세물질이 혼합된 상기 유체매질을 분산시키는 과정;상기 기판에 상기 지정된 주파수의 음파 진동을 전달하는 과정;상기 기판에 전달된 상기 음파 진동에 대응하여 상기 용매가 제거된 미세패턴 구조 상의 상기 유체매질에 상기 미세패턴 구조를 형성하는 과정; 및상기 용매가 제거된 미세패턴 구조 상에 상기 미세패턴 구조가 형성된 상태에서 상기 유체매질의 용매를 제거하여 복층의 미세패턴 구조를 형성하는 과정;을 더 포함하는, 음파 진동을 이용한 미세물질 어레이 제조방법
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제18항에 있어서,상기 용매가 제거된 미세패턴 구조에 상기 미세물질이 혼합된 상기 유체매질을 분산시키는 과정은,상기 용매가 제거된 미세패턴 구조에 PDMS(polydimethylsiloxane) 스페이서층을 형성하는 과정; 및상기 스페이서층 상에 상기 미세물질이 혼합된 상기 유체매질을 분산시키는 과정;을 포함하는, 음파 진동을 이용한 미세물질 어레이 제조방법
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