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전자 빔을 방출하는 전자 빔 방출부; 질량 분석기의 외부로 노출되어 시료에 직접 접촉 가능하고, 상기 전자 빔 방출부로부터 방사된 전자 빔을 수용하여 상기 시료를 이온화 시킬 수 있는 기질부; 상기 전자 빔이 통과되고, 상기 시료에서 방출된 이온을 통과시키는 이온 분리부; 및상기 이온 분리부를 통과한 이온을 검출할 수 있는 이온 검출부를 포함하고,상기 이온 검출부 및 전자 빔 방출부는 서로 인접하게 배치되고,상기 전자 빔 방출부는,자외선을 방사하는 자외선 빔 소스; 및자외선을 전자 빔으로 바꾸는 제 1 마이크로채널 플레이트를 포함하고,상기 이온 검출부는,상기 제 1 마이크로 채널 플레이트의 적어도 일부의 둘레를 감싸는 중공을 가진 환형 형상을 갖고,상기 이온 분리부는,상기 전자 빔의 진행 방향으로 평행하게 연장되고, 내부에서 전자 빔 및 상기 시료에서 방출되는 이온의 진행 경로가 서로 평행한 것을 특징으로 하는 소형 비행시간 질량 분석기
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 마이크로채널 플레이트는,상기 자외선 빔 소스로부터 방출되는 자외선을 수용하여 전자를 생성하는 제 1 마이크로채널 플레이트 전면판; 및상기 제 1 마이크로채널 플레이트 전면판으로부터 생성된 전자를 증배하여 상기 시료를 향해 전자 빔을 방출하는 제 1 마이크로채널 플레이트 후면판을 포함하는 소형 비행시간 질량 분석기
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제 1 항에 있어서,상기 이온 검출부는,상기 시료로부터 방출된 이온의 전하량을 증폭시켜주는 제 2 마이크로채널 플레이트; 및상기 제 2 마이크로채널 플레이트에서 증폭된 이온을 검출하는 이온 검출 장치를 포함하는 소형 비행시간 질량 분석기
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제 5 항에 있어서,상기 제 2 마이크로채널 플레이트는,상기 시료로부터 방출되는 이온을 수용하는 제 2 마이크로채널 플레이트 전면판; 및상기 제 2 마이크로채널 플레이트 전면판으로부터 수용된 이온의 전하량을 증폭하여 상기 이온 검출 장치를 향해 이온을 방출하는 제 2 마이크로채널 플레이트 후면판을 포함하는 소형 비행시간 질량 분석기
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전자 빔을 방출하는 전자 빔 방출부; 질량 분석기의 외부로 노출되어 시료에 직접 접촉 가능하고, 상기 전자 빔 방출부로부터 방사된 전자 빔을 수용하여 상기 시료를 이온화 시킬 수 있는 기질부; 상기 전자 빔이 통과되고, 상기 시료에서 방출된 이온을 통과시키는 이온 분리부; 및상기 이온 분리부를 통과한 이온을 검출할 수 있는 이온 검출부를 포함하고,상기 이온 검출부 및 전자 빔 방출부는 서로 인접하게 배치되고,상기 전자 빔 방출부는,자외선을 방사하는 자외선 빔 소스; 및자외선을 전자 빔으로 바꾸는 제 1 마이크로채널 플레이트를 포함하고,상기 이온 검출부는,상기 제 1 마이크로 채널 플레이트의 적어도 일부의 둘레를 감싸는 중공을 가진 환형 형상을 갖고,상기 이온 검출부는,상기 시료로부터 방출된 이온의 전하량을 증폭시켜주는 제 2 마이크로채널 플레이트; 및상기 제 2 마이크로채널 플레이트에서 증폭된 이온을 검출하는 이온 검출 장치를 포함하고,상기 제 2 마이크로채널 플레이트 및 이온 검출 장치는 서로의 중공이 연통되는 환형으로 형성되고,상기 이온 검출부는,환형 형상을 가진 상기 이온 검출부의 중공의 내면에 전기장을 차폐하기 위한 절연막을 더 포함하는 소형 비행시간 질량 분석기
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제 1 항에 있어서,상기 이온 분리부는,전압을 인가할 수 있는 전도체; 및상기 시료에서 방출되는 이온의 이탈을 방지하기 위해 상기 이온 분리부의 외벽에 형성되는 절연체를 포함하는 소형 비행시간 질량 분석기
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전자 빔을 방출하는 전자 빔 방출부; 질량 분석기의 외부로 노출되어 시료에 직접 접촉 가능하고, 상기 전자 빔 방출부로부터 방사된 전자 빔을 수용하여 상기 시료를 이온화 시킬 수 있는 기질부; 상기 전자 빔이 통과되고, 상기 시료에서 방출된 이온을 통과시키는 이온 분리부; 및상기 이온 분리부를 통과한 이온을 검출할 수 있는 이온 검출부를 포함하고,상기 이온 검출부 및 전자 빔 방출부는 서로 인접하게 배치되고,상기 전자 빔 방출부는,자외선을 방사하는 자외선 빔 소스; 및자외선을 전자 빔으로 바꾸는 제 1 마이크로채널 플레이트를 포함하고,상기 이온 검출부는,상기 제 1 마이크로 채널 플레이트의 적어도 일부의 둘레를 감싸는 중공을 가진 환형 형상을 갖고,상기 기질부는,상기 시료에 전압을 인가할 수 있는 전도체; 및상기 시료에서 방출되는 이온의 이탈을 방지하기 위해 상기 기질부의 외벽에 형성되는 절연체를 포함하는 소형 비행시간 질량 분석기
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제 10 항에 있어서,상기 전도체는, 상기 시료에 직접 접촉하는 메쉬부를 포함하는 소형 비행시간 질량 분석기
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