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입자빔과 광자빔 중 어느 하나의 조사 경로를 개폐하는 가속기용 리니어 구동장치에 있어서,액추에이터와;진공 분위기의 상기 조사 경로를 개방하는 개방위치와 상기 조사 경로를 폐쇄하는 폐쇄위치 사이에서 왕복 이동하는 제 1구동유닛과;일측은 상기 액추에이터에 연결되고 타측은 상기 제 1구동유닛의 일부 영역을 둘러싸는 통 형상으로 마련되어, 상기 액추에이터에 의해 리니어 왕복 운동되는 제 2구동유닛과;상기 제 1구동유닛의 일부 영역과 상기 제 1구동유닛의 일부 영역을 둘러싸는 상기 제 2구동유닛에 일정 간격을 두고 각각 배치되며, 상기 제 2구동유닛의 리니어 왕복 운동에 연동하여 상기 제 1구동유닛이 상기 개방위치와 상기 폐쇄위치 사이에서 왕복 이동 되도록 자기력을 제공하는 자석유닛을 포함하며,상기 제 1구동유닛과 상기 제 2구동유닛은 각각 진공 분위기와 대기 분위기 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 가속기용 리니어 구동장치
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제 1항에 있어서,상기 제 1구동유닛과 상기 제 2구동유닛 사이에 배치되며, 상기 제 1구동유닛이 배치된 진공 분위기와 상기 제 2구동유닛이 배치된 대기 분위기를 상호 구획하여 상기 조사 경로와 상기 제 1구동유닛의 진공 분위기를 유지시키는 진공 차폐유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가속기용 리니어 구동장치
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제 3항에 있어서,상기 자석유닛은,상기 진공 차폐유닛에 수용되는 상기 제 1구동유닛의 일측 영역에 배치되는 제 1자석부 및 상기 진공 차폐유닛을 사이에 두고 상기 제 1자석부에 대향된 상기 제 2구동유닛에 배치되는 제 2자석부를 포함하며,상기 제 1자석부와 상기 제 2자석부 사이에는 인력의 자기력이 발생되는 것을 특징으로 하는 가속기용 리니어 구동장치
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제 4항에 있어서,상기 조사 경로는 입자빔과 양자빔 중 어느 하나가 조사되도록 상기 가속기의 진공 챔버에 형성되며,상기 제 1구동유닛은,진공 분위기의 상기 진공 챔버 내부에 배치되어, 상기 개방위치와 상기 폐쇄위치 사이에서 리니어 왕복 이동되는 개폐부와;상기 진공 차폐유닛 내부에 수용되어, 상기 제 1자석부가 배치되는 자석 배치부와;상기 개폐부와 상기 자석 배치부 사이를 상호 연결하는 막대 형상의 로드부를 포함하는 것을 특징으로 하는 가속기용 리니어 구동장치
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제 5항에 있어서,상기 가속기용 리니어 구동장치는 상기 진공 챔버 내부에 배치되며, 상기 제 2구동유닛의 리니어 왕복 이동에 견인되어 리니어 왕복 이동되는 상기 제 1구동유닛의 상기 개폐부에 접촉 되어 상기 개폐부의 편심 이동을 저지하는 가이드유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가속기용 리니어 구동장치
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입자빔과 양자빔 중 어느 하나의 조사 경로를 개폐하는 가속기용 리니어 구동장치에 있어서,액추에이터와;일측에 배치되는 개폐부 및 타측에 배치되는 제 1자석부를 가지며, 상기 액추에이터로부터 제공된 구동력에 의해 상기 조사 경로를 선택적으로 개폐하는 제 1구동유닛과;상기 액추에이터에 연결되고 상기 제 1자석부에 대향된 제 2자석부를 가지며, 상기 제 1자석부와 상기 제 2자석부의 자기력에 의해 상기 제 1구동유닛을 견인하여 상기 제 1구동유닛을 왕복 이동시키는 제 2구동유닛을 포함하며,상기 제 1구동유닛과 상기 제 2구동유닛은 각각 진공 분위기와 대기 분위기 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 가속기용 리니어 구동장치
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제 7항에 있어서,상기 제 1구동유닛과 상기 제 2구동유닛 사이에 배치되며, 상기 제 1구동유닛이 배치된 진공 분위기와 상기 제 2구동유닛이 배치된 대기 분위기를 상호 구획하여 상기 조사 경로와 상기 제 1구동유닛의 진공 분위기를 유지시키는 진공 차폐유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가속기용 리니어 구동장치
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제 9항에 있어서,상기 조사 경로는 입자빔과 광자빔 중 어느 하나가 조사되도록 상기 가속기의 진공 챔버에 형성되며,상기 제 1구동유닛은 상기 진공 챔버 내부에 수용되는 상기 개폐부로부터 상기 진공 차폐유닛 내부로 연장되며, 상기 제 1자석부가 배치되는 로드부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가속기용 리니어 구동장치
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제 10항에 있어서,상기 가속기용 리니어 구동장치는 상기 진공 챔버 내부에 배치되며, 상기 제 2구동유닛의 리니어 왕복 이동에 견인되는 상기 제 1구동유닛의 상기 개폐부에 접촉 되어 상기 개폐부의 편심 이동을 저지하는 가이드유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가속기용 리니어 구동장치
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제 9항에 있어서,상기 제 1자석부와 상기 제 2자석부는 상기 진공 차폐유닛을 사이에 두고 상호 대향 배치되어, 인력의 자기력을 발생하는 것을 특징으로 하는 가속기용 리니어 구동장치
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입자빔과 광자빔 중 어느 하나의 조사 경로를 개폐하는 가속기용 리니어 구동장치의 구동 방법에 있어서,상기 가속기용 리니어 구동장치는 액추에이터와, 상기 조사 경로를 선택적으로 개폐하는 제 1구동유닛과, 상기 액추에이터에 연결된 제 2구동유닛과, 자석유닛을 포함하고,(a) 상기 액추에이터에 유압과 공압 중 어느 하나를 제공하여, 상기 제 2구동유닛에 구동력을 제공하는 단계와;(b) 상기 제 2구동유닛의 리니어 이동에 따라 상기 제 1구동유닛과 상기 제 2구동유닛에 각각 배치된 상기 자석유닛의 자기력에 의해 상기 제 1구동유닛이 리니어 이동하는 단계와;(c) 상기 제 1구동유닛이 리니어 이동하여, 상기 조사 경로를 개방 또는 폐쇄하는 단계를 포함하며,상기 제 1구동유닛과 상기 제 2구동유닛은 각각 진공 분위기와 대기 분위기 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 가속기용 리니어 구동장치의 구동 방법
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제 13항에 있어서,상기 가속기용 리니어 구동장치는,상기 제 1구동유닛과 상기 제 2구동유닛 사이에 배치되며, 상기 제 1구동유닛이 배치된 진공 분위기와 상기 제 2구동유닛이 배치된 대기 분위기를 상호 구획하여 상기 조사 경로와 상기 제 1구동유닛의 진공 분위기를 유지시키는 진공 차폐유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가속기용 리니어 구동장치의 구동 방법
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제 15항에 있어서,상기 (b) 단계는 상기 조사 경로에 대해 상기 제 1구동유닛이 개방위치와 폐쇄위치 사이에서 리니어 왕복 이동할 때, 상기 진공 차폐유닛에 의해 상기 조사 경로의 진공 분위기와 상기 제 1구동유닛의 진공 분위기가 유지되는 것을 특징으로 하는 가속기용 리니어 구동장치의 구동 방법
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