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레이저 위상잠금 열화상기법을 이용한 열확산 검출장치

  • 기술번호 : KST2019034398
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 열확산율 검출장치와 이를 이용한 열확산율 측정방법에 관한 것으로서, 서로 다른 열물성을 가지는 기판 또는 웨이퍼가 적측되어 이루어진 반도체의 평균 열확산율을 구할 수 있는 장치와 방법에 관한 것이다.
Int. CL G01N 25/18 (2006.01.01) G01J 5/02 (2006.01.01) G01N 21/17 (2006.01.01) G01N 25/72 (2006.01.01)
CPC G01N 25/18(2013.01) G01N 25/18(2013.01) G01N 25/18(2013.01) G01N 25/18(2013.01)
출원번호/일자 1020170080997 (2017.06.27)
출원인 한국기초과학지원연구원
등록번호/일자 10-1833445-0000 (2018.02.22)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20180228) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.06.27)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김선진 대한민국 대전광역시 유성구
2 이계승 대한민국 대전광역시 유성구
3 허환 대한민국 대전광역시 서구
4 김건희 대한민국 세종특별자치시 나리*로 **

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.06.27 수리 (Accepted) 1-1-2017-0614369-01
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2017.06.27 수리 (Accepted) 1-1-2017-0616560-62
3 우선심사신청관련 서류제출서
Submission of Document Related to Request for Accelerated Examination
2017.08.03 수리 (Accepted) 1-1-2017-0749086-17
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.08.24 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.09.07 수리 (Accepted) 9-1-2017-0029716-38
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.09.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0664493-17
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.11.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-1152097-07
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.11.20 수리 (Accepted) 1-1-2017-1152127-89
9 등록결정서
Decision to grant
2018.02.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0104215-97
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2020-5135881-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
시료모듈(1)이 위치되는 홀더(100);상기 시료모듈(1)의 전면 가열지점(1P)에 레이저를 인가하는 레이저 인가부(200);상기 시료모듈(1)의 후면 측정지점(2P)의 온도와 위상차를 측정하는 디텍터(300); 및상기 디텍터(300)에서 측정된 상기 측정지점(2P)의 온도와 위상차를 기반으로 상기 시료모듈(1)의 열확산율을 추정하는 열확산율 추정부(400); 를 포함하고,상기 열확산율 추정부(400)는 하기 수학식 1을 이용하여 시료모듈(1)의 평균 열확산율을 구하는데 필요한 평균 열확산길이를 추정하고, 하기 수학식 2를 이용하여 보정된 위상값을 구하는 것을 특징으로 하는, 열확산율 검출장치
2 2
제 1항에 있어서,상기 레이저 인가부(200)는 레이저를 방출하는 피버(210)와, 상기 시료모듈(1)에 인가되는 레이저의 가열지점(1P) 위치를 제어하는 가열지점 제어장치를 포함하는 것을 특징으로 하는, 열확산율 검출장치
3 3
제 1항에 있어서,상기 레이저 인가부(200)는 피버(210)에서 방출된 레이저를 평행광으로 바꿔주는 콜리메이팅렌즈(220)와, 평행광을 상기 시료모듈(1)로 집중시키는 포커싱 렌즈(230)를 포함하는 것을 특징으로 하는, 열확산율 검출장치
4 4
제 3항에 있어서,상기 홀더(100)는 상기 시료모듈(1)을 전후방향 이동시키는 위치제어부(110)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 열확산율 검출장치
5 5
삭제
6 6
삭제
7 7
제 4항의 열확산율 검출장치를 이용한 열확산율 측정방법에 있어서,상기 홀더(100)에 시료모듈(1)을 위치시키는 시험 준비단계(S100);상기 레이저 인가부(200)의 광축이 시료모듈(1)의 전면과 비스듬하게 위치하도록 레이저 인가부(200)를 정렬하는 제1 레이저 설치단계(S200); 상기 디텍터(300)를 시료모듈(1)의 전면과 마주보게 위치시키는 제1 디텍터 설치단계(S300);상기 레이저 인가부(200)를 이용하여 시료모듈(1)의 전면 가열지점(1P)에 레이저를 인가하는 레이저 인가단계(S400);상기 디텍터(300)를 이용하여 시료모듈(1)의 전면 가열지점(1P)의 위상값을 측정하는 초기 위상값 측정단계(S500);상기 디텍터(300)를 시료모듈(1)의 후면과 마주보게 위치시키는 제2 디텍터 설치단계(S600);디텍터(300)를 이용하여 상기 시료모듈(1)의 후면 가열지점(2P) 위상값을 측정하는 시료모듈 위상값 측정단계(S700);측정된 전면 가열지점(1P)의 위상값과 후면 가열지점(2P)의 위상값을 이용하여 열확산길이를 구하는 열확산길이 추정단계(S800);를 포함하는 것을 특징으로 하는, 열확산율 측정방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국전자통신연구원 연구회 융합연구사업 고해상도 적외선 광학계 및 LIT 모듈 개발
2 미래창조과학부 한국기초과학지원연구원 출연연구기관 주요사업 창의사업육성을 위한 첨단광분석장비 개발