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플레이트 형태의 중심 전극;상기 중심전극의 양면에 적층된 플레이트 형태의 제1 및 제2 유전체층;상기 제1 유전체층과 평행하게 이격 배치되고 일측에 중심 전극의 길이방향의 토출구가 형성되도록 상기 제1 유전체층과 마주하는 플레이트 형태의 제1 외측 전극;상기 중심전극을 사이에 두고 상기 제1 외측 전극과 대칭되게 위치하고, 상기 제2 유전체층과 평행하게 이격 배치되도록 상기 제2 유전체층과 마주하는 플레이트 형태의 제2 외측 전극;상기 제1 및 제2 외측 전극과 제1 및 제2 유전체층 사이의 이격 공간으로 플라즈마소스 가스를 주입하는 가스주입부; 및상기 이격 공간에 플라즈마가 발생되도록 상기 중심전극과 상기 제1 및 제2 외측전극 사이에 전압을 인가하는 전원공급장치를 포함하고,상기 제1 외측 전극 및 유전체 사이의 이격 공간은 제1 플라즈마를 생성하여 상기 제1 외측 전극의 종방향을 따라 상기 제1 플라즈마를 토출하는 제1 플라즈마 토출 채널을 구성하며,상기 제2 외측 전극 및 유전체 사이의 이격 공간은 제2 플라즈마를 생성하여 상기 제2 외측 전극의 종방향을 따라 상기 제2 플라즈마를 토출하는 제2 플라즈마 토출 채널을 구성하며,상기 가스주입부는,상기 제1 외측 전극의 횡방향에 평행하게 연장되고, 상기 제1 플라즈마 토출 채널의 최상부에 인접하도록 배치되는 제1 가스 안내 채널;상기 제1 가스 안내 채널로부터 상기 제1 플라즈마 토출 채널을 향해 연장되어 상기 제1 플라즈마 토출 채널 및 상기 제1 가스 안내 채널에 유체 소통 가능하게 연결되며, 상기 제1 가스 안내 채널의 길이방향을 따라 일정 간격으로 다수 배열되는 제1 채널간 연결구멍;상기 제2 외측 전극의 횡방향에 평행하게 연장되고, 상기 제2 플라즈마 토출 채널의 최상부에 인접하도록 배치되는 제2 가스 안내 채널; 및상기 제2 가스 안내 채널로부터 상기 제2 플라즈마 토출 채널을 향해 연장되어 상기 제2 플라즈마 토출 채널 및 상기 제2 가스 안내 채널에 유체 소통 가능하게 연결되며, 상기 제2 가스 안내 채널의 길이방향을 따라 일정 간격으로 다수 배열되는 제2 채널간 연결구멍을 포함하고,상기 제1 외측 전극의 상기 유전체와 마주하는 일면으로부터 상기 제1 가스 안내 채널 방향으로 오목하고, 상기 제1 플라즈마 토출 채널 및 제1 채널간 연결구멍에 유체 소통 가능하게 연결되는 제1 가스체류공간; 및상기 제2 외측 전극의 상기 유전체와 마주하는 일면으로부터 상기 제2 가스 안내 채널 방향으로 오목하고, 상기 제2 플라즈마 토출 채널 및 제2 채널간 연결구멍에 유체 소통 가능하게 연결되는 제2 가스체류공간을 더 포함하고,가스의 주입 방향은 상기 제1 가스 안내 채널 및 제2 가스 안내 채널과 평행하고, 주입된 가스는 상기 제1 채널간 연결구멍 및 제2 채널간 연결구멍 각각의 배열 위치에서 가스의 주입 방향에 수직한 방향으로 분포되는 것을 특징으로 하는,듀얼 타입 플라즈마 토출부를 구비하는 플라즈마 장치
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