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시료를 수용하기 위한 시료 홀더; 및상기 시료 홀더에 방사상으로 연결되고 상기 시료 홀더가 3방향의 병진 자유도와, 적어도 2방향의 회전 자유도를 갖게 하는 제 1 구동 모듈, 제 2 구동 모듈 및 제 3 구동 모듈을 포함하고,상기 제 1 구동 모듈, 제 2 구동 모듈 및 제 3 구동 모듈은 각각,상기 시료 홀더의 서로 다른 3개 부분에 각각 볼 조인트 결합되는 연결 바; 및상기 연결 바의 상측 및 하측에 각각 힌지 결합되고, 상기 연결 바를 상하 방향으로 틸팅시키기 위한 상측 링크 어셈블리 및 하측 링크 어셈블리를 포함하고,상기 상측 링크 어셈블리 및 하측 링크 어셈블리 중 어느 하나의 링크 어셈블리는, 서로 힌지 결합된 2개의 분절 링크로 구성되고, 상기 상측 링크 어셈블리 및 하측 링크 어셈블리 중 다른 하나의 링크 어셈블리는, 서로 힌지 결합된 3개의 분절 링크로 구성되는 시료 스테이지
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제 1 항에 있어서,상기 5개의 분절 링크는 모두 동일한 2차원 평면상에서 움직이는 시료 스테이지
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시료를 수용하기 위한 시료 홀더; 및상기 시료 홀더에 방사상으로 연결되고 상기 시료 홀더가 3방향의 병진 자유도와, 적어도 2방향의 회전 자유도를 갖게 하는 제 1 구동 모듈, 제 2 구동 모듈 및 제 3 구동 모듈을 포함하고,상기 제 1 구동 모듈, 제 2 구동 모듈 및 제 3 구동 모듈은 각각,상기 시료 홀더의 서로 다른 3개 부분에 각각 볼 조인트 결합되는 연결 바; 및상기 연결 바의 상측 및 하측에 각각 힌지 결합되고, 상기 연결 바를 상하 방향으로 틸팅시키기 위한 상측 링크 어셈블리 및 하측 링크 어셈블리를 포함하고,상기 시료 홀더를 감싸는 챔버를 더 포함하고,상기 상측 링크 어셈블리는, 상기 챔버에 대하여 슬라이딩 이동 가능한 상측 슬라이딩 링크; 및일측이 상기 연결 바에 힌지 결합되고, 타측이 상기 상측 슬라이딩 링크에 힌지 결합되는 상측 연결 링크를 포함하고, 상기 하측 링크 어셈블리는,상기 챔버에 대하여 슬라이딩 이동 가능한 하측 슬라이딩 링크; 일측이 상기 연결 바의 하측에 힌지 결합되는 하측 연결 링크; 및일측이 상기 하측 연결 링크에 힌지 결합되고, 타측이 상기 하측 슬라이딩 링크에 힌지 결합되는 중간 링크를 포함하는 시료 스테이지
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제 5 항에 있어서,상기 상측 연결 링크 및 연결 바 간의 회전 축은, 상기 상측 연결 링크 및 상측 슬라이딩 링크 간의 회전 축과 서로 직교하는 시료 스테이지
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7
제 5 항에 있어서,상기 하측 연결 링크 및 연결 바 간의 회전 축은, 상기 하측 연결 링크 및 중간 링크 간의 회전 축과 서로 직교하고,상기 중간 링크 및 하측 슬라이딩 링크 간의 회전 축과 서로 직교하는 시료 스테이지
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8
시료를 지지하는 시료 홀더를 구동하기 위해 상기 시료 홀더에 연결되되, 쌍으로 링크 어셈블리가 복수개 구비되어 상기 쌍으로 구성된 링크 어셈블리의 동기화된 운동 혹은 상기 쌍으로 구성된 링크 어셈블리간의 상대운동을 통해 상기 시료 홀더를 구동하고,상기 쌍으로 구성된 링크 어셈블리는 상대적인 회전이 가능하도록 순차적으로 연결된 4절 링크로 구성되고, 일단이 상기 4절 링크 중 중간에 연결된 2개의 링크 중 어느 하나의 링크에 회전 가능하게 연결되고, 타단이 상기 시료 홀더에 피봇 운동 가능하게 연결되는 연결 바를 더 포함하는 시료 홀더의 구동기
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제 8 항에 있어서,상기 복수개의 링크 어셈블리는 상기 시료 홀더에 방사상으로 결합되는 것을 특징으로 하는 시료 홀더의 구동기
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제 8 항에 있어서,상기 링크 어셈블리는 6개로 구성되며, 2개씩 쌍을 이루는 것을 특징으로 하는 시료 홀더의 구동기
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제 8 항에 있어서,상기 쌍으로 구성된 링크 어셈블리의 동기화된 운동을 통해 상기 시료 홀더의 위치를 조절하는 것을 특징으로 하는 시료 홀더의 구동기
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제 8 항에 있어서,상기 쌍으로 구성된 링크 어셈블리의 상대운동을 통해 상기 시료 홀더의 자세를 조절하는 것을 특징으로 하는 시료 홀더의 구동기
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제 8 항에 있어서,상기 연결 바는 상기 시료 홀더와 볼 조인트로 연결된 것을 특징으로 하는 시료 홀더의 구동기
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제 8 항에 있어서,상기 구동기는 적어도 병진 운동 3자유도 및 회전 운동 2자유도를 구현하는 것을 특징으로 하는 시료 홀더의 구동기
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16
제8 항의 구동기를 포함하는 스테이지
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제8 항의 구동기를 포함하는 전자 현미경
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