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2n개의 사인 직사각형 코일들이 일렬로 변이 인접되게 배열되어 고리를 형성하는 사인 코일환; 및2n개의 코사인 직사각형 코일들이 일렬로 변이 인접되게 배열되어 고리를 형성하는 코사인 코일환을 포함하고,상기 사인 코일환과 상기 코사인 코일환은 동심을 이루고,상기 사인 직사각형 코일 간의 인접한 축방향 변은 상기 코사인 직사각형 코일의 환 내에 위치하며, 상기 코사인 직사각형 코일 간의 인접한 축방향 변은 상기 사인 직사각형 코일의 환 내에 위치하도록 구성되고,n은 2 이상의 정수인,E×B힘을 이용한 역자기장 플라즈마 발생 RF 안테나
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제1항에 있어서,상기 사인 직사각형 코일에는 사인(sine) 파형의 AC 전류가 인가되고,상기 코사인 직사각형 코일에는 코사인(cosine) 파형의 AC 전류가 인가되는,E×B힘을 이용한 역자기장 플라즈마 발생 RF 안테나
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제2항에 있어서,상기 코사인 및 사인 파형의 AC 전류는 각각 1KHz 내지 300 KHz 주파수를 가짐을 특징으로 하는,E×B힘을 이용한 역자기장 플라즈마 발생 RF 안테나
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제1항에 있어서,상기 사인 직사각형 코일과 상기 코사인 직사각형 코일은 사슬 엮임 되고,상기 사인 코일환과 상기 코사인 코일환은 동일 직경을 가지는, E×B힘을 이용한 역자기장 플라즈마 발생 RF 안테나
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제1항에 있어서,상기 사인 직사각형 코일은 인접하는 사인 직사각형 코일과 서로 다른 방향의 전류가 흐름을 특징으로 하는, E×B힘을 이용한 역자기장 플라즈마 발생 RF 안테나
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제1항에 있어서,상기 코사인 직사각형 코일은 인접하는 사인 직사각형 코일과 서로 다른 방향의 전류가 흐름을 특징으로 하는, E×B힘을 이용한 역자기장 플라즈마 발생 RF 안테나
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제1항에 있어서,상기 직사각형 코사인 코일 및 상기 직사각형 사인 코일은 냉각수가 흐르는 파이프임을 특징으로 하는,E×B힘을 이용한 역자기장 플라즈마 발생 RF 안테나
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제7항에 있어서,상기 파이프는 동파이프임을 특징으로 하는,E×B힘을 이용한 역자기장 플라즈마 발생 RF 안테나
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제1항에 있어서,상기 직사각형 코사인 코일 및 상기 직사각형 사인 코일은 절연막 코팅되어 인접하는 코일간 접촉을 차단하도록 구성되는,E×B힘을 이용한 역자기장 플라즈마 발생 RF 안테나
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제1항에 있어서,상기 사인 직사각형 코일에는 1KHz 내지 300 KHz 주파수의 사인(sine) 파형의 AC 전류가 인가되고,상기 코사인 직사각형 코일에는 1KHz 내지 300 KHz 주파수 코사인(cosine) 파형의 AC 전류가 인가되며,상기 사인 직사각형 코일들은 인접하는 사인 직사각형 코일과 서로 다른 방향의 전류가 흐르고,상기 코사인 직사각형 코일은 인접하는 사인 직사각형 코일과 서로 다른 방향의 전류가 흐르고,상기 직사각형 코사인 코일 및 상기 직사각형 사인 코일은 절연막 코팅되어 인접하는 코일간 접촉을 차단하도록 구성되고,원주방향의 E×B힘을 가짐을 특징으로 하는,E×B힘을 이용한 역자기장 플라즈마 발생 RF 안테나
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축방향 자기장의 원통형 전자석;상기 원통형 전자석 내의 진공용기; 및상기 진공 용기 내의 상기 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항의 E×B힘을 이용한 역자기장 플라즈마 발생 RF 안테나를 포함하는,E×B힘 RF 안테나를 이용한 역자기장 플라즈마 발생 장치
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제11항에 있어서,상기 RF 안테나의 원주 방향(θ) E×B힘에 의해 플라즈마 내의 전자 및 이온은 원주 방향 회전하며, 상기 이온은 이온 사이클로트론 반지름이 커져 상기 진공 용기의 벽에 의해 속도가 소실되어, 원주 방향의 플라즈마 전류(Jθ)를 가짐을 특징으로 하는,E×B힘 RF 안테나를 이용한 역자기장 플라즈마 발생 장치
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제12항에 있어서,상기 플라즈마 전류와 상기 전자석의 자기장(Bz)과 결합된 플라즈마 압력 구배(▽P)가 생기고, 반자성 드리프트(diamagnetic drift) 성분(Bz×▽P)/(neB2z)이 추가로 생성되어 이온 회전 속도를 더욱 억제함을 특징으로 하는,E×B힘 RF 안테나를 이용한 역자기장 플라즈마 발생 장치
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