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고속 병렬 광간섭 단층 이미지 생성 장치의 광대역 광원에서 방출되는 광을 낮은 파장으로부터 높은 파장까지 분광하는 분광 단계;파장별로 분광된 광을 각각 샘플 및 기준 미러로 입사시키는 스플릿 단계;상기 샘플을 P1 내지 PN 의 N개의 복수의 이미지 영역으로 구획하고, 상기 샘플에 입사되는 광을 낮은 파장으로부터 높은 파장까지 순차적으로 Δλ1 내지 ΔλN 의 N개의 복수의 분광 영역으로 구획하는 구획 단계;상기 광대역 광원에서 방출되는 광이 상기 샘플에 미리 설정된 설정 간격만큼 위치를 변경하며 입사되도록 갈바노미터 스캐너를 이산 제어(discrete control)하는 라인 스캔 단계;상기 N개의 분광 영역 중 일부인 복수의 분광 영역에 해당하는 광이 상기 샘플로부터 반사되어 나온 측정광과, 상기 복수의 분광 영역에 해당하는 광이 상기 기준 미러로부터 반사되어 나온 기준광이 간섭되어 형성하는 간섭광을 통해 간섭 스펙트럼 이미지를 획득하는 스펙트럼 이미지 획득 단계; 및 상기 간섭 스펙트럼 이미지를 이용하여 상기 샘플의 단층 이미지를 생성하는 단층 이미지 획득 단계를 포함하는 고속 병렬 광간섭 단층 이미지 생성 방법
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제 1 항에 있어서,상기 복수의 분광 영역 중 인접한 한 쌍의 영역들은 각각 동일한 분광 간격으로 이격되어 상기 샘플에 입사되고, 상기 샘플의 N개의 복수의 이미지 영역 각각의 간격은 상기 분광 간격과 같은 것을 특징으로 하는 고속 병렬 광간섭 단층 이미지 생성 방법
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제 2 항에 있어서,상기 설정 간격은,상기 복수의 이미지 영역 중 상기 샘플에 조사되는 광이 이격하는 이미지 영역의 개수와 상기 분광 간격의 곱으로 나타나는 고속 병렬 광간섭 단층 이미지 생성 방법
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제 4 항에 있어서,상기 라인 스캔 단계에서,상기 갈바노미터 스캐너를 통해 광이 하나의 라인을 따라 이격되는 전체 간격은 다음의 수학식으로 계산되는 고속 병렬 광간섭 단층 이미지 생성 방법
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제 5 항에 있어서,상기 라인 스캔 단계는,상기 갈바노미터 스캐너를 통해 조사광이 이격된 간격이 전체 간격보다 큰지의 여부를 판별하는 라인 확인 단계;조사광이 이격되는 간격이 상기 전체 간격보다 큰 경우, 조사광을 다음 라인의 초기 위치로 이동시키는 라인 변경 단계; 및 조사광이 이격되는 간격이 상기 전체 간격보다 작은 경우, 조사광을 설정 간격만큼 이격시키는 설정 간격 이격 단계를 포함하는 고속 병렬 광간섭 단층 이미지 생성 방법
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제 1 항에 있어서,상기 샘플의 단층 이미지를 생성하는 단계는,상기 간섭 스펙트럼 이미지가 파장별로 N개의 복수의 영역으로 분광되어 라인 스캔 카메라의 각 픽셀에 입력되는 단계를 포함하는 고속 병렬 광간섭 단층 이미지 생성 방법
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제 7 항에 있어서,상기 라인 스캔 카메라의 픽셀의 개수는 적어도 N개 이상이고,상기 간섭 스펙트럼 이미지가 분광된 N개의 복수의 영역은 상기 라인 스캔 카메라의 상기 픽셀에 각각 입사되는 고속 병렬 광간섭 단층 이미지 생성 방법
