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점착 기능을 구비한 유연 전자소자 및 그의 제조방법

  • 기술번호 : KST2019034667
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유연 필름, 및 상기 유연 필름의 일측면 상에 형성된 점착층을 포함하는 점착테이프; 및 상기 점착테이프의 상기 일측면의 반대측 타측면 상에 형성된 전자소자;를 포함하는 점착 기능을 구비한 유연 전자소자에 관한 것이다. 이에 의하여 본 발명의 유연 전자소자는 다양한 플렉서블 소재나 굴곡면이 있는 소재의 표면으로 전사되어 자유롭게 점착이 가능하고, 기판의 변형이나 반복적인 밴딩(bending)에 의해서도 전자소자의 손상을 최소화하고 성능을 오랫동안 유지할 수 있는 효과가 있다.
Int. CL H01L 51/00 (2006.01.01) H01L 21/67 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020170065981 (2017.05.29)
출원인 재단법인 나노기반소프트일렉트로닉스연구단, 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0061125 (2017.06.02) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2015-0102689 (2015.07.20)
관련 출원번호 1020150102689
심사청구여부/일자 Y (2019.12.13)
심사청구항수 15

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 나노기반소프트일렉트로닉스연구단 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조길원 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 정윤영 대한민국 서울특별시 강남구
3 김현호 대한민국 서울특별시 은평구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이수열 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로**길 **(서초동) *층(국제특허다호)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2017.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2017-0509241-25
2 공지예외적용주장 증명서류 제출기한 안내문
 2017.05.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0073055-73
3 [공지예외적용대상(신규성, 출원시의 특례)증명서류]서류제출서
[Document Verifying Exclusion from Being Publically Known (Novelty, Special Provisions for Application)] Submission of Document		 2017.05.30 수리 (Accepted) 1-1-2017-0517512-36
4 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status		 2018.08.08 수리 (Accepted) 1-1-2018-0782473-26
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
8 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2019.12.13 수리 (Accepted) 1-1-2019-1291538-81
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2020.02.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0134803-29
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.05.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0540059-87
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2020.05.28 수리 (Accepted) 1-1-2020-0540053-14
12 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2020.09.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0652696-35
13 [법정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
 2020.10.15 수리 (Accepted) 1-1-2020-1091481-55
14 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2020.10.21 수리 (Accepted) 1-1-2020-1113042-31
15 법정기간연장승인서
 2020.10.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2020-0159905-54
16 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2020.11.20 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2020-1251381-07
17 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2020.11.20 수리 (Accepted) 1-1-2020-1251345-63
18 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2020.12.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0849152-85
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
