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스핀-궤도 토크 자기 소자

  • 기술번호 : KST2019034116
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 소자는, 기판 상에 배치되고 면내 전류에 의하여 배치 평면에 수직한 스핀 전류를 생성하는 스핀-전류 패턴; 및 상기 스핀-전류 패턴에 접촉하여 배치되고 상기 스핀 전류에 의하여 자화 반전되는 수직자기 이방성을 가진 자유 자성층을 포함한다. 상기 스핀-전류 패턴은, 상기 제1 비자성 도전층; 상기 제1 비자성 도전층과 정렬되어 배치된 제2 비자성 도전층; 및 상기 제1 비자성 도전층과 상기 제2 비자성 도전층 사이에 개재되고 상기 제1 비자성 도전층과 정렬되고 수직자기 이방성을 가지는 자성층;을 포함한다.
Int. CL H01L 43/08 (2006.01.01) H01L 43/10 (2006.01.01)
CPC H01L 43/08(2013.01) H01L 43/08(2013.01) H01L 43/08(2013.01)
출원번호/일자 1020170111287 (2017.08.31)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1856906-0000 (2018.05.03)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20180510) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.08.31)
심사청구항수 17

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 홍종일 대한민국 서울특별시 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 누리 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **-*(역삼동, IT빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.08.31 수리 (Accepted) 1-1-2017-0847761-94
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2017.09.06 수리 (Accepted) 1-1-2017-0864286-51
3 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search
2017.09.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2017.09.14 수리 (Accepted) 9-1-2017-0031520-90
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.01.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0044544-17
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.02.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0180057-93
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.02.21 수리 (Accepted) 1-1-2018-0180058-38
8 등록결정서
Decision to grant
2018.04.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0284614-77
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번호 청구항
1 1
기판 상에 배치되고 면내 전류에 의하여 배치 평면에 수직한 스핀 전류를 생성하는 스핀-전류 패턴; 및상기 스핀-전류 패턴에 접촉하여 배치되고 상기 스핀 전류에 의하여 자화 반전되는 수직자기 이방성을 가진 자유 자성층을 포함하고,상기 스핀-전류 패턴은:제1 비자성 도전층; 상기 제1 비자성 도전층과 정렬되어 배치된 제2 비자성 도전층; 및상기 제1 비자성 도전층과 상기 제2 비자성 도전층 사이에 개재되고 상기 제1 비자성 도전층과 정렬되고 수직자기 이방성을 가지는 자성층;을 포함하고, 상기 자성층은 상기 제1 비자성 도전층 및 상기 제2 비자성 도전층에 의하여 텐사일 스트레인(tensile strain)을 받고,상기 자성층은 결정구조를 가지고,상기 자성층의 기준 벌크 격자 상수는 상기 제1 비자성 도전층 또는 상기 제2 비자성 도전층의 격자 상수보다 작고,상기 자성층의 기준 벌크 격자 상수(reference bulk lattice constant)에 대한 상기 자성층의 박막 격자 상수(thin film lattice constant)의 비로 주어지는 길이 방향의 변형률은 9 퍼센트 이상인 것을 특징으로 하는 스핀-궤도 토크 자기 소자
