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전력 전달 효율이 향상된 마이크로파 플라즈마 발생기

  • 기술번호 : KST2019034703
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마이크로파 플라즈마 발생기의 동축케이블의 일단부에서 발생되는 플라즈마에 의한 임피던스 부정합을, 동축케이블의 반대편 일단부에서 외부도체와 내부도체를 전기적으로 연결하는 연결도체의 구조를 변형하여 보상함으로써 마이크로파 전력 공급 장치에서 마이크로파 플라즈마 발생기로 전달되는 전력의 효율을 극대화할 수 있는 전력 전달 효율이 향상된 마이크로파 플라즈마 발생기에 관한 것이다.
Int. CL H01J 37/32 (2006.01.01)
CPC H01J 37/32211(2013.01)
출원번호/일자 1020170124865 (2017.09.27)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1930726-0000 (2018.12.13)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20181219) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.09.27)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 심재윤 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 권순구 대한민국 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이철희 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로***길 *, ***호 가디언국제특허법률사무소 (삼성동, 우경빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 경상북도 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.09.27 수리 (Accepted) 1-1-2017-0943896-78
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.07.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.09.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0111903-23
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.09.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0636862-95
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.10.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-1035380-92
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.10.19 수리 (Accepted) 1-1-2018-1035379-45
7 등록결정서
Decision to grant
2018.12.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0854483-41
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
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번호 청구항
1 1
제1내부도체, 상기 제1내부도체를 둘러싸는 유전체 및 상기 유전체를 둘러싸는 외부도체를 포함하여 이루어지는 동축케이블;상기 제1내부도체와 상기 외부도체를 전기적으로 연결하는 연결도체;상기 외부도체를 경유하여 제1내부도체와 연결되는 제2내부도체를 구비하는 연결부재;를 구비하며상기 연결도체는, 상기 제1내부도체와 전기적으로 연결되는 내부연결도체; 상기 제1내부도체와 상기 외부도체를 하나 이상의 얇은 금속으로 연결해주면서 저항과 인덕터의 역할을 하는 브릿지; 상기 제1내부도체를 고정시켜주면서 상기 외부도체와 전기적으로 연결해주는 외부연결도체; 및불활성가스가 유입되는 가스유입관;을 포함하되,상기 동축케이블의 일단부에서 발생하는 플라즈마에 의한 임피던스 부정합을 보상하여 전력전달 효율의 감소를 방지하는 것을 특징으로 하는 전력 전달 효율이 향상된 마이크로파 플라즈마 발생기
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삭제
3 3
제 1항에 있어서, 상기 연결도체는상기 동축케이블의 일단부에서 발생하는 플라즈마에 의한 임피던스 부정합을 보상해 줄 수 있는 특정 임피던스를 가지는 것을 특징으로 하는 전력 전달 효율이 향상된 마이크로파 플라즈마 발생기
4 4
제 1항에 있어서, 상기 불활성가스는헬륨가스 및 아르곤가스 중 하나인 것을 특징으로 하는 전력 전달 효율이 향상된 마이크로파 플라즈마 발생기
5 5
제 1항에 있어서, 상기 제2내부도체는상기 제1내부도체와 전기적으로 연결되어 2
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 포항공과대학교 산학협력단 바이오의료기술개발사업(기반기술개발지원) 국부투사영상과 햅틱기반 수술용 로봇기술 연구센터