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가변형 메타물질 기반 흡광장치 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2019034665
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 가변형 메타물질 기반 흡광장치에 있어서, 기판; 상기 기판의 상부에 형성되는 전극; 상기 전극의 상부에 형성되는 절연층; 상기 절연층의 상부에 형성되는 기능층; 및 상기 기판 및 상기 기능층에 연결되고, 가변 전압을 제공하는 전압 장치를 포함하고, 상기 기능층은 나노 크기로 형성되는 복수의 양각 구조체를 포함하고, 상기 복수의 양각 구조체는 한 방향으로 전압 장치와 연결되는 가변형 메타물질 기반 흡광장치를 제공한다.
Int. CL H01Q 17/00 (2018.01.01)
CPC H01Q 17/007(2013.01)
출원번호/일자 1020170068030 (2017.05.31)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1877368-0000 (2018.07.05)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20180711) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.05.31)
심사청구항수 15

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤관호 대한민국 경북 포항시 남구
2 소순애 대한민국 인천광역시 부평구
3 김민경 대한민국 부산광역시 동래구
4 노준석 대한민국 경북 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인한성 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 **, ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 경상북도 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.05.31 수리 (Accepted) 1-1-2017-0522707-50
2 보정요구서
Request for Amendment
2017.06.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0080103-31
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2017.08.01 수리 (Accepted) 1-1-2017-0740977-17
4 직권정정안내서
Notification of Ex officio Correction
2017.08.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0106965-69
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.01.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.03.12 수리 (Accepted) 9-1-2018-0010933-30
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.03.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0184795-09
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.05.16 수리 (Accepted) 1-1-2018-0483710-73
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.05.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0483692-38
10 등록결정서
Decision to grant
2018.06.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0431563-41
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
가변형 메타물질 기반 흡광장치에 있어서,기판;상기 기판의 상부에 형성되는 전극;상기 전극의 상부에 형성되는 절연층;상기 절연층의 상부에 형성되는 기능층; 및상기 기판 및 상기 기능층에 연결되고, 가변 전압을 제공하는 전압 장치를 포함하고,상기 기능층은 나노 크기로 형성되는 복수의 양각 구조체를 포함하고,상기 복수의 양각 구조체는 한 방향으로 전압 장치와 연결되며,상기 복수의 양각 구조체는 한 변이 70nm인 정사각형이고 서로 인접한 상기 복수의 양각 구조체 사이의 간격이 240nm이거나, 한 변이 90nm인 정사각형이고 서로 인접한 상기 복수의 양각 구조체 사이의 간격이 255nm이거나, 한 변이 105nm인 정사각형이고 서로 인접한 상기 복수의 양각 구조체 사이의 간격이 295nm이거나, 한 변이 125nm인 정사각형이고 서로 인접한 상기 복수의 양각 구조체 사이의 간격이 300nm인가변형 메타물질 기반 흡광장치
