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플렉서블한 투명 기판;상기 기판 상에 형성되는 플렉서블한 투명 전극;및 상기 투명전극 상에 형성되는 비드 및 전기 절연성 고분자 바인더를 포함하는 투명 유전체 층;을 포함하는 센서 층을 포함하며,상기 유전체 층은 표면조도를 향상시키기 위하여 상기 비드가 매입된 돌출된 구조를 포함하는 고감도 투명 플렉서블 압력센서
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제1항에 있어서,상기 센서 층 2개가 각 센서 층의 투명 유전체 층들이 서로 마주보게 배치되어 연결된 것을 특징으로 하는 고감도 투명 플렉서블 압력센서
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제1항에 있어서,상기 비드의 평균입경이 5 ~ 10μm인 경우엔 비드 1개에 의해 하나의 돌출부를 이루어 상기 돌출된 구조를 형성하는 것을 특징으로 하는 고감도 투명 플렉서블 압력센서
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제1항에 있어서,상기 비드의 평균입경이 100 ~ 600nm인 경우엔 복수 개의 비드가 하나의 나노집합체를 형성하여, 상기 나노집합체에 의해 하나의 돌출부를 이루어 상기 돌출된 구조를 형성하는 것을 특징으로 하는 고감도 투명 플렉서블 압력센서
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제1항에 있어서,상기 투명 유전체 층의 바인더 층의 두께는 두께는 2 ~ 10 μm인 것을 특징으로 하는 고감도 투명 플렉서블 압력센서
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제1항에 있어서,상기 투명 유전체 층의 비드가 돌출된 면의 표면 조도 Ra는 100 ~ 2000 nm인 것을 특징으로 하는 고감도 투명 플렉서블 압력센서
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제1항에 있어서,상기 유전체 층은 피라미드 형, 마이크로돔 형 또는 마이크로헤어 구조형 중 어느 하나 이상의 마이크로 패턴을 가지는 것을 특징으로 하는 고감도 투명 플렉서블 압력센서
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제1항에 있어서,상기 비드는 SiO2, PMMA 및 아크릴로 이루어지는 군으로부터 선택되는 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는 고감도 투명 플렉서블 압력센서
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제1항에 있어서,상기 고감도 투명 플렉서블 압력센서는 하기의 조건을 모두 만족하는 것을 특징으로 하는 고감도 투명 플렉서블 압력센서
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제1항 내지 제9항 중 어느 한 항의 투명 플렉서블 압력센서를 포함하는 투명 키패드
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(1) 플렉서블한 투명 기판 상에 플렉서블한 투명 전극을 형성하는 단계;및(2) 상기 전극 상에 투명 비드 및 전기 절연성 고분자 바인더를 포함하는 투명 유전체 층을 형성하는 단계;를 포함하며,상기 유전체 층은 표면조도를 향상시키기 위하여 상기 비드가 매입된 돌출된 구조를 포함하는 고감도 투명 플렉서블 압력센서의 제조방법
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제11항에 있어서,상기 (2) 단계는,(2-1) 상기 전극 상에 투명 비드를 스핀-코팅방법을 통해 도포하는 단계;및(2-2) 스핀-코팅방법을 통해 전기 절연성 고분자 바인더를 스핀-코팅방법을 통해 도포하여 투명 유전체 층을 형성하는 단계;를 포함하여 수행되는 것을 특징으로 하는 고감도 투명 플렉서블 압력센서의 제조방법
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