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시료 홀더와, 상기 시료 홀더에 각각 연결되고 1자유도 운동을 하는 복수 개의 링크 어셈블리를 포함하는 시료 홀더 스테이지의 스트레스 제거 방법에 있어서,(a) 상기 복수 개의 링크 어셈블리 중 어느 하나의 링크 어셈블리의 기준 위치를 입력 받는 단계;(b) 상기 링크 어셈블리가 상기 기준 위치를 향하여 구동하도록 상기 링크 어셈블리에 연결된 모터에 전류를 인가하는 단계;(c) 상기 인가되는 전류 값을 기초로 상기 링크 어셈블리에 인가되는 부하의 크기 및 방향을 결정하는 단계; 및(d) 상기 부하를 감소시키는 방향으로 상기 기준 위치에 설정 오프셋 값을 합산한 보정 위치를 향하여 상기 링크 어셈블리를 위치를 변경시키는 단계를 포함하는 시료 홀더 스테이지의 스트레스 제거 방법
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제 1 항에 있어서,상기 단계 (b)에서 모터에 인가되는 전류 값이 미리 설정된 한계 값 미만으로 유지되면, 상기 링크 어셈블리가 상기 기준 위치에 도달하여, 상기 모터에 가해지는 부하가 없는 것으로 결정하고, 상기 제거 방법을 종료하는 것을 특징으로 하는 시료 홀더 스테이지의 스트레스 제거 방법
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제 1 항에 있어서,상기 단계 (b)에서, 모터에 인가되는 전류는 설정 진폭을 갖는 정현파인 시료 홀더 스테이지의 스트레스 제거 방법
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제 3 항에 있어서,상기 모터에 인가되는 전류에 의하여 구동되어야 하는 상기 링크 어셈블리의 예상 구동 범위의 최대 값이, 상기 링크 어셈블리의 실제 구동 범위의 최대 값보다 크고, 상기 모터에 인가되는 전류에 의하여 구동되어야 하는 상기 링크 어셈블리의 예상 구동 범위의 최소 값이, 상기 링크 어셈블리의 실제 구동 범위의 최소 값보다 작은 경우,상기 설정 진폭을 점진적으로 감소시키면서 상기 단계 (a) 내지 단계 (d)를 수행하는 것을 특징으로 하는 시료 홀더 스테이지의 스트레스 제거 방법
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제 4 항에 있어서,상기 모터에 인가되는 전류에 의하여 구동되어야 하는 상기 링크 어셈블리의 예상 구동 범위의 최소 값 및 최대 값이, 각각 상기 링크 어셈블리의 실제 구동 범위의 최소 값 및 최소 값을 기준으로 미리 설정된 한계 값 미만이 되면, 해당 상태에서의 상기 링크 어셈블리의 예상 구동 범위를, 스트레스가 없는 범위로 결정하고 이를 사용자에게 출력시키는 것을 특징으로 하는 시료 홀더 스테이지의 스트레스 제거 방법
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제 3 항에 있어서,상기 단계 (c)는, (c-1) 상기 부하가 작용하지 않는 경우를 가정하여, 상기 입력된 정현파에 따라서 구동되는 상기 링크 어셈블리의 예상 구동 범위를 계산하는 단계; (c-2) 상기 입력된 정현파에 따라서 구동되는 상기 링크 어셈블리의 실제 구동 범위를 측정하는 단계; 및(c-3) 상기 예상 구동 범위 및 상기 실제 구동 범위의 차이를 계산하는 단계를 포함하고,상기 차이에 기초하여 상기 부하의 크기 및 방향을 결정하는 것을 특징으로 하는 시료 홀더 스테이지의 스트레스 제거 방법
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제 6 항에 있어서,상기 단계 (c-3)은,상기 예상 구동 범위의 중앙 값 및 상기 실제 구동 범위의 중앙 값의 편차에 기초하여, 상기 부하의 크기를 결정하는 단계를 포함하는 시료 홀더 스테이지의 스트레스 제거 방법
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제 6 항에 있어서,상기 단계 (c-3)은,상기 예상 구동 범위의 중앙 값에 대한 상기 실제 구동 범위의 중앙 값의 상대적인 위치에 기초하여, 상기 부하의 방향을 결정하는 단계를 포함하는 시료 홀더 스테이지의 스트레스 제거 방법
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제 6 항에 있어서,(e) 상기 단계 (d)에서 결정된 보정 위치를 새로운 상기 단계 (a)의 기준 위치로 재설정하고, 상기 단계 (a) 내지 (d)를 반복적으로 수행하는 단계를 더 포함하는 시료 홀더 스테이지의 스트레스 제거 방법
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제 9 항에 있어서,상기 단계 (b)의 설정 진폭은, 상기 단계 (c-1)에서 계산된 예상 구동 범위가 상기 단계 (c-2)에서 측정된 실제 구동 범위에 일치할 때까지 점진적으로 감소하도록 설정되는 시료 홀더 스테이지의 스트레스 제거 방법
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제 6 항에 있어서,상기 설정 오프셋 값은 상기 예상 구동 범위 및 상기 실제 구동 범위의 차이에 비례하는 시료 홀더 스테이지의 스트레스 제거 방법
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제 1 항에 있어서,상기 시료 홀더 스테이지는,상기 시료 홀더에 방사상으로 연결되고 상기 시료 홀더가 3방향의 병진 자유도와, 적어도 2방향의 회전 자유도를 갖게 하는 제 1 구동 모듈, 제 2 구동 모듈 및 제 3 구동 모듈을 포함하고, 상기 제 1 구동 모듈, 제 2 구동 모듈 및 제 3 구동 모듈은 각각,상기 시료 홀더의 서로 다른 3개 부분에 각각 볼 조인트 결합되는 연결 바; 및상기 연결 바의 상측 및 하측에 각각 힌지 결합되고, 상기 연결 바를 상하 방향으로 틸팅시키기 위한 상측 링크 어셈블리 및 하측 링크 어셈블리를 포함하고,상기 단계 (a) 내지 단계 (d)는, 상기 상측 링크 어셈블리 및 하측 링크 어셈블리 중 어느 하나 이상에 대하여 수행되는 시료 홀더 스테이지의 스트레스 제거 방법
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제 12 항에 있어서,상기 상측 링크 어셈블리 및 하측 링크 어셈블리 중 어느 하나의 링크 어셈블리는, 서로 힌지 결합된 2개의 분절 링크로 구성되고, 상기 상측 링크 어셈블리 및 하측 링크 어셈블리 중 다른 하나의 링크 어셈블리는, 서로 힌지 결합된 3개의 분절 링크로 구성되는 시료 홀더 스테이지의 스트레스 제거 방법
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제 1 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 기재된 시료 홀더 스테이지의 스트레스 제거 방법을 실행시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 매체
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