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다중 나노패턴의 형성방법 및 그를 이용한 유기태양전지의 제조방법

  • 기술번호 : KST2019034585
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 (a) 기판 상에 블록공중합체층을 형성하는 단계; (b)블록공중합체층을 자기조립시켜 복수의 패턴을 포함하는 상분리된 블록공중합체층을 제조하는 단계; (c) 나노 크기의 패턴이 형성된 나노 임프린팅 스탬프를 이용하여 상분리된 블록공중합체층 상에 스탬핑하는 단계; (d) 복수의 패턴 중에서 적어도 어느 하나를 제거하여 다중 나노패턴이 형성된 블록공중합체층을 제조하는 단계; (e) 다중 나노패턴이 형성된 블록공중합체층을 마스크로 이용하여 에칭을 수행함으로써 다중 나노패턴이 형성된 기판을 제조하는 단계; (f) 다중 나노패턴이 형성된 기판을 표면 처리하는 단계; 및 (g) 다중 나노패턴이 형성된 기판 상에 액상의 중합체를 코팅한 후 열처리하여 다중 나노패턴이 형성된 스탬프를 제조하는 단계;를 포함하는 다중 나노패턴의 형성방법에 관한 것이다.
Int. CL H01L 51/42 (2006.01.01) G03F 7/00 (2006.01.01)
CPC H01L 51/42(2013.01) H01L 51/42(2013.01) H01L 51/42(2013.01)
출원번호/일자 1020160119387 (2016.09.19)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1794191-0000 (2017.10.31)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20171106) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.09.19)
심사청구항수 17

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오준학 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 이윤호 대한민국 경기도 안산시 상록구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이수열 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로**길 **(서초동) *층(국제특허다호)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 경상북도 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.09.19 수리 (Accepted) 1-1-2016-0903716-18
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.02.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.04.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0053568-46
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.04.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0257047-21
5 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2017.06.09 수리 (Accepted) 1-1-2017-0549661-14
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.06.09 수리 (Accepted) 1-1-2017-0550220-28
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.06.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0550230-85
8 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2017.06.15 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2017-0573173-53
9 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document		 2017.06.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0082399-74
10 [반려요청]서류반려요청(반환신청)서
[Request for Return] Request for Return of Document		 2017.06.20 수리 (Accepted) 1-1-2017-0589148-30
11 서류반려통지서
Notice for Return of Document		 2017.06.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0084383-91
12 등록결정서
Decision to grant		 2017.10.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0692521-09
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 기판 상에 블록공중합체층을 형성하는 단계; (b) 상기 블록공중합체층을 자기조립시켜 복수의 패턴을 포함하는 상분리된 블록공중합체층을 제조하는 단계; (c) 나노 크기의 패턴이 형성된 나노 임프린팅 스탬프를 이용하여 상기 상분리된 블록공중합체층 상에 스탬핑하는 단계;(d) 상기 복수의 패턴 중에서 적어도 어느 하나를 제거하여 다중 나노패턴이 형성된 블록공중합체층을 제조하는 단계;(e) 상기 다중 나노패턴이 형성된 블록공중합체층을 마스크로 이용하여 에칭을 수행함으로써 다중 나노패턴이 형성된 기판을 제조하는 단계;(f) 상기 다중 나노패턴이 형성된 기판을 표면 처리하는 단계; 및 (g) 상기 다중 나노패턴이 형성된 기판 상에 액상의 중합체를 코팅한 후 열처리하여 다중 나노패턴이 형성된 스탬프를 제조하는 단계;를포함하는 다중 나노패턴의 형성방법
2 2
제1항에 있어서,상기 복수의 패턴이 제1 패턴 및 제2 패턴으로 구성되는 것을 특징으로 하는 다중 나노패턴의 형성방법
3 3
