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일면에 복수의 돌기부를 포함하는 고분자층; 및상기 고분자층의 일면 상에 형성된 전도층;을포함하는 적층체이고,상기 돌기부의 표면이 미세요철 형태이고,상기 전도층이 상기 돌기부의 표면에 위치하고,상기 돌기부의 표면에 위치하는 전도층이 상기 돌기부의 미세요철 형태와 상응하는 동일한 미세요철 형태를 갖고,압력 센서에 사용하기 위한 것인, 적층체
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제1항에 있어서,상기 미세요철 형태가 계층적(hierarchical) 미세요철 형태인 것을 특징으로 하는 적층체
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제1항에 있어서,상기 돌기부의 직경이 10 내지 100 ㎛인 것을 특징으로 하는 적층체
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제1항에 있어서,상기 고분자층의 일면에 대한 수직절단면이 골과 마루를 포함하는 물결 또는 톱니 모양의 미세요철 형태를 포함하는 것을 특징으로 하는 적층체
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제5항에 있어서,상기 수직절단면의 골과 골 사이의 거리는 0
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제1항에 있어서,상기 전도층이 그래핀, 탄소 나노튜브, 금속 나노와이어 및 금속 나노입자 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 적층체
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제7항에 있어서,상기 전도층이 단층의 그래핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 적층체
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제1항에 있어서,상기 고분자층이 PDMS(polydimethylsiloxane), PB(polybutadiene), PU(polyurethane), PUA(polyurethane acrylate), SBR(styrene-butadiene rubber), PVDF(polyvinylidene fluoride) 및 PVDF-TrFE(poly(vinylidenefluoride-co-trifluoroethylene)) 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 적층체
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제9항에 있어서,상기 고분자층의 탄성 계수(elastic modulus)가 1 내지 2,000 MPa인 것을 특징으로 하는 적층체
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제1항에 있어서,상기 돌기부 사이의 간격이 0
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제1항에 있어서,상기 고분자층이 타면상에 유연 기판을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 적층체
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제12항에 있어서,상기 유연 기판이 PET(polyethylene terephthalate), PE(polyethylene), PP(polypropylene), PDMS(polydimethylsiloxane), PVDF(polyvinylidene fluoride), PES(polyethersulfone), PS(polystyrene), PC(polycarbonate), PI(polyimide), PEN(polyethylene naphthalate) 및 PAR(polyarylate) 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 적층체
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일면에 복수의 돌기부를 포함하는 고분자층과, 상기 고분자층의 일면상에 형성된 제1 전도층을 포함하는 적층체를 포함하는 상층부; 및유연 기재와, 상기 유연 기재상에 제2 전도층을 포함하는 하층부;를 포함하는 압력 센서이고, 상기 돌기부의 표면이 미세요철 형태이고,상기 제1 전도층이 상기 돌기부의 표면에 위치하고, 상기 상층부에 포함된 제1 전도층의 일부와 상기 하층부에 포함된 제2 전도층의 일부가 접촉하는 압력 센서
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제14항에 있어서,상기 유연 기재가 PE(polyethylene), PP(polypropylene), PET(polyethylene terephthalate), PDMS(polydimethylsiloxane), PVDF(polyvinylidene fluoride), PES(polyethersulfone), PS(polystyrene), PC(polycarbonate), PI(polyimide), PEN(polyethylene naphthalate) 및 PAR(polyarylate) 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 센서
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(a) 금속 기판의 일면을 패터닝하여 패터닝된 금속 기판을 제조하는 단계;(b) 상기 패터닝된 금속 기판을 산화시켜 산화된 금속 기판을 제조하는 단계;(c) 상기 산화된 금속 기판의 일면상에 전도층을 형성하여 전도층이 형성된 금속 기판을 제조하는 단계;(d) 상기 전도층이 형성된 금속 기판의 일면상에 고분자를 몰딩하여 고분자가 몰딩된 금속 기판을 제조하는 단계; 및(e) 상기 고분자가 몰딩된 금속 기판에서 금속 기판을 제거하여 일면에 복수의 돌기부를 포함하는 고분자층과, 상기 고분자층의 일면상에 형성된 전도층을 포함하는 적층체를 제조하는 단계;를 포함하는 적층체의 제조방법
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제16항에 있어서,상기 패터닝된 금속 기판이 반구 형태의 패턴을 포함하는 것을 특징으로 하는 적층체의 제조방법
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제17항에 있어서,상기 금속 기판이 구리, 니켈 및 이들의 합금 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 적층체의 제조방법
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제16항에 있어서,단계 (b)의 산화에 의해 상기 산화된 금속 기판의 표면에 나노구조가 형성되는 것을 특징으로 하는 적층체의 제조방법
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제19항에 있어서,상기 나노구조가 미세요철 형태이고, 상기 전도층이 상기 미세요철과 동일한 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 적층체의 제조방법
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