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소스 전극과 드레인 전극을 포함하는 다수의 유기박막 트랜지스터; 및상기 다수의 유기박막 트랜지스터의 게이트 전극, 소스 전극 및 드레인 전극을 서로 전기적으로 연결하는 연결도선;을 포함하는 플렉서블 유기박막 트랜지스터 어레이이고,상기 유기박막 트랜지스터는 유연기판;상기 유연기판 상에 형성된 상기 게이트 전극;상기 게이트 전극 상에 형성된 절연층;상기 절연층 상에 형성되고, 그래핀을 포함하는 상기 소스 전극; 상기 절연층 상에 형성되고, 그래핀을 포함하는 상기 드레인 전극; 및 상기 소스 전극과 드레인 전극 사이에 형성되고, 하기 구조식 1로 표시되는 양극성 고분자 반도체 화합물을 포함하는 반도체층; 을 포함하는 것인,플렉서블 유기박막 트랜지스터 어레이
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제1항에 있어서,R1 내지 R14은 서로 같거나 다르고, R1 내지 R14은 서로 독립적으로 메틸기 및 에틸기 중에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 플렉서블 유기박막 트랜지스터 어레이
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제1항에 있어서,상기 X1 내지 X6은 서로 같거나 다르고, X1 내지 X6은 각각 독립적으로 황, 셀레늄 및 산소 원자 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 플렉서블 유기박막 트랜지스터 어레이
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제1항에 있어서,m 및 n은 서로 같거나 다르고, m 및 n은 각각 독립적으로 2 내지 8의 정수 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 플렉서블 유기박막 트랜지스터 어레이
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제1항에 있어서,상기 구조식 1이 하기 화학식 1로 표시되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 유기박막 트랜지스터 어레이
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제1항에 있어서,상기 게이트 전극은 각각 독립적으로 Au, Al, Ag, Be, Bi, Co, Cu, Cr, Hf, In, Mn, Mo, Mg, Ni, Nb, Pb, Pd, Pt, Rh, Re, Ru, Sb, Ta, Te, Ti, V, W, Zr, 및 Zn으로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 유기박막 트랜지스터 어레이
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제1항에 있어서,상기 플렉서블 유기박막 트랜지스터 어레이가 아세톤, 물, 에탄올 및 클로로벤젠을 포함하는 화학물질 중에서 선택된 1종 이상을 검출하는 센서인 것을 특징으로 하는 플렉서블 유기박막 트랜지스터 어레이
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(a) 기판 상에 패턴화된 게이트 전극을 형성시켜 패턴화된 게이트 전극/기판의 적층체 a를 제조하는 단계;(b) 상기 적층체 a의 패턴화된 게이트 전극 상에 절연층을 형성시켜 절연층/패턴화된 게이트 전극/기판의 적층체 b를 제조하는 단계;(c) 상기 적층체 b의 절연층 상에 그래핀을 형성시켜 그래핀/절연층/패턴화된 게이트 전극/기판의 적층체 c를 제조하는 단계;(d) 상기 적층체 c의 그래핀을 패터닝하여 그래핀을 포함하는 소스 전극과 그래핀을 포함하는 드레인 전극을 포함하는 소스 드레인 전극을 형성하여 소스 드레인 전극/절연층/패턴화된 게이트 전극/기판의 적층체 d를 제조하는 단계;(e) 상기 적층체 d의 소스 드레인 전극 방향으로 기판 상에 패턴화된 포토레지스트를 형성시켜 패턴화된 포토레지스트/소스 드레인 전극/절연층/패턴화된 게이트 전극/기판의 적층체 e를 제조하는 단계;(f) 상기 적층체 e의 패턴화된 포토레지스트를 이용하여 소스 전극과 드레인 전극의 연결도선을 형성하고 상기 패턴화된 포토레지스트를 제거하여 연결도선/소스 드레인 전극/절연층/패턴화된 게이트 전극/기판의 적층체 f를 제조하는 단계; 및(g) 적층체 f의 소스 전극과 드레인 전극 사이에 하기 구조식 1로 표시되는 양극성 고분자 반도체 화합물을 포함하는 반도체층을 형성하여 반도체층/연결도선/소스 드레인 전극/절연층/패턴화된 게이트 전극/기판의 적층체 g를 제조하는 단계; 를포함하는 플렉서블 유기박막 트랜지스터 어레이의 제조방법:[구조식 1]상기 구조식 1에서,R1 내지 R14은 서로 같거나 다르고, R1 내지 R14은 서로 독립적으로, C1 내지 C20 직쇄형 또는 분지형 알킬기이고, X1 내지 X6은 서로 같거나 다르고, X1 내지 X6은 각각 독립적으로 16족 원자 중 어느 하나이고,m 및 n은 서로 같거나 다르고, m 및 n은 각각 독립적으로 1 내지 15의 정수 중 어느 하나이고,p는 반복단위의 반복 수이고,수평균 분자량은 5,000 내지 1,000,000이다
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제17항에 있어서,상기 기판이 폴리이미드(polyimide), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(Polyethylene terephthalate, PET) 및 폴리에스터(polyester) 중에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 플렉서블 유기박막 트랜지스터 어레이의 제조방법
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제17항에 있어서,상기 패터닝이 포토리소그래피로 수행되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 유기박막 트랜지스터 어레이의 제조방법
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