제2항에 있어서,상기 블록공중합체층이 폴리스티렌-블록-폴리메틸메타크릴레이트(polystyrene-b-polymethylmethacrylate), 폴리스티렌-블록-폴리비닐피리딘(polystyrene-b-poly-4-vinylpyridine, polystyrene-b-poly-2-vinylpyridine), 폴리스티렌-블록-폴리디메틸실록산(polystyrene-b-polydimethylsiloxane), 4-(터트-부틸디메틸실릴)옥시스티렌(4-(tert-butyldimethylsilyl)oxystyrene), 폴리스티렌-블록-폴리부타디엔(polystyrene-b-poly(butadiene), 폴리스티렌-블록-폴리이미드(polystyrene-b-polyimide), 폴리스티렌-블록-폴리에틸렌옥사이드(polystyrene-b-poly(ethylene oxide)), 폴리스티렌-블록-폴리페로세닐실란(polystyrene-block-polyferrocenylsilane) 및 폴리스티렌-블록-폴리페로세닐실란-블록-폴리-2-비닐피리딘(polystyrene-block-polyferrocenylsilane-block-poly-2-vinylpyridine) 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 나노패턴의 형성방법
4 4
제1항에 있어서,상기 나노 임프린팅 스탬프가 폴리디메틸실록산(polydimethylsiloxane; PDMS), 과불소화 폴리에테르(perfluorinated polyethers; PFPE), 폴리우레탄 아크릴레이트(polyurethane acrylate; PUA), 폴리메틸메타크릴레이트(polymethylmethacrylate; PMMA), 폴리비닐알콜(polyvinylalcohol; PVA), 폴리비닐클로라이드(polyvinyl chloride; PVC), 폴리카보네이트(polycarbonate; PC), 폴리테트라플루오로에틸렌(polytetrafluoroethylene; PTFE) 및 벤질메타-아크릴레이트(benzylmetha-acrylate) 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 나노패턴의 형성방법
5 5
제1항에 있어서, 단계 (a)가, (a') 상기 기판 상에 블록공중합체 용액을 코팅하여 블록공중합체층을 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 다중 나노패턴의 형성방법
6 6
제5항에 있어서,상기 블록공중합체 용액의 용매가 톨루엔, 다이클로로에틸렌, 트라이클로로에틸렌, 클로로포름, 클로로벤젠, 다이클로로벤젠, 스타이렌, 다이메틸포름아마이드, 다이메틸설폭사이드, 자일렌, 사이클로헥센, 이소프로필알콜, 에탄올, 메탄올, 테트라하이드로퓨란, 이소프로필알코올, 테르피네올, 에틸렌글리콜, 다이에틸렌글리콜, 폴리에틸렌글리콜, 아세토나이트릴 및 아세톤 중에서 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 나노패턴의 형성방법
7 7
제1항에 있어서, 단계 (d)가, (d') 습식 에칭(wet etching)과 UV 조사(UV radiation)를 함께 수행하여, 상기 복수의 패턴 중에서 적어도 어느 하나를 제거하는 단계인 것을 특징으로 하는 다중 나노패턴의 형성방법
8 8
제1항에 있어서, 단계 (e)의 에칭이 유도결합플라즈마(ICP) 에칭 또는 반응성 이온 식각(RIE)으로 수행되는 것을 특징으로 하는 다중 나노패턴의 형성방법
9 9
제8항에 있어서,상기 유도결합플라즈마(ICP) 에칭 또는 반응성 이온 식각(RIE)이 각각 독립적으로 CF4/CHF3/O2/Ar 기체를 0
10 10
제1항에 있어서, 단계 (f)의 표면 처리가 상기 다중 나노패턴이 형성된 기판의 표면을 불소로 처리하여 수행되는 것을 특징으로 하는 다중 나노패턴의 형성방법
11 11
제1항에 있어서,단계 (g)의 중합체가 폴리디메틸실록산(polydimethylsiloxane; PDMS), 과불소화 폴리에테르(perfluorinated polyethers; PFPE), 폴리우레탄 아크릴레이트(polyurethane acrylate; PUA), 폴리메틸메타크릴레이트(polymethylmethacrylate; PMMA), 폴리비닐알콜(polyvinylalcohol; PVA), 폴리비닐클로라이드(polyvinyl chloride; PVC), 폴리카보네이트(polycarbonate; PC), 폴리테트라플루오로에틸렌(polytetrafluoroethylene; PTFE) 및 벤질메타-아크릴레이트(benzylmetha-acrylate) 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 나노패턴의 형성방법
12 12
(a-1) 제1 전극을 형성하는 단계; (b-1) 상기 제1 전극 상에 전자수송층을 형성하는 단계; (c-1) 상기 전자수송층 상에 광활성층을 형성하고, 제1항에 따라 제조된 다중 나노패턴이 형성된 스탬프를 이용하여 다중 나노패턴을 전사하는 단계;(d-1) 상기 광활성층 상에 정공수송층을 형성하는 단계; 및(e-1) 상기 정공수송층 상에 제2 전극을 형성하는 단계;를 포함하는 유기태양전지의 제조방법
13 13
제12항에 있어서, 상기 전자수송층이 ZnO, LiF, TiOx, TiO2, CsCO3, 및 Ca 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기태양전지의 제조방법
14 14
제12항에 있어서, 상기 광활성층이 PBDTTT-C-T, PBDTTT-CF, P3HT, PCDTBT, PCTDTBT, MEH-PPV, PTB7, PTB7-Th, PT8 및 PFN으로 이루어진 군에서 선택된 1종과 PCBM 및 ICBA로 이루어진 군에서 선택된 1종을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기태양전지의 제조방법
15 15
제12항에 있어서, 상기 정공수송층이 몰리브데늄옥사이드(Molybdenum oxide, MoO2,　MoO3), 피닷피에스에스(PEDOT:PSS, poly(3,4-ethylenedioxythiophene) polystyrene sulfonate), 텅스텐옥사이드(WO3), 니켈옥사이드(Nickel oxide) 및 세륨 도핑된 텅스텐옥사이드(CeWO3) 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기태양전지의 제조방법
16 16
제12항에 있어서, 상기 제1 전극이 인듐 틴 옥사이드(ITO), 플루오린 틴 옥사이드(FTO), 은 나노와이어(Ag nanowires) 및 은 나노메쉬(nanomesh) 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기태양전지의 제조방법
17 17
제12항에 있어서, 상기 제2 전극이 Au, Fe, Ag, Cu, Cr, W, Al, Mo, Zn, Ni, Pt, Pd, Co, In, Mn, Si, Ta, Ti, Sn, Pb, V, Ru, Ir, Zr, Rh, 및 Mg 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기태양전지의 제조방법
18 18
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1 미래창조과학부 포항공과대학교 글로벌프론티어사업 분자기반 소프트 기능성 나노소자 기술 개발
2 미래창조과학부 포항공과대학교 중견연구자지원 유연/신축성 유기 반도체 나노소재 제조 및 고성능 스마트 멀티센서 응용