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시료 홀더의 시료 지지봉이 삽입되는 개구를 갖는 복수 개의 시료 홀더 보관부;상기 복수 개의 시료 홀더 보관부의 내부 공간에 각각 연통되는 복수 개의 진공 라인;상기 복수 개의 진공 라인에 연통되는 하나의 저진공(low vacuum) 챔버;상기 복수 개의 진공 라인에 연통되는 하나의 고진공(high vacuum) 챔버;상기 복수 개의 시료 홀더 보관부의 내부 공간을 각각 상기 하나의 저진공 챔버로부터 차단시킬 수 있는 복수 개의 저진공 밸브; 및상기 복수 개의 시료 홀더 보관부의 내부 공간을 각각 상기 하나의 고진공 챔버로부터 차단시킬 수 있는 복수 개의 고진공 밸브를 포함하는 시료 홀더용 펌핑 스테이션
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제 1 항에 있어서,상기 복수 개의 시료 홀더 보관부의 내부 공간을 각각 외부와 연통시키기 위한 복수 개의 대기압 라인; 및상기 복수 개의 대기압 라인을 각각 외부로부터 차단시킬 수 있는 복수 개의 대기압 밸브를 더 포함하는 시료 홀더용 펌핑 스테이션
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제 2 항에 있어서,사용자의 입력에 따라 상기 복수 개의 저진공 밸브, 복수 개의 고진공 밸브 및 복수 개의 대기압 밸브를 제어하는 제어부를 더 포함하고,상기 복수 개의 시료 홀더 보관부 중 어느 하나의 시료 홀더 보관부에 시료 홀더가 삽입된 상태에서, 상기 어느 하나의 시료 홀더 보관부의 내부를 진공 상태가 되게 하는 명령이 입력되면, 상기 제어부는, 상기 어느 하나의 시료 홀더 보관부에 대응하는 대기압 밸브를 차단한 상태에서, 저진공 밸브를 개방 후 차단하고, 고진공 밸브를 개방하는 시료 홀더용 펌핑 스테이션
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제 3 항에 있어서,상기 어느 하나의 시료 홀더 보관부에 시료 홀더가 진공 상태로 보관된 상태에서, 상기 어느 하나의 시료 홀더 보관부의 내부를 대기압 상태가 되게 하는 명령이 입력되면, 상기 제어부는, 상기 어느 하나의 시료 홀더 보관부에 대응하는 대기압 밸브를 개방하는 시료 홀더용 펌핑 스테이션
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제 3 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 하나의 저진공 챔버에 연결되는 다이어프램 펌프; 및 상기 하나의 고진공 챔버에 연결되는 터보 분자 펌프를 더 포함하고, 상기 시료 홀더가 상기 어느 하나의 시료 홀더 보관부에 탈부착 되는 과정에서, 상기 제어부는, 상기 다이어프램 펌프 및 상기 터보 분자 펌프가 온(ON) 상태를 유지되게 하는 시료 홀더용 펌핑 스테이션
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제 1 항에 있어서,기둥형 케이스를 더 포함하고,상기 복수 개의 시료 홀더 보관부는 상기 기둥형 케이스의 상하 방향으로 적층 배치되고,상기 하나의 저진공 챔버 및 하나의 고진공 챔버는 상호 구획된 상태로 상기 기둥형 케이스의 내부에 상하 방향으로 형성되는 시료 홀더용 펌핑 스테이션
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제 1 항에 있어서,상기 복수 개의 진공 라인 상에서, 상기 고진공 챔버는, 상기 시료 홀더 보관부를 기준으로 상기 저진공 챔버보다 하류 방향에 연결되는 시료 홀더용 펌핑 스테이션
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제 1 항에 있어서,상기 복수 개의 시료 홀더 보관부 중 적어도 일부는 서로 다른 각도로 배치되는 시료 홀더용 펌핑 스테이션
