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전자 현미경용 시료 홀더의 구동기 및 이를 포함하는 스테이지

  • 기술번호 : KST2019034365
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 일 실시 예에 따른 시료 스테이지는, 시료를 수용하기 위한 시료 홀더; 및 상기 시료 홀더에 방사상으로 연결되고 상기 시료 홀더가 3방향의 병진 자유도와, 적어도 2방향의 회전 자유도를 갖게 하는 제 1 구동 모듈, 제 2 구동 모듈 및 제 3 구동 모듈을 포함할 수 있다.
Int. CL G01N 3/04 (2006.01.01) G02B 21/24 (2006.01.01)
CPC G01N 3/04(2013.01) G01N 3/04(2013.01)
출원번호/일자 1020160138158 (2016.10.24)
출원인 한국기초과학지원연구원
등록번호/일자 10-1742920-0000 (2017.05.26)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20170601) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.10.24)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이상철 대한민국 대전광역시 서구
2 정종만 대한민국 대전광역시 유성구
3 김진규 대한민국 대전광역시 유성구
4 한철수 대한민국 경기도 수원시 팔달구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 무한 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(역삼동,화물재단빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2016.10.24 수리 (Accepted) 1-1-2016-1029131-75
2 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.10.24 수리 (Accepted) 1-1-2016-1028848-13
3 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search
2016.10.26 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2016.11.02 수리 (Accepted) 9-1-2016-0045263-98
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.11.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0836724-69
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.01.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0070149-58
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.01.20 수리 (Accepted) 1-1-2017-0070148-13
8 등록결정서
Decision to grant
2017.03.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0187989-39
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2020-5135881-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
시료를 수용하기 위한 시료 홀더; 및상기 시료 홀더에 방사상으로 연결되고 상기 시료 홀더가 3방향의 병진 자유도와, 적어도 2방향의 회전 자유도를 갖게 하는 제 1 구동 모듈, 제 2 구동 모듈 및 제 3 구동 모듈을 포함하고,상기 제 1 구동 모듈, 제 2 구동 모듈 및 제 3 구동 모듈은 각각,상기 시료 홀더의 서로 다른 3개 부분에 각각 볼 조인트 결합되는 연결 바; 및상기 연결 바의 상측 및 하측에 각각 힌지 결합되고, 상기 연결 바를 상하 방향으로 틸팅시키기 위한 상측 링크 어셈블리 및 하측 링크 어셈블리를 포함하고,상기 상측 링크 어셈블리 및 하측 링크 어셈블리 중 어느 하나의 링크 어셈블리는, 서로 힌지 결합된 2개의 분절 링크로 구성되고, 상기 상측 링크 어셈블리 및 하측 링크 어셈블리 중 다른 하나의 링크 어셈블리는, 서로 힌지 결합된 3개의 분절 링크로 구성되는 시료 스테이지
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제 1 항에 있어서,상기 5개의 분절 링크는 모두 동일한 2차원 평면상에서 움직이는 시료 스테이지
