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하전입자 현미경의 경통의 포트 중 하나에 삽입되는 프로브 막대;상기 경통에 대해 상기 프로브 막대를 움직이는 무빙 스테이지;상기 무빙 스테이지의 단부를 촬영하기 위한 제 1 카메라; 및상기 프로브 막대의 단부에 설치되고, 하전 입자 빔의 정렬 상태를 관측하기 위해 하전 입자 빔을 가시광선으로 변화하여 반사시키는 형광 스크린을 포함하고,상기 무빙 스테이지는,상기 프로브 막대를 상기 프로브 막대의 길이 방향과 평행한 축을 중심으로 틸트시킬 수 있는 틸트 스테이지를 포함하고,상기 틸트 스테이지의 틸트 축은 상기 형광 스크린의 상면의 중심을 지나도록 배치되는 하전 입자 빔 정렬 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 카메라는, 상기 경통의 포트 중 상기 프로브 막대가 삽입되는 포트로부터 90도 간격으로 이격된 포트 중 하나에 설치되고,상기 경통의 포트 중 상기 프로브 막대가 삽입되는 포트의 맞은편의 포트에 설치되는 제 2 카메라를 더 포함하는 하전 입자 빔 정렬 장치
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제 2 항에 있어서,상기 프로브 막대의 단부에 설치되고, 상기 하전 입자 빔의 전류를 측정하는 패러데이 컵; 및상기 프로브 막대의 길이 방향을 따라 연장되고, 상기 패러데이 컵에서 측정된 전류를 상기 경통의 외부로 전달하기 위한 피드쓰루 단자를 더 포함하는 하전 입자 빔 정렬 장치
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제 1 항에 있어서,상기 무빙 스테이지는,상기 프로브 막대를 상기 경통에 대해 X축으로 이동시키는 X축 스테이지;상기 프로브 막대를 상기 경통에 대해 Y축으로 이동시키는 Y축 스테이지; 및상기 프로브 막대를 상기 경통에 대해 Z축으로 이동시키는 Z축 스테이지를 더 포함하는 하전 입자 빔 정렬 장치
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제 3 항에 있어서,상기 패러데이 컵 및 상기 형광 스크린은 같은 방향을 바라보고, 상기 프로브 막대의 길이 방향에 따라 이격되어 있는 하전 입자 빔 정렬 장치
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제 3 항에 있어서,상기 형광 스크린은,하전 입자 빔의 적어도 일부가 통과할 수 있도록 중앙에 형성된 빔 구멍을 포함하고,상기 형광 스크린은, 상기 패러데이 컵의 중심 및 상기 빔 구멍이 서로 중첩되도록 상기 패러데이 컵 위에 위치하는 하전 입자 빔 정렬 장치
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제 2 항에 있어서,상기 제 2 카메라를 통해 상기 프로브 막대의 위치 및 자세를 파악하기 위해, 상기 프로브 막대의 말단에 설치되는 표시부를 더 포함하는 하전 입자 빔 정렬 장치
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적어도 3개 이상의 포트를 구비하는 정렬 경통;상기 포트 중 하나에 삽입되는 프로브 막대;상기 정렬 경통에 대해 상기 프로브 막대를 움직이는 무빙 스테이지;상기 프로브 막대의 단부를 촬영하기 위한 제 1 카메라; 및상기 프로브 막대의 단부에 설치되고, 하전 입자 빔의 정렬 상태를 관측하기 위해 하전 입자 빔을 가시광선으로 변화하여 반사시키는 형광 스크린을 포함하고,상기 무빙 스테이지는,상기 프로브 막대를 상기 프로브 막대의 길이 방향과 평행한 축을 중심으로 틸트시킬 수 있는 틸트 스테이지를 포함하고,상기 틸트 스테이지의 틸트 축은 상기 형광 스크린의 상면의 중심을 지나도록 배치되고,상기 정렬 경통은, 하전입자 현미경의 렌즈 모듈들과 탈부착 가능한 것을 특징으로 하는 하전 입자 정렬 모듈