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제 1 항에 있어서,상기 고속 병렬 광간섭 단층 이미지 생성 장치는, 상기 갈바노미터 스캐너로부터 반사되는 광을 수용하는 대물 렌즈를 포함하고,상기 광대역 광원으로부터 상기 대물 렌즈까지 공통 광 경로를 갖는 것을 특징으로 하는 고속 병렬 광간섭 단층 이미지 생성 방법
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제 9 항에 있어서,상기 고속 병렬 광간섭 단층 이미지 생성 장치는,상기 대물 렌즈 및 상기 샘플 사이에 위치하고, 상기 대물 렌즈로부터 입사되는 광을 상기 기준 미러를 향하여 반사시키기 위한 빔 스플리터 층이 형성되는 스플릿 윈도우; 및 상기 스플릿 윈도우 및 상기 기준 미러 사이에 배치되고, 상기 스플릿 윈도우보다 두꺼운 두께를 가짐으로써, 상기 기준광의 광 경로를 보상해주는 제 1 보상 윈도우를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고속 병렬 광간섭 단층 이미지 생성 방법
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제 10 항에 있어서,상기 고속 병렬 광간섭 단층 이미지 생성 장치는,상기 스플릿 윈도우 및 상기 샘플 사이에 위치하는 커버 글래스; 및상기 제 1 보상 윈도우 및 기준 미러 사이에 배치되고, 상기 커버 글래스와 동일한 두께를 가짐으로써, 상기 기준광의 광 경로를 보상해주는 제 2 보상 윈도우를 더 포함하는 고속 병렬 광간섭 단층 이미지 생성 방법
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고출력의 광을 방출하는 광대역 광원;상기 광대역 광원으로부터 광을 입력 받아 샘플을 비추고, 상기 샘플로부터 반사되는 광을 간섭할 수 있는 프로브;상기 프로브로부터 간섭된 광을 입력받아 파장을 분석하여 상기 간섭된 광의 간섭 스펙트럼 이미지를 생성하는 분광기; 및상기 분광기에서 생성한 상기 간섭 스펙트럼 이미지를 통해 상기 샘플의 단층 이미지를 생성하는 제어부를 포함하고,상기 프로브는,상기 광대역 광원으로부터 상기 프로브로 집입된 광을 평행한 광으로 만드는 제 1 콜리메이터;상기 제 1 콜리메이터를 통과한 광을 파장에 따라 분광시키는 제 1 투과 격자;상기 제 1 투과 격자를 통과한 광의 상을 연장하는 제 1 릴레이 렌즈;상기 제 1 릴레이 렌즈를 통과한 광을 샘플을 향해 반사시키고, 광이 상기 샘플 상에 조사되는 위치를 조절할 수 있는 갈바노미터 스캐너;상기 갈바노미터 스캐너에서 반사되는 광을 상기 샘플을 향해 굴절시킬 수 있는 대물 렌즈; 및상기 대물 렌즈를 통해 출력되는 광의 일부를 상기 샘플에 조사하고, 광의 나머지 일부를 기준 미러에 조사하여, 각각으로부터 반사되는 광을 합성하여 갑섭광을 형성하는 간섭부를 포함하고,상기 분광기는,상기 프로브로부터 상기 분광기로 입사되는 간섭광을 평행한 광으로 만드는 제 2 콜리메이터;상기 제 2 콜리메이터를 통과한 광을 파장에 따라 분광시키는 제 2 투과 격자;상기 제 2 투과 격자를 통과한 광의 상을 연장하는 제 2 릴레이 렌즈; 및상기 제 2 릴레이 렌즈를 통과한 광의 파장을 분석하여 간섭 스펙트럼 이미지를 형성하는 라인 카메라를 포함하는 고속 병렬 광간섭 단층 이미지 생성 장치
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제 12 항에 있어서,상기 라인 카메라는, 일렬로 배치된 복수개의 픽셀로 형성된 이미지 센서를 포함하고,상기 제 2 투과 격자를 통해 파장별로 분광된 광은 파장별로 상기 라인 카메라의 각각의 픽셀에 입력되는 고속 병렬 광간섭 단층 이미지 생성 장치
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