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제 2 항에 있어서,상기 진공 라인은,상기 시료 홀더 보관부의 내부 공간을 상기 저진공 챔버로 연통시키는 저진공 라인;상기 저진공 라인을 상기 고진공 챔버로 연통시키는 고진공 라인; 및상기 고진공 라인을 상기 시료 홀더의 단열 용기의 단열 공간으로 연통시킬 수 있는 용기 진공 라인을 포함하는 시료 홀더용 펌핑 스테이션
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제 9 항에 있어서,상기 저진공 밸브는, 상기 저진공 라인에 설치되어, 상기 시료 홀더 보관부의 내부 공간을 상기 저진공 챔버로부터 개방 또는 차단시킬 수 있고, 상기 고진공 밸브는, 상기 고진공 라인에 설치되어, 상기 저진공 라인을 상기 고진공 챔버로부터 개방 또는 차단시킬 수 있고,상기 고진공 밸브는, 상기 저진공 라인을 상기 고진공 챔버로부터 차단시킨 상태에서, 상기 저진공 라인이 상기 용기 진공 라인에 연통되게 하는 연통 수단을 포함하는 시료 홀더용 펌핑 스테이션
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제 1 항에 있어서,상기 복수 개의 진공 라인 중 서로 다른 시료 홀더 보관부에 연통되는 진공 라인들은 서로 연통되지 않는 시료 홀더용 펌핑 스테이션
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시료 홀더의 시료 지지봉이 삽입되는 개구를 갖는 시료 홀더 보관부와, 상기 시료 홀더 보관부에 연통되고 상하로 개방된 형상의 저진공 챔버와, 상기 저진공 챔버에 연통되고 상하로 개방된 형상의 고진공 챔버를 각각 포함하는 복수 개의 홀더 보관 모듈; 및상기 복수 개의 홀더 보관 모듈 중 최상단에 위치한 홀더 보관 모듈의 상면을 커버하기 위한 덮개부를 포함하고, 상기 복수 개의 홀더 보관 모듈의 저진공 챔버는 모두 서로 연통되고,상기 복수 개의 홀더 보관 모듈의 고진공 챔버는 모두 서로 연통되는 시료 홀더용 펌핑 스테이션
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제 12 항에 있어서,상기 복수 개의 홀더 보관 모듈은 서로 탈부착 가능한 시료 홀더용 펌핑 스테이션
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시료 홀더용 펌핑 스테이션의 시료 홀더 보관부로 시료 홀더를 삽입하는 단계;저진공 챔버로부터 상기 시료 홀더 보관부의 내부 공간으로 연통되는 저진공 라인에 설치되어, 상기 시료 홀더 보관부의 내부 공간을 상기 저진공 챔버로부터 개방 또는 차단시킬 수 있는 저진공 밸브를 개방시키는 단계;상기 저진공 밸브를 차단시키는 단계;고진공 챔버로부터 상기 저진공 라인으로 연통되는 고진공 라인에 설치되어, 상기 저진공 라인을 상기 고진공 챔버로부터 개방 또는 차단시킬 수 있는 고진공 밸브를 개방시키는 단계; 및상기 고진공 밸브를 차단시키는 단계를 포함하는 시료 홀더용 펌핑 스테이션의 제어 방법
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제 14 항에 있어서,상기 시료 홀더용 펌핑 스테이션은, 상기 고진공 라인을 상기 시료 홀더의 단열 용기의 단열 공간으로 연통시킬 수 있는 용기 진공 라인을 포함하고, 상기 고진공 밸브는, 상기 저진공 라인을 상기 고진공 챔버로부터 차단시킨 상태에서, 상기 저진공 라인이 상기 용기 진공 라인에 연통되게 하는 연통 수단을 포함하는 시료 홀더용 펌핑 스테이션의 제어 방법
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제 15 항에 있어서,상기 시료 홀더를 삽입하는 단계와 동시에 또는 그 이후에 수행되고, 상기 저진공 밸브를 개방시키는 단계 이전에 수행되고, 상기 용기 진공라인을 상기 단열 용기에 결합시키는 단계를 더 포함하는 시료 홀더용 펌핑 스테이션의 제어 방법
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