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광을 발생시키는 광원유닛; 광을 표준샘플을 통과하는 기준빔과 측정샘플을 통과하는 물체빔으로 분리하는 제1분리유닛; 상기 기준빔과 상기 물체빔이 서로 다른 입사각도로 만나도록 오프축(Off-axis) 방식으로 배치되는 적어도 하나의 제2분리유닛; 및상기 기준빔과 물체빔의 정보로 상기 측정샘플의 두께를 측정하는 측정유닛; 을 포함하며, 상기 제2분리유닛은, 상기 제1분리유닛으로부터 분리된 광의 일부를 상기 측정샘플로 안내하며, 상호 이웃하여 순차적으로 상기 물체빔이 입사되는 복수의 안내부재를 포함하는 안내부; 및상기 측정샘플을 통과한 상기 물체빔과 상기 제1분리유닛으로부터 안내된 상기 기준빔이 서로 다른 입사각도로 만나도록 오프축으로 배치되도록 상호 이웃하게 상기 복수의 안내부재와 마주하는 복수의 오프축부재를 포함하는 오프축부;를 포함하고, 상기 복수의 안내부재 중 어느 하나에 입사된 상기 물체빔의 일부는 상기 측정샘플로 안내되고 나머지는 이웃하는 다른 안내부재로 반사되고, 상기 복수의 오프축부재 중 어느 하나에 상기 기준빔과 다른 입사각도로 입사된 상기 물체빔의 일부는 상기 측정유닛으로 안내되고 나머지는 이웃하는 다른 오프축부재를 간섭하지 않은 영역으로 반사되는 오프축 디지털 홀로그래피의 확장성을 이용한 대면적 측정 시스템
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제1항에 있어서,상기 광원유닛은 단일개로 마련되는 레이저를 포함하는 오프축 디지털 홀로그래피의 확장성을 이용한 대면적 측정 시스템
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제1항에 있어서, 상기 제1분리유닛은 상기 광원유닛으로부터 발생된 광을 상기 기준빔과 물체빔으로 분리하는 적어도 하나의 빔스플리터(Beam Splitter)를 포함하는 오프축 디지털 홀로그래피의 확장성을 이용한 대면적 측정 시스템
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제1항에 있어서, 상기 복수의 안내부재 및 오프축부재는 빔스플리터(Beam Splitter) 또는 편광분리기(Polarzation Beam Splitter, PBS) 중 어느 하나를 포함하는 오프축 디지털 홀로그래피의 확장성을 이용한 대면적 측정 시스템
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제1항에 있어서, 상기 측정유닛은 상기 복수의 오프축부재에 각각 마주하도록 복수의 측정부를 포함하여 상기 측정샘플의 전 영역에 대한 두께를 동시에 측정하며, 상기 기준빔 및 물체빔이 입사되는 입사방향을 기준으로, 상기 복수의 오프축부재 중에서 상기 입사방향의 선측에 위치한 어느 한 오프축부재로부터 정보를 획득하는 상기 어느 한 측정부의 노광시간(Exposure time) 보다 후측에 위치하는 다른 측정부의 노광시간이 더 긴 오프축 디지털 홀로그래피의 확장성을 이용한 대면적 측정 시스템
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제1항에 있어서, 상기 측정유닛은 상기 기준빔과 물체빔을 촬영하는 적어도 하나의 이미지 센서를 포함하는 오프축 디지털 홀로그래피의 확장성을 이용한 대면적 측정 시스템
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제1항에 있어서,상기 광원유닛은 멀티(Multi) 파장의 광을 발생시키는 오프축 디지털 홀로그래피의 확장성을 이용한 대면적 측정 시스템
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제1항에 있어서, 상기 측정유닛은, 상기 물체빔의 입사방향을 기준으로, 상기 측정샘플의 후면에서 반사되는 상기 물체빔의 위치를 추적하여 두께 측정과정 중 상기 측정샘플의 측정된 두께의 기울기 오차를 줄이는 보정부;를 더 포함하는 오프축 디지털 홀로그래피의 확장성을 이용한 대면적 측정 시스템
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제1항에 있어서,상기 측정샘플과 측정유닛의 사이에 대물렌즈가 마련되어 3차원 정보 획득이 가능한 오프축 디지털 홀로그래피의 확장성을 이용한 대면적 측정 시스템
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광을 발생시키는 광원유닛; 광을 표준샘플을 통과하는 기준빔과 측정샘플을 통과하는 물체빔으로 분리하는 제1분리유닛; 상기 물체빔을 상기 측정샘플로 안내하는 복수의 안내부재와, 상기 복수의 안내부재와 상기 측정샘플을 사이에 두고 마주하여 상기 기준빔과 상기 물체빔이 서로 다른 입사각도로 만나도록 오프축(Off-axis) 방식으로 배치되는 복수의 오프축부재를 포함하는 제2분리유닛; 및상기 기준빔과 물체빔의 정보로 상기 측정샘플의 두께를 측정하는 측정유닛; 을 포함하는 오프축 디지털 홀로그래피의 확장성을 이용한 대면적 측정 시스템
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제14항에 있어서,상기 광원유닛은 싱글샷(Single shot)으로 상기 광을 발생시키며, 멀티(Multi) 파장의 상기 광 발생이 가능한 오프축 디지털 홀로그래피의 확장성을 이용한 대면적 측정 시스템
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제14항에 있어서, 상기 측정유닛은 상기 복수의 오프축부재에 각각 대응하도록 복수의 측정부를 포함하여 상기 측정샘플의 전 영역에 대한 두께를 동시에 측정하며, 상기 기준빔 및 물체빔이 입사되는 입사방향을 기준으로, 상기 복수의 오프축부재 중에서 상기 입사방향의 선측에 위치한 어느 한 오프축부재로부터 정보를 획득하는 어느 한 측정부의 노광시간(Exposure time) 보다 후측에 위치하는 다른 측정부의 노광시간이 더 긴 오프축 디지털 홀로그래피의 확장성을 이용한 대면적 측정 시스템
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제14항에 있어서,상기 제1분리유닛, 복수의 안내부재 및 복수의 오프축부재는 빔스플리터(Beam Splitter) 또는 편광분리기(Polarzation Beam Splitter, PBS) 중 어느 하나를 포함하는 오프축 디지털 홀로그래피의 확장성을 이용한 대면적 측정 시스템
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제14항에 있어서, 상기 측정유닛은, 상기 물체빔의 입사방향을 기준으로, 상기 측정샘플의 후면에서 반사되는 상기 물체빔의 위치를 추적하여 두께 측정과정 중 상기 측정샘플의 측정된 두께의 기울기 오차를 줄이는 보정부;를 더 포함하는 오프축 디지털 홀로그래피의 확장성을 이용한 대면적 측정 시스템
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제14항에 있어서,상기 측정샘플과 측정유닛의 사이에 대물렌즈가 마련되어 3차원 정보 획득이 가능한 오프축 디지털 홀로그래피의 확장성을 이용한 대면적 측정 시스템
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