| 1 |
1
시료를 고정 및 지지할 수 있는 시료 스테이지 및 상기 시료 스테이지에 대하여 상대적으로 이동함으로써 상기 시료를 절삭할 수 있는 블레이드 장치를 포함하는 시료 절삭 모듈;상기 시료 절삭 모듈에 대하여 상대적으로 이동 가능하고, 상기 시료 절삭 모듈의 상부에 위치함으로써 상기 시료 절삭 모듈에 수용된 상기 시료를 관찰할 수 있는 광학현미경 장치를 포함하는 광학현미경 모듈; 및상기 시료 절삭 모듈에 대하여 상대적으로 이동 가능하고, 상기 시료 절삭 모듈의 상부에 위치함으로써 상기 시료 절삭 모듈에 수용된 상기 시료를 관찰할 수 있는 관측 컬럼을 포함하는 주사전자현미경 모듈을 포함하는 복합현미경 장치
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서,상기 광학현미경 모듈은, 상기 시료 절삭 모듈의 측 방향으로 인접하게 배치되고,상기 주사전자현미경 모듈은, 상기 시료 절삭 모듈의 상측 방향으로 인접하게 배치되는 복합현미경 장치
|
| 3 |
3
제 2 항에 있어서,상기 주사전자현미경 모듈은,상기 관측 컬럼을 상기 시료 절삭 모듈의 상측에서 수직 방향으로 이동시키는 수직 이동 스테이지; 및 상기 관측 컬럼의 하측에 배치되고 상기 시료 절삭 모듈에 기밀이 유지되도록 결합 가능한 결합부를 더 포함하는 복합현미경 장치
|
| 4 |
4
제 3 항에 있어서,상기 복합현미경은,상기 시료 절삭 모듈의 내부 공간을 진공으로 형성시키기 위한 진공 펌프를 더 포함하고,상기 시료 절삭 모듈은,상방으로 개방되고, 상기 결합부와 연결되어 상기 주사전자현미경 모듈의 내부 공간과 연통될 수 있는 개구부; 및상기 진공 펌프가 연결되는 진공 포트를 더 포함하는 복합현미경 장치
|
| 5 |
5
제 4 항에 있어서,상기 주사전자현미경 모듈은,상기 결합부 내에 설치되고, 상기 개구부를 향한 수직 방향으로 신축 가능한 벨로우즈 튜브를 포함하고,상기 벨로우즈 튜브는,상기 벨로우즈 튜브의 하면 및 상기 개구부의 상면 중 어느 하나 이상의 면에 설치됨으로써, 상기 벨로우즈 튜브가 연장될 때, 상기 벨로우즈 튜브의 내부 공간 및 상기 시료 절삭 모듈의 내부 공간의 기밀을 유지하도록 밀폐시키기 위한 오링을 포함하는 복합현미경 장치
|
| 6 |
6
제 5 항에 있어서,상기 주사전자현미경 모듈은,상기 결합부의 외주면에 형성되는 외부 기어; 상기 수직 이동 스테이지에 의해 상기 결합부와 같이 움직이고, 상기 외부 기어와 맞물려 상기 외부 기어를 회전시키는 동작 기어;상기 결합부의 내주면에 나선형으로 형성되는 가이드 홈; 및상기 벨로우즈 튜브의 하측에 설치되고, 상기 가이드 홈에 삽입되는 가이드 핀을 더 포함하고,상기 동작 기어가 회전하여, 상기 외부 기어가 회전하게 되면, 상기 가이드 홈이 회전함에 따라서, 상기 가이드 홈에 삽입된 상기 가이드 핀이 상하 방향으로 이동하여 상기 벨로우즈 튜브가 상하 방향으로 신축되는 것을 특징으로 하는 복합현미경 장치
|
| 7 |
7
제 3 항에 있어서,상기 광학현미경 모듈은,상기 광학현미경 장치를 상기 시료 절삭 모듈을 향해 수평한 방향으로 이동시키는 수평 이동 스테이지를 더 포함하는 복합현미경 장치
|
| 8 |
8
제 7 항에 있어서,상기 관측 컬럼의 중심의 위치는, 상기 시료 스테이지의 중심의 위치와 수직 방향으로 오버랩 되고,상기 광학현미경 장치가 상기 시료 절삭 모듈을 향해 이동하는 경우, 상기 광학현미경 장치의 대물 렌즈의 위치는 상기 시료 스테이지의 중심의 위치와 수직 방향으로 오버랩 되는 복합현미경 장치
|
| 9 |
9
제 2 항에 있어서,상기 광학현미경 장치는 형광현미경이고,상기 형광현미경을 통해, 상기 블레이드 장치에 의해 절삭된 시료의 형광 물질이 분포된 지점의 위치 정보를 통해, 상기 관측 컬럼의 구동을 연동하는 것을 특징으로 하는 복합현미경 장치
|
| 10 |
10
제 2 항에 있어서,상기 광학현미경 장치는 공초점현미경인 복합현미경 장치
|
