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전자기파를 가둘 수 있는 내부공간을 갖는 캐비티;전자기파 발진부로부터 발진되는 전자기파를 전송하는 심선이 상기 캐비티의 내부에 위치하도록 상기 캐비티와 연결되어 상기 캐비티 내부로 상기 전자기파를 전송하는 동축 케이블;상기 캐비티를 사이에 두고 상기 동축 케이블과 마주하는 방향에 배치되어, 상기 캐비티 내부로 전송된 전자기파의 유입이 가능하도록 상기 동축 케이블과 마부하는 일단부가 상기 캐비티와 전자파 커플링되는 유전체관; 및상기 유전체관과 유체 소통 가능하게 연결되어 상기 유전체관의 내부로 방전가스를 주입하는 방전가스 주입부를 포함하는 것을 특징으로 하는,동축 케이블 연결형 수냉식 표면파 플라즈마 발생장치
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제1항에 있어서,상기 방전가스 주입부는 상기 캐비티와 전자파 커플링된 상기 유전체관의 일단부에 인접한 위치에서 상기 유전체관과 유체 소통 가능하게 연결되어 있는 것을 특징으로 하는,동축 케이블 연결형 수냉식 표면파 플라즈마 발생장치
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제1항에 있어서,중공의 관 형태이고, 관의 내면이 상기 유전체관의 외면과 접촉하도록 상기 유전체관의 길이 전체 또는 일부를 감싸고 있고, 상기 중공의 관의 내면 및 외면 사이에 구비되어 상기 중공의 관의 외부로부터 주입된 냉각유체를 상기 중공의 관의 길이방향 및 원주방향을 따라 이동시키는 냉각유로를 포함하는 냉각자켓을 더 포함하는 것을 특징으로 하는,동축 케이블 연결형 수냉식 표면파 플라즈마 발생장치
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제1항에 있어서,상기 유전체관의 일단부는 상기 캐비티의 일면을 관통하여 상기 캐비티와 전자파 커플링되는 것을 특징으로 하는,동축 케이블 연결형 수냉식 표면파 플라즈마 발생장치
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제4항에 있어서,상기 동축 케이블 연결형 수냉식 표면파 플라즈마 발생장치는 안테나를 더 포함하고,상기 안테나는 일단부가 상기 동축 케이블의 심선과 연결되고 타단부는 상기 캐비티 내부로 삽입되어 상기 유전체관의 일단부에 대향하도록 배치되는 것을 특징으로 하는,동축 케이블 연결형 수냉식 표면파 플라즈마 발생장치
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제5항에 있어서,상기 캐비티 내에 위치하는 상기 안테나의 돌출된 길이는 상기 유전체관의 일단부와 접하거나 이격될 수 있는 길이인 것을 특징으로 하는,동축 케이블 연결형 수냉식 표면파 플라즈마 발생장치
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제5항에 있어서,상기 캐비티 내에 위치하는 상기 안테나의 돌출된 길이는 상기 안테나의 돌출방향에 평행한 캐비티 내의 높이(C)의 1/2 이상의 높이인 것을 특징으로 하는,동축 케이블 연결형 수냉식 표면파 플라즈마 발생장치
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8
제5항에 있어서,상기 안테나의 두께 또는 직경(A)은 상기 유전체관의 내경(B)보다 작은 것을 특징으로 하는,동축 케이블 연결형 수냉식 표면파 플라즈마 발생장치
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제5항에 있어서,상기 동축 케이블 연결형 수냉식 표면파 플라즈마 발생장치는 전자기파 전달부재를 더 포함하고,상기 전자기파 전달부재의 일단부는 상기 캐비티에서 상기 동축 케이블과 연결된 일면에 대향하는 다른 일면을 관통하여 상기 안테나와 연결되고 상기 전자기파 전달부재의 타단부는 상기 유전체관의 일단부와 연결되도록 구성되는 것을 특징으로 하는,동축 케이블 연결형 수냉식 표면파 플라즈마 발생장치
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제9항에 있어서,상기 전자기파 전달부재는 일단부가 상기 안테나를 일부 또는 전부를 덮고 타단부는 상기 유전체관의 일단부와 면접하도록 배치되는 것을 특징으로 하는,동축 케이블 연결형 수냉식 표면파 플라즈마 발생장치
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11
제9항에 있어서,상기 전자기파 전달부재는 일단부가 상기 안테나를 일부 또는 전부를 덮고 타단부는 상기 유전체관의 일단부의 일부를 덮도록 배치되는 것을 특징으로 하는,동축 케이블 연결형 수냉식 표면파 플라즈마 발생장치
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