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상부가 개방되고 내부에 수용 공간이 형성된 프레임의 측면 중 적어도 하나 이상의 위치에 진공 포트가 형성되고, 상기 수용 공간 내부에 진공을 형성하기 위한 배기라인이 형성되고, 상기 프레임의 상면에 서로 연결되도록 적어도 하나 이상의 공기 통로가 형성된 진공 챔버;상기 공기 통로 주위를 밀폐시키도록 구비되는 보조 오링;상기 수용 공간에서 배기하거나 상기 수용 공간에 가스를 주입할 때 상기 수용 공간을 밀폐시키도록 상기 수용 공간의 주위에 구비되며, 상기 보조 오링의 높이보다 돌출되도록 구비되는 메인 오링;상기 진공 챔버의 개방된 상부에 탑재되고 상기 진공 포트에서 진공 배기가 실행되면 상기 프레임에 밀폐되는 커버부;상기 진공 챔버의 수용 공간 내부에 구비되어 시편이 안착되는 스테이지 블록;상기 스테이지 블록 상에 상기 시편의 검사를 위한 검사단부가 위치하도록 구비되고 상기 검사단부의 타단부인 고정단부에는 스프링부가 형성된 복수의 프로브 핀;상기 스테이지 블록의 주변에 구비되고 상기 복수의 프로브 핀에 각각 연결되어 상기 프로브 핀을 구동하는 복수의 구동부; 및상기 진공 챔버 일측에 구비되어 상기 진공 챔버 내부로 냉각수를 제공하여 상기 스테이지 블록을 냉각시키는 냉각 블록;을 포함하는 마이크로 진공 프로브 시스템
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제1항에 있어서,상기 커버부는 석영 재질로 형성된 투명한 석영 커버를 포함하는 마이크로 진공 프로브 시스템
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제2항에 있어서,상기 석영 커버는 석영, 사파이어, 일반 유리, 강화 유리 및 아크릴 중 어느 하나의 재질로 형성되는 마이크로 진공 프로브 시스템
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제2항에 있어서,상기 석영 커버는 1mm 내지 5mm의 두께로 형성되는 마이크로 진공 프로브 시스템
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제1항에 있어서,상기 커버부는 스테인레스 스틸을 포함하는 스틸 재질로 형성되는 메탈 커버를 포함하고,상기 메탈 커버에는 뷰 포트, 액체 시료의 주입을 위한 주입 포트, 광섬유를 포함하는 기구를 설치하기 위한 피드스루(feed-through) 포트 중 어느 하나 이상의 포트가 형성되는 마이크로 진공 프로브 시스템
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제5항에 있어서,상기 뷰 포트는 석영, 사파이어, 일반 유리, 고릴라 글라스 중 어느 하나의 재질이 사용되는 마이크로 진공 프로브 시스템
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제5항에 있어서,상기 뷰 포트는 3mm 이하의 두께로 형성되는 마이크로 진공 프로브 시스템
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제5항에 있어서,상기 뷰 포트에는 열선이 구비되는 마이크로 진공 프로브 시스템
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제1항에 있어서,상기 프로브 핀은 상기 스프링부의 면적이 상기 검사단부의 면적에 비해 넓게 형성된 마이크로 진공 프로브 시스템
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제9항에 있어서,상기 검사단부는 구형, 세운 디스크 형태에서 에지 부위를 둥글게 연마한 모양, 역삼각뿔 모양, 일반 탐침 모양 중 어느 하나의 형상을 갖는 마이크로 진공 프로브 시스템
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제9항에 있어서,상기 프로브 핀은 상기 스프링부의 폭과 상기 프로브 핀의 두께를 조절함으로써 상기 스프링부의 스프링 상수가 결정되는 마이크로 진공 프로브 시스템
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제1항에 있어서,상기 고정단부는 상기 검사단부에 비해서 면적이 크고 절개 패턴이 형성된 스프링부가 형성되고,상기 고정단부의 단부에는 시그널 와이어와 접속되는 접점부가 형성되는 마이크로 진공 프로브 시스템
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13
제12항에 있어서,상기 접점부는 상기 시그널 와이어를 웰딩이나 클램핑할 수 있도록 소정의 홀이 형성되는 마이크로 진공 프로브 시스템
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제1항에 있어서,상기 프로브 핀은 상기 검사단부와 상기 고정단부의 사이에 사용자가 상기 프로브 핀의 각도 및 위치를 조절할 수 있도록 절곡 또는 홈으로 형성된 조절부가 형성되는 마이크로 진공 프로브 시스템
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제1항에 있어서,상기 프로브 핀은 스테인리스, 인코넬, 텅스텐 중 어느 하나의 재질로 형성되는 마이크로 진공 프로브 시스템
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제1항에 있어서,상기 프로브 핀은 표면에 금 또는 백금 재질의 코팅층이 형성된 마이크로 진공 프로브 시스템
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제1항에 있어서,상기 구동부는 상기 프로브 핀을 두 개의 직선 이동 또는 직선 이동 및 회전시키는 마이크로 진공 프로브 시스템
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제1항에 있어서,상기 구동부 하부에는 석영 또는 테프론 재질의 절연 플레이트가 구비되는 마이크로 진공 프로브 시스템
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제1항에 있어서,상기 프레임에는 상기 메인 오링이 설치되는 메인 오링홈과, 상기 보조 오링이 설치되는 보조 오링홈이 형성되고,상기 메인 오링과 보조 오링의 높이는 상기 각 오링홈의 깊이로 조절되며, 상기 보조 오링홈의 깊이가 상기 메인 오링홈의 깊이에 비해 0~30 % 깊게 형성된 마이크로 진공 프로브 시스템
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제1항에 있어서,상기 공기 통로는 상기 커버부에 대해서 진공을 형성하고, 상기 배기라인은 상기 수용 공간에 진공을 형성하며, 서로 독립된 경로를 통해서 진공을 형성하도록 형성된 마이크로 진공 프로브 시스템
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제1항에 있어서,상기 스테이지 블록은 열전소자로 이루어지고, 상기 스테이지 블록의 하부에는 냉각을 위한 냉각 블록이 구비되는 마이크로 진공 프로브 시스템
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제24항에 있어서,상기 스테이지 블록은 질화 알루미늄(AlN) 재질로 형성되는 마이크로 진공 프로브 시스템
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제1항에 있어서,상기 스테이지 블록은 가열을 위한 위한 열전소자를 제외한 히팅 수단이 구비되고,상기 스테이지 블록은, 알루미나(AlN), SiC, 인코넬, SiC가 코팅된 인코넬, Cu, C, Mo 중 어느 하나의 재질로 형성되는 마이크로 진공 프로브 시스템
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