5 5
시료를 수용하기 위한 시료 홀더; 및상기 시료 홀더에 방사상으로 연결되고 상기 시료 홀더가 3방향의 병진 자유도와, 적어도 2방향의 회전 자유도를 갖게 하는 제 1 구동 모듈, 제 2 구동 모듈 및 제 3 구동 모듈을 포함하고,상기 제 1 구동 모듈, 제 2 구동 모듈 및 제 3 구동 모듈은 각각,상기 시료 홀더의 서로 다른 3개 부분에 각각 볼 조인트 결합되는 연결 바; 및상기 연결 바의 상측 및 하측에 각각 힌지 결합되고, 상기 연결 바를 상하 방향으로 틸팅시키기 위한 상측 링크 어셈블리 및 하측 링크 어셈블리를 포함하고,상기 시료 홀더를 감싸는 챔버를 더 포함하고,상기 상측 링크 어셈블리는, 상기 챔버에 대하여 슬라이딩 이동 가능한 상측 슬라이딩 링크; 및일측이 상기 연결 바에 힌지 결합되고, 타측이 상기 상측 슬라이딩 링크에 힌지 결합되는 상측 연결 링크를 포함하고, 상기 하측 링크 어셈블리는,상기 챔버에 대하여 슬라이딩 이동 가능한 하측 슬라이딩 링크; 일측이 상기 연결 바의 하측에 힌지 결합되는 하측 연결 링크; 및일측이 상기 하측 연결 링크에 힌지 결합되고, 타측이 상기 하측 슬라이딩 링크에 힌지 결합되는 중간 링크를 포함하는 시료 스테이지
6 6
제 5 항에 있어서,상기 상측 연결 링크 및 연결 바 간의 회전 축은, 상기 상측 연결 링크 및 상측 슬라이딩 링크 간의 회전 축과 서로 직교하는 시료 스테이지
7 7
제 5 항에 있어서,상기 하측 연결 링크 및 연결 바 간의 회전 축은, 상기 하측 연결 링크 및 중간 링크 간의 회전 축과 서로 직교하고,상기 중간 링크 및 하측 슬라이딩 링크 간의 회전 축과 서로 직교하는 시료 스테이지
8 8
시료를 지지하는 시료 홀더를 구동하기 위해 상기 시료 홀더에 연결되되, 쌍으로 링크 어셈블리가 복수개 구비되어 상기 쌍으로 구성된 링크 어셈블리의 동기화된 운동 혹은 상기 쌍으로 구성된 링크 어셈블리간의 상대운동을 통해 상기 시료 홀더를 구동하고,상기 쌍으로 구성된 링크 어셈블리는 상대적인 회전이 가능하도록 순차적으로 연결된 4절 링크로 구성되고, 일단이 상기 4절 링크 중 중간에 연결된 2개의 링크 중 어느 하나의 링크에 회전 가능하게 연결되고, 타단이 상기 시료 홀더에 피봇 운동 가능하게 연결되는 연결 바를 더 포함하는 시료 홀더의 구동기
9 9
제 8 항에 있어서,상기 복수개의 링크 어셈블리는 상기 시료 홀더에 방사상으로 결합되는 것을 특징으로 하는 시료 홀더의 구동기
10 10
제 8 항에 있어서,상기 링크 어셈블리는 6개로 구성되며, 2개씩 쌍을 이루는 것을 특징으로 하는 시료 홀더의 구동기
11 11
제 8 항에 있어서,상기 쌍으로 구성된 링크 어셈블리의 동기화된 운동을 통해 상기 시료 홀더의 위치를 조절하는 것을 특징으로 하는 시료 홀더의 구동기
12 12
제 8 항에 있어서,상기 쌍으로 구성된 링크 어셈블리의 상대운동을 통해 상기 시료 홀더의 자세를 조절하는 것을 특징으로 하는 시료 홀더의 구동기
13 13
삭제
14 14
제 8 항에 있어서,상기 연결 바는 상기 시료 홀더와 볼 조인트로 연결된 것을 특징으로 하는 시료 홀더의 구동기
15 15
제 8 항에 있어서,상기 구동기는 적어도 병진 운동 3자유도 및 회전 운동 2자유도를 구현하는 것을 특징으로 하는 시료 홀더의 구동기
16 16
제8 항의 구동기를 포함하는 스테이지
17 17
제8 항의 구동기를 포함하는 전자 현미경
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP03531105 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
2 JP06616909 JP 일본 FAMILY
3 JP31514188 JP 일본 FAMILY
4 US20190066970 US 미국 FAMILY
5 WO2018080141 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP3531105 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
2 EP3531105 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
3 JP2019514188 JP 일본 DOCDBFAMILY
4 JP6616909 JP 일본 DOCDBFAMILY
5 US2019066970 US 미국 DOCDBFAMILY
6 WO2018080141 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국기초과학지원연구원 출연연구기관 주요사업 보급형 투과전자현미경 장비개발