2 2
삭제
3 3
제1 항에 있어서, 상기 복수의 양각 구조체는 복수의 열 또는 행으로 제공되고, 상기 전압 장치는 동일한 열 또는 행의 상기 복수의 양각 구조체끼리 연결하는 가변형 메타물질 기반 흡광장치
4 4
제3 항에 있어서,상기 전압 장치는 각각의 열 또는 행에 다른 크기의 전압을 공급하는 가변형 메타물질 기반 흡광장치
5 5
삭제
6 6
삭제
7 7
제1 항에 있어서,상기 기판은 금속으로 제공되고, 상기 기능층은 상기 기판과 동일한 금속소재의 메타 표면으로 제공되는 가변형 메타물질 기반 흡광장치
8 8
제1 항에 있어서,상기 전극과 상기 절연층 및 상기 기능층은 동일한 두께로 제공되는 가변형 메타물질 기반 흡광장치
9 9
제8 항에 있어서,상기 전극과 상기 절연층 및 상기 기능층은 10nm 내지 20nm의 두께를 갖는 가변형 메타물질 기반 흡광장치
10 10
제1 항에 있어서,상기 기판은 30nm 내지 50nm의 두께를 갖는 가변형 메타물질 기반 흡광장치
11 11
기판을 형성하는 단계;상기 기판의 상부에 전극을 형성하는 단계;상기 전극의 상부에 절연층을 형성하는 단계;상기 절연층의 상부에 기능층을 형성하는 단계;상기 기능층에 나노 크기로 형성되는 복수의 양각 구조체를 형성하는 단계; 및상기 기판 및 상기 기능층에 연결되고, 가변 전압을 제공하는 전압 장치를 형성하는 단계를 포함하고,상기 복수의 양각 구조체는 한 방향으로 상기 전압 장치와 연결되며, 상기 복수의 양각 구조체는 한 변이 70nm인 정사각형이고 서로 인접한 상기 복수의 양각 구조체 사이의 간격이 240nm이거나, 한 변이 90nm인 정사각형이고 서로 인접한 상기 복수의 양각 구조체 사이의 간격이 255nm이거나, 한 변이 105nm인 정사각형이고 서로 인접한 상기 복수의 양각 구조체 사이의 간격이 295nm이거나, 한 변이 125nm인 정사각형이고 서로 인접한 상기 복수의 양각 구조체 사이의 간격이 300nm인가변형 메타물질 기반 흡광장치 제조방법
12 12
삭제
13 13
제11 항에 있어서, 상기 복수의 양각 구조체는 복수의 열 또는 행으로 제공되고,상기 전압 장치는 동일한 열 또는 행의 상기 복수의 양각 구조체끼리 연결하는 가변형 메타물질 기반 흡광장치 제조방법
14 14
제13 항에 있어서, 상기 전압 장치는 각각의 열 또는 행에 다른 크기의 전압을 공급하는 가변형 메타물질 기반 흡광장치 제조방법
15 15
삭제
16 16
삭제
17 17
제11 항에 있어서, 상기 기판은 금속으로 제공되고, 상기 기능층은 상기 기판과 동일한 금속소재의 메타 표면으로 제공되는 가변형 메타물질 기반 흡광장치 제조방법
18 18
제11 항에 있어서, 상기 전극과 상기 절연층 및 상기 기능층은 동일한 두께로 제공되는 가변형 메타물질 기반 흡광장치 제조방법
19 19
제18 항에 있어서, 상기 전극과 상기 절연층 및 상기 기능층은 10nm 내지 20nm의 두께를 갖는 가변형 메타물질 기반 흡광장치 제조방법
20 20
제11항에 있어서, 상기 기판은 30nm 내지 50nm의 두께를 갖는 가변형 메타물질 기반 흡광장치 제조방법
21 21
가변형 메타물질 기반 흡광장치에 있어서,기판;상기 기판의 상부에 형성되는 전극;상기 전극의 상부에 형성되는 절연층;상기 절연층의 상부에 형성되는 기능층; 및상기 기판 및 상기 기능층에 연결되고, 가변 전압을 제공하는 전압 장치를 포함하고,상기 기능층은 나노 크기로 형성되는 패치 구조를 가지며, 상기 전압 장치는 상기 패치 구조를 한 방향으로 연결하고,상기 전압 장치의 인가 전압의 변화에 따라, 상기 가변형 메타물질 기반 흡광장치의 흡수 파장 영역이 변경되며,상기 패치 구조는 한 변이 70nm인 정사각형이고 서로 인접한 상기 패치 구조 사이의 간격이 240nm이거나, 한 변이 90nm인 정사각형이고 서로 인접한 상기 패치 구조 사이의 간격이 255nm이거나, 한 변이 105nm인 정사각형이고 서로 인접한 상기 패치 구조 사이의 간격이 295nm이거나, 한 변이 125nm인 정사각형이고 서로 인접한 상기 패치 구조 사이의 간격이 300nm인가변형 메타물질 기반 흡광장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 포항공과대학교 산학협력단 신진연구자지원사업 초정밀 3차원 전자빔 리소그래피 기반 3차원 메타물질 제작 및 광학특성과 역학특성 연구