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대기압 플라즈마 표면처리장치

  • 기술번호 : KST2019034377
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 실리콘 카바이드(SiC) 소재 대상물의 정밀한 표면처리를 위한 대기압 플라즈마 표면처리장치에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 대기압 플라즈마 표면처리장치는 실리콘 카바이드(SiC) 소재 대상물의 표면처리를 위한 대기압 플라즈마 표면처리장치로서, 제1플라즈마 가공부 그리고 제2플라즈마 가공부를 포함한다. 여기서, 제1플라즈마 가공부는 플라즈마를 발생하고, 발생되는 플라즈마를 대상물의 처리면의 전체 영역에 동시 분사한다. 그리고, 제2플라즈마 가공부는 플라즈마를 발생하고, 발생되는 플라즈마를 대상물의 처리면의 일정 영역에 집중 분사한다.
Int. CL H01J 37/32 (2006.01.01) H05H 1/34 (2006.01.01)
CPC H01J 37/3244(2013.01) H01J 37/3244(2013.01) H01J 37/3244(2013.01) H01J 37/3244(2013.01)
출원번호/일자 1020160172942 (2016.12.16)
출원인 한국기초과학지원연구원
등록번호/일자 10-1869617-0000 (2018.06.14)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20180723) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.12.16)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 석동찬 대한민국 전라북도 군산시
2 최용섭 대한민국 전라북도 군산시
3 유승열 대한민국 대전광역시 서구
4 노태협 대한민국 서울특별시 구로구
5 정용호 대한민국 서울특별시 광진구
6 정현영 대한민국 전라북도 군산시 서당길 **, *

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남건필 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
2 차상윤 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.12.16 수리 (Accepted) 1-1-2016-1239148-65
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.09.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.10.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0154313-13
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.10.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0739681-20
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.12.22 수리 (Accepted) 1-1-2017-1283178-35
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.12.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-1283179-81
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2018.02.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0119420-91
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.04.18 수리 (Accepted) 1-1-2018-0386108-09
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.04.18 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-0386109-44
10 등록결정서
Decision to grant
2018.06.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0397203-32
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2020-5135881-88
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번호 청구항
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삭제
2 2
삭제
3 3
플라즈마를 발생하고, 발생되는 플라즈마를 대상물의 처리면의 전체 영역에 동시 분사하는 제1플라즈마 가공부; 및플라즈마를 발생하고, 발생되는 플라즈마를 대상물의 처리면의 일정 영역에 집중 분사하는 제2플라즈마 가공부를 포함하고,상기 제2플라즈마 가공부는,원통형의 제3전극;상기 제3전극의 내주면에 면접하여 구비되는 원통형의 제2 절연체;상기 제2절연체의 내주면에 면접하고, 상기 제2절연체의 상단부에 배치되는 원통형의 제4전극; 및상기 제3전극과 일정 거리 이격되어 상기 제3전극을 에워싸는 원통형의 제1 커버부를 포함하고,상기 제3전극 및 제4전극 중 어느 하나에 전원이 인가되면 상기 제4전극의 하단부로부터 상기 제2절연체의 하단부 방향으로 플라즈마가 분사되고,상기 제3전극 및 제1커버부의 사이는 제1토출공간을 형성하고, 상기 제1토출공간을 통해 제1가스가 하향 분사되는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 표면처리장치
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삭제
5 5
제3항에 있어서,상기 제1가스는 분사되는 플라즈마를 감싸도록 분사되어 상기 플라즈마를 집속시키는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 표면처리장치
6 6
제3항에 있어서,상기 제1커버부의 외주면에 밀착되도록 원통형으로 형성되고 전원이 인가되는 제5전극이 더 구비되며, 상기 제1토출공간을 통해서 분사되는 상기 제1가스는 플라즈마인 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 표면처리장치
7 7
제3항에 있어서,상기 제1커버부의 외주면을 감싸도록 원통형의 제2커버부가 이격되어 마련되고, 상기 제1커버부 및 상기 제2커버부의 사이에 형성되는 제2토출공간을 통해서는 제2가스가 하향 분사되는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 표면처리장치
8 8
제7항에 있어서,상기 제2가스는 분사되는 플라즈마 및 상기 제1가스를 감싸도록 분사되어 상기 플라즈마에 의한 플라즈마 효과를 차단하는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 표면처리장치
9 9
제7항에 있어서,상기 제2커버부의 외주면에 밀착되도록 원통형으로 형성되고 전원이 인가되는 제6전극이 더 구비되며, 상기 제2토출공간을 통해서 분사되는 상기 제2가스는 플라즈마인 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 표면처리장치
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제3항에 있어서,상기 제2절연체의 하단부는 상기 제3전극의 하단부보다 하측으로 연장 형성되고, 중심방향으로 축관 형성되어 노즐부를 형성하는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 표면처리장치
11 11
제3항에 있어서,상기 대기압 플라즈마 표면처리장치는 수직 방향 및 수평 방향으로 이동되는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 표면처리장치
12 12
제3항에 있어서,상기 대기압 플라즈마 표면처리장치는 분사되는 플라즈마의 불균일이 방지되도록 수평방향으로 편심 회전하는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 표면처리장치
13 13
제3항에 있어서,상기 분사되는 플라즈마를 회전시키도록 상기 분사되는 플라즈마를 향해 자기장을 인가하는 자기장 인가부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 표면처리장치
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1 미래창조과학부 한국기초과학지원연구원 국가과학기술연구회연구운영비지원 자유형상 광부품 초정밀 가공공정 및 검사장비 개발