| 1 |
1
스크린, 카메라 및 형상 측정 장치를 포함하며, 위상측정 광선편향법을 이용하여 측정 대상물의 표면 형상을 측정하는 표면 검사 장치의 교정 방법에 있어서,이상적 격자 패턴(ideal grid pattern) 구조체를 이용하여 상기 카메라에 의하여 발생되는 오차 인자를 교정하는 카메라 교정 단계;참조 기준면(reference flat)을 측정 위치에 배치하고, 상기 표면 검사 장치를 통해 상기 참조 기준면의 표면 형상을 측정하는 가-측정 단계;상기 참조 기준면을 기초로 형상 측정 기준면(reference plane)을 정의하고, 상기 측정 대상물을 상기 측정 위치에 배치하여 상기 정의된 형상 측정 기준면에 따라 정렬하는 측정 대상물 정렬 단계; 및상기 표면 검사 장치를 통해 상기 정렬된 측정 대상물의 표면 형상을 측정하는 실-측정 단계;를 포함하는 표면 검사 장치의 교정 방법
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 상기 카메라 교정 단계는상기 이상적 격자 패턴 구조체를 상기 카메라로 촬영하고, 촬영된 격자 패턴의 왜곡 정보를 기초로 상기 카메라의 반경 수차(radial distortion)을 교정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 검사 장치의 교정 방법
|
| 3 |
3
제1항에 있어서, 상기 카메라 교정 단계는상기 이상적 격자 패턴 구조체를 기설정된 거리만큼 위치 이동시키고, 상기 상기 이상적 격자 패턴 구조체의 위치 이동에 따른 격자 패턴의 위치 정보를 기초로, 상기 카메라의 각 화소로 입사하는 광선의 방향 벡터 및 상기 측정 대상물의 스케일 인자(scale factor) 중 적어도 하나를 교정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 검사 장치의 교정 방법
|
| 4 |
4
제1항에 있어서, 상기 표면 검사 장치의 교정 방법은상기 카메라 교정 단계 이후에, 기정의된 배율의 현미경을 이용하여 상기 스크린을 구성하는 복수의 픽셀들을 확대 촬영하고, 확대 촬영 결과를 기초로 상기 스크린을 구성하는 복수의 픽셀들의 피치(pitch)를 교정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 검사 장치의 교정 방법
|
| 5 |
5
제1항에 있어서, 상기 가-측정 단계는상기 참조 기준면을 상기 측정 위치에 배치하고, 상기 참조 기준면을 이용한 크로스헤어 패턴(crosshair pattern) 정렬을 통해 상기 스크린, 카메라 및 참조 기준면 중 적어도 하나에 대한 방향 또는 변위를 정렬한 이후, 위상측정 광선편향법을 이용하여 상기 참조 기준면의 표면 형상을 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 검사 장치의 교정 방법
|
| 6 |
6
제5항에 있어서, 상기 참조 기준면의 표면 형상을 측정하는 단계는상기 스크린을 이용해, 기정의된 패턴광을 위상 천이하여 상기 참조 기준면으로 출력하는 단계;상기 카메라를 이용해, 상기 참조 기준면으로부터 반사되는 반사광을 측정하는 단계; 및상기 형상 측정 장치를 이용해, 상기 측정된 반사광을 기초로 상기 참조 기준면의 표면 형상 정보를 생성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 검사 장치의 교정 방법
|
| 7 |
7
제6항에 있어서, 상기 표면 검사 장치의 교정 방법은상기 참조 기준면의 이상적 표면 형상 정보를 획득하고, 상기 가-측정에 의한 참조 기준면의 표면 형상 정보와 상기 이상적 표면 형상 정보의 차분값(difference)을 기초로, 상기 실-측정에 의한 상기 측정 대상물의 표면 형상 정보를 보정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 검사 장치의 교정 방법
|
| 8 |
8
기정의된 패턴광을 위상 천이하여 측정 대상물로 출력하는 스크린, 상기 측정 대상물로부터 반사되는 반사광을 측정하는 카메라 및 상기 측정된 반사광을 기초로 상기 측정 대상물의 표면 형상 정보를 생성하는 형상 측정 장치를 포함하며, 위상측정 광선편향법을 이용해 상기 측정 대상물의 표면 형상을 측정하는 표면 검사 장치; 및 상기 표면 검사 장치를 통한 표면 형상 측정 과정에서 발생하는 오차 인자를 교정하는 교정 장치;를 포함하고, 상기 교정 장치는이상적 격자 패턴(ideal grid pattern) 구조체를 이용하여 상기 카메라에 의하여 발생되는 오차 인자를 교정하는 카메라 교정부를 포함하며, 상기 표면 검사 장치는참조 기준면(reference flat)이 측정 위치에 배치되면, 상기 참조 기준면의 표면 형상을 측정하는 가-측정을 수행하는 표면 검사 장치의 교정 시스템
|
| 9 |
9
삭제
|
| 10 |
10
삭제
|
| 11 |
11
제8항에 있어서, 상기 교정 장치는상기 참조 기준면을 기초로 형상 측정 기준면(reference plane)을 정의하고, 상기 측정 대상물을 상기 측정 위치에 배치하여 상기 정의된 형상 측정 기준면에 따라 정렬하는 정렬부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 검사 장치의 교정 시스템
|
| 12 |
12
제11항에 있어서, 상기 표면 검사 장치는상기 정렬된 측정 대상물의 표면 형상을 측정하는 실-측정을 수행하는 것을 특징으로 하는 표면 검사 장치의 교정 시스템
|
| 13 |
13
제12항에 있어서, 상기 교정 장치는상기 참조 기준면의 이상적 표면 형상 정보를 획득하고, 상기 가-측정에 의한 참조 기준면의 표면 형상 정보와 상기 이상적 표면 형상 정보의 차분값(difference)을 기초로, 상기 실-측정에 의한 상기 측정 대상물의 표면 형상 정보를 보정하는 표면 형상 정보 보정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 검사 장치의 교정 시스템
|