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하전입자 현미경의 경통에 대해 프로브 막대를 움직일 수 있는 무빙 스테이지를 이용하여, 상기 프로브 막대의 단부에 설치되고 하전 입자 빔을 가시광선으로 변화하여 반사시키는 형광 스크린의 중심을 상기 경통의 내부의 설정된 위치로 정렬시키는 형광 스크린 정렬 단계;상기 하전입자 현미경의 하전 입자 빔을 조사시키는 하전 입자 빔 조사 단계;상기 형광 스크린 상에 조사된 하전 입자 빔의 위치에 기초하여 하전 입자 빔을 상기 형광 스크린의 중앙으로 정렬하는 하전 입자 빔 정렬 단계; 및상기 형광 스크린에 조사되는 하전 입자 빔의 초점이 상기 형광 스크린의 상면에 위치하도록 조절하는 하전 입자 빔 초점 조절 단계를 포함하는 하전 입자 빔 정렬 방법
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제 10 항에 있어서,상기 하전 입자 빔 조사 단계 이후에 수행되고, 상기 프로브를 틸트시킴으로써 상기 형광 스크린 상에 조사된 하전 입자 빔의 위치를 확인하기 위한 하전 입자 빔 위치 확인 단계를 더 포함하는 하전 입자 빔 정렬 방법
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제 10 항에 있어서,상기 하전 입자 빔을 정렬하는 단계는, 상기 경통의 상측에 위치한 전자 또는 정전 정렬기에 인가되는 전류 또는 전압을 제어함으로써 수행되는 하전 입자 빔 정렬 방법
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제 10 항에 있어서,상기 하전 입자 빔을 정렬하는 단계는, 상기 경통의 상측에 위치한 다른 경통의 위치를 조절함으로써 수행되는 하전 입자 빔 정렬 방법
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제 10 항에 있어서,상기 프로브 막대는, 상기 하전입자 현미경의 하전 빔의 전류를 측정하는 패러데이 컵을 더 포함하고,상기 하전 입자 빔 초점 조절 단계 이후에 수행되고, 상기 패러데이 컵을 이용하여 하전 입자 빔의 전류를 측정하는 하전 입자 빔 측정 단계를 더 포함하는 하전 입자 빔 정렬 방법
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제 15 항에 있어서,상기 하전 입자 빔 측정 단계는,상기 하전 입자 빔 정렬 단계 이후에 수행되고, 상기 무빙 스테이지를 이용하여 상기 패러데이 컵의 중심이 상기 형광 스크린의 중심이 놓여있던 위치로 이동하도록 상기 프로브 막대를 움직이는 패러데이 컵 정렬 단계를 포함하는 하전 입자 빔 정렬 방법
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복수 개의 탈부착 가능한 렌즈 모듈로 이루어진 하전 입자 빔 정렬 방법에 있어서,상기 복수 개의 렌즈 모듈 중 일부의 렌즈 모듈을 제거하는 렌즈 모듈 제거 단계;상기 복수 개의 렌즈 모듈 중 남아있는 렌즈 모듈의 하단에 정렬 모듈을 설치하는 정렬 모듈 설치 단계;상기 정렬 모듈에서 측정된 하전 입자 빔의 위치에 기초하여, 하전 입자 빔을 정렬하는 렌즈 모듈 정렬 단계; 및상기 정렬 모듈을 제거하고, 상기 제거된 일부의 렌즈 모듈 중 최상단의 렌즈 모듈을 상기 남아있는 렌즈 모듈의 하단에 추가 설치하는 렌즈 모듈 추가 단계를 포함하는 하전입자 현미경 정렬 방법
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제 17 항에 있어서,상기 정렬 모듈은,적어도 3 개 이상의 포트를 구비하는 정렬 경통;상기 3 개 이상의 포트 중 하나에 삽입되는 프로브 막대;상기 정렬 경통에 대해 상기 프로브 막대를 움직이는 무빙 스테이지;상기 프로브 막대의 단부를 촬영하기 위한 제 1 카메라; 및상기 프로브 막대의 단부에 설치되고, 하전 입자 빔의 정렬 상태를 관측하기 위해 하전 입자 빔을 가시광선으로 변화하여 반사시키는 형광 스크린을 포함하고,상기 정렬 경통은, 상기 렌즈 모듈과 탈부착 가능한 하전입자 현미경 정렬 방법
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제 17 항에 있어서,상기 정렬 모듈 설치 단계, 하전 입자 빔 정렬 단계 및 렌즈 모듈 추가 단계는, 상기 남아있는 렌즈 모듈의 모두에 대하여 수행될 때까지 반복 수행되는 하전입자 현미경 정렬 방법
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