2 2
제1 항에 있어서,상기 자성층은 비자성 산화물층을 수소 이온 조사(Hydrogen ion irradiation)에 의하여 환원되고,상기 자성층은 상기 수소 이온 조사에 의하여 상자성체에서 강자성체로 상변화되고,상기 자성층의 격자 상수는 상기 제1 비자성 도전층의 격자 상수로 유지되는 것을 특징으로 하는 스핀-궤도 토크 자기 소자
3 3
제2 항에 있어서,상기 자성층 및 상기 제1 비자성 도전층은 수소를 포함하고,상기 수소는 상기 자성층과 상기 제1 비자성 도전층의 페르미 에너지를 조절하는 것을 특징으로 하는 스핀-궤도 토크 자기 소자
4 4
제2 항에 있어서,상기 비자성 산화물층은 Co3O4 이고, 상기 자성층은 Co인 것을 특징으로 하는 스핀-궤도 토크 자기 소자
5 5
제2 항에 있어서, 상기 자성층은 상기 제1 비자성 도전층 및 상기 제2 비자성 도전층의 격자 상수와 일치하도록 슈도모픽(pseudomorphic) 에피텍시(epitaxial) 상태인 것을 특징으로 하는 스핀-궤도 토크 자기 소자
6 6
제1 항에 있어서, 상기 자성층의 두께는 0
7 7
제1 항에 있어서,상기 자유 자성층에 정렬되어 배치된 고정 자성층; 및상기 자유 자성층에 정렬되어 배치되고 상기 자유 자성층과 상기 고정 자성층 사이에 개재된 터널 절연층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀-궤도 토크 자기 소자
8 8
제1 항에 있어서,상기 제1 비자성 도전층 및 상기 제2 비자성 도전층은 Pd이고,상기 자성층은 Co인 것을 특징으로 하는 스핀-궤도 토크 자기 소자
9 9
제1 항에 있어서,상기 스핀-전류 패턴은, 상기 제1 비자성 도전층과 상기 자성층 사이에 교번하여 배치되는 적어도 한 쌍의 보조 비자성 도전층 및 보조 자성층을 더 포함하고,상기 보조 비자성 도전층과 상기 보조 자성층은 다층 박막 구조를 제공하는 것을 특징으로 하는 스핀-궤도 토크 자기 소자
10 10
기판 상에 배치되고 면내 전류에 의하여 배치 평면에 수직한 스핀 전류를 생성하는 스핀-전류 패턴; 및상기 스핀-전류 패턴에 접촉하도록 배치되고 상기 스핀 전류에 의하여 자화 반전되는 되는 자유 자성층을 포함하고,상기 자유 자성층은: 서로 교번하여 배치되는 다층 박막 구조의 자성층 및 비자성 도전층을 포함하고,상기 자성층은 수직자기 이방성을 가지고 상기 스핀 전류에 의하여 자화 반전되고,상기 자성층은 상기 비자성 도전층에 의하여 텐사일 스트레인(tensile strain)을 받고,상기 자성층의 기준 벌크 격자 상수(reference bulk lattice constant)에 대한 상기 자성층의 박막 격자 상수(thin film lattice constant)의 비로 주어지는 길이 방향의 변형률은 9 퍼센트 이상인 것을 특징으로 하는 스핀-궤도 토크 자기 소자
11 11
제10 항에 있어서,상기 자성층은 비자성 산화물층을 수소 이온 조사(Hydrogen ion irradiation)에 의하여 환원되고,상기 자성층은 상기 수소 이온 조사에 의하여 상자성체에서 강자성체로 상변화되고,상기 자성층의 격자 상수는 상기 비자성 도전층의 격자 상수로 유지되는 것을 특징으로 하는 스핀-궤도 토크 자기 소자
12 12
제11 항에 있어서,상기 자성층 및 상기 비자성 도전층은 수소를 포함하고,상기 수소는 상기 자성층과 상기 비자성 도전층의 페르미 에너지를 조절하는 것을 특징으로 하는 스핀-궤도 토크 자기 소자
13 13
제11 항에 있어서,상기 비자성 산화물층은 Co3O4 이고, 상기 자성층은 Co인 것을 특징으로 하는 스핀-궤도 토크 자기 소자
14 14
제10 항에 있어서, 상기 자성층은 상기 비자성 도전층의 격자 상수와 일치하도록 슈도모픽(pseudomorphic) 에피텍시(epitaxial) 상태인 것을 특징으로 하는 스핀-궤도 토크 자기 소자
15 15
제10 항에 있어서, 상기 자성층의 두께는 0
16 16
제10 항에 있어서,상기 자유 자성층에 정렬되어 배치된 고정 자성층; 및상기 자유 자성층에 정렬되어 배치되고 상기 자유 자성층과 상기 고정 자성층 사이에 개재된 터널 절연층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀-궤도 토크 자기 소자
17 17
제10 항에 있어서,상기 비자성 도전층은 Pd이고,상기 자성층은 Co인 것을 특징으로 하는 스핀-궤도 토크 자기 소자
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 연세대학교 산업기술혁신사업-전자정보디바이스산업원천기술개발사업 스핀-궤도 결합을 이용한 반금속 P-MRAM 기술
2 미래창조과학부 고려대학교 산학협력단 미래소재디스커버리사업 설계기반 Spin-Orbitronics 소재 개발