유연 필름, 및 상기 유연 필름의 일측면 상에 형성된 점착층을 포함하는 점착테이프; 및상기 점착테이프의 상기 일측면의 반대측 타측면 상에 형성된 전자소자;를 포함하고,상기 점착테이프는 상기 타측면 상에 상기 타측면의 표면을 평탄화하는 표면개질층을 포함하고,상기 점착테이프의 영탄성률(Young's modulus)이 상기 표면 개질층의 영탄성률(Young's modulus) 보다 작은 것인 점착 기능을 구비한 유연 전자소자
2 2
제1항에 있어서,상기 전자소자가 상기 유연 필름을 기판으로 포함하는 것을 특징으로 하는 점착 기능을 구비한 유연 전자소자
3 3
제1항에 있어서,상기 유연 전자소자가 전계효과 트랜지스터, 태양전지, 유기발광다이오드, 촉각센서, 전파 식별 태그, 전자종이, 및 바이오 센서 중에서 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 점착 기능을 구비한 유연 전자소자
4 4
제3항에 있어서,상기 점착 기능을 구비한 유연 전자소자가 전계효과 트랜지스터이고,상기 전계효과 트랜지스터가유연 필름, 및 상기 유연 필름의 일측면 상에 형성된 점착층을 포함하는 점착테이프;상기 점착테이프의 상기 일측면의 반대측 타측면 상에 위치하는 게이트 전극;상기 게이트 전극 상에 위치하는 게이트 절연층;상기 게이트 절연층 상에 위치하고, 서로 이격되어 배치되는 소스 전극 및 드레인 전극; 및 상기 게이트 절연층 상에 위치하고 상기 소스전극 및 드레인 전극을 전기적으로 연결하는 활성층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 점착 기능을 구비한 유연 전자소자
5 5
제1항에 있어서,상기 표면개질층이 폴리이미드(polyimide), 폴리아크릴레이트, 폴리우레탄, 폴리에틸렌, 폴리비닐페놀, 및 폴리비닐알콜 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 점착 기능을 구비한 유연 전자소자
6 6
제1항에 있어서,상기 표면 개질층은 제곱평균제곱근 거칠기(Root-mean-square roughness)가 0
7 7
제4항에 있어서,상기 게이트 절연층은 두께가 1 내지 10 nm인 것을 특징으로 하는 점착 기능을 구비한 유연 전자소자
8 8
제4항에 있어서,상기 활성층이 그래핀, PQT-12(poly(3,3'''-didodecyl quarterthiophene)), P3HT(poly(3-hexyl thiophene)), P3BT(poly(3-butyl thiophene)), P3OT(poly(3-octyl thiophene)), PPy(polypyrrole), PANI(polyaniline), PDPP(polydiketopyrrolopyrrole), PIID(polyisoindigo), PPDI(poly(perylene diimide)), PNDI(poly(naphthalene diimide)), PEO(poly(ethylene oxide)), PCL(poly(-caprolactone)), PMMA(poly(methyl methacrylate)), PS(polystyrene), PVP (poly(vinyl pyrrolidone)), 펜타센, 루브린, 구리 프탈로시아닌 및 풀러렌 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 점착 기능을 구비한 유연 전자소자
9 9
제1항의 유연 전자소자의 제조방법이고,(a) 유연 필름, 및 상기 유연 필름의 일측면 상에 형성된 점착층을 포함하는 점착테이프를 준비하는 단계; 및(b) 상기 점착테이프의 상기 일측면의 반대측 타측면 상에 전자소자를 형성하는 단계;를 포함하는 유연 전자소자의 제조방법이고, 상기 유연 전자소자의 제조방법이 단계 (a) 후에 상기 점착테이프의 상기 일측면의 반대측 타측면 상에 표면개질층을 코팅하는 단계를 포함하는 것인 점착 기능을 구비한 유연 전자소자의 제조방법
10 10
제9항에 있어서,단계 (b)의 전자소자가 전계효과 트랜지스터, 태양전지, 유기발광다이오드, 촉각센서, 전파 식별 태그, 전자종이, 및 바이오 센서 중에서 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 점착 기능을 구비한 유연 전자소자의 제조방법
11 11
제10항에 있어서,단계 (b)의 전자소자가 전계효과 트랜지스터이고,단계 (b)가,(b-1) 상기 점착테이프의 상기 일측면의 반대측 타측면 상에 게이트 전극을 형성하는 단계;(b-2) 상기 게이트 전극상에 게이트 절연층을 형성하는 단계; (b-3) 상기 게이트 절연층 상에 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 단계; 및 (b-4) 상기 게이트 절연층 상에, 상기 소스 전극 및 드레인 전극을 전기적으로 연결하는 활성층을 형성하는 단계;를포함하는 점착 기능을 구비한 유연 전자소자의 제조방법
12 12
제11항에 있어서,단계 (b-2)가 UV 오존처리, 산소 분위기 열처리, 및 산소 플라즈마 처리 중에서 선택된 어느 하나의 방법으로 수행되는 것을 특징으로 하는 점착 기능을 구비한 유연 전자소자의 제조방법
13 13
제12항에 있어서,단계 (b-2)가 산소 플라즈마 처리에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 점착 기능을 구비한 유연 전자소자의 제조방법
14 14
제13항에 있어서,상기 산소 플라즈마 처리가 10 내지 300W의 RF 전력 조건에서 수행되는 것을 특징으로 하는 점착 기능을 구비한 유연 전자소자의 제조방법
15 15
제13항에 있어서,상기 산소 플라즈마 처리가 1 내지 1000 mTorr의 압력 조건에서 수행되는 것을 특징으로 하는 점착 기능을 구비한 유연 전자소자의 제조방법
16 16
제11항에 있어서,상기 활성층이 그래핀층이고,상기 그래핀층이 물리적 또는 화학적 박리에 의해 제조된 그래핀, SiC에서 성장시켜 제조된 그래핀, 및 화학기상 증착법에 의해 제조된 그래핀 중에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 점착 기능을 구비한 유연 전자소자의 제조방법
17 17
제11항에 있어서,단계 (b-4)가 건식 전사법에 따라 수행되는 것을 특징으로 하는 점착 기능을 구비한 유연 전자소자의 제조방법
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1 미래창조과학부 재단법인나노기반소프트일렉트로닉스연구단 글로벌프론티어사업 소프트 일렉트로닉스 집중형 실험실 구성 및 융합기술