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유연한 지지체 상에 엑스선 차폐층이 형성된 엑스선 마스크를 제작하는 마스크 제작 단계;적어도 하나의 곡면을 가진 기판 지지대에 가요성 기판을 밀착시키고, 가요성 기판 상에 감광층을 형성하는 감광층 형성 단계;상기 감광층 상에 상기 엑스선 마스크를 밀착 배치하는 마스크 배치 단계;싱크로트론 엑스선의 스캔에 의해 상기 감광층을 선택 노광 후 현상하는 감광층 패턴 형성 단계; 및상기 기판 지지대와 상기 가요성 기판을 분리시키고, 상기 가요성 기판을 상기 기판 지지대와 다른 여러 형상 중 하나의 형상으로 변형시키는 기판 변형 단계를 포함하며,상기 기판 변형 단계에서 상기 감광층 패턴은 위치에 따라 서로 다른 경사각을 가지는 다중 경사 구조체를 이루는 초소형 다중 경사 구조체 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 감광층 형성 단계에서, 상기 가요성 기판은 볼록하거나 오목한 단일 곡면을 형성하는 초소형 다중 경사 구조체 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 감광층 형성 단계에서, 상기 가요성 기판은 곡률 반경과 곡률 방향 중 적어도 하나가 상이한 복수 개 곡면의 조합으로 이루어진 다중 곡면을 형성하는 초소형 다중 경사 구조체 제조 방법
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제3항 또는 제4항에 있어서,상기 기판 변형 단계에서, 상기 가요성 기판은 평탄하게 변형되는 초소형 다중 경사 구조체 제조 방법
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제3항 또는 제4항에 있어서,상기 기판 변형 단계에서, 상기 가요성 기판은 상기 감광층 형성 단계 때와 곡률 반경과 곡률 방향 중 적어도 하나가 다른 곡면으로 변형되는 초소형 다중 경사 구조체 제조 방법
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탄성과 유연성을 구비한 신축성 기판을 적어도 한 방향으로 인장시키는 기판 인장 단계;인장된 상기 신축성 기판 상에 감광층을 형성하는 감광층 형성 단계;상기 감광층의 전방에 엑스선 마스크를 배치하는 마스크 배치 단계;싱크로트론 엑스선 스캔에 의해 상기 감광층을 선택 노광 후 현상하는 감광층 패턴 형성 단계; 및상기 신축성 기판의 인장력을 해제하고, 상기 신축성 기판을 상기 감광층 패턴 형성 시와 다른 여러 형상 중 하나의 형상으로 변형시키는 기판 변형 단계를 포함하며,상기 기판 변형 단계에서 상기 감광층 패턴은 서로간 간격이 작아지고, 위치에 따라 서로 다른 경사각을 가지는 다중 경사 구조체를 이루는 초소형 다중 경사 구조체 제조 방법
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제7항에 있어서,상기 신축성 기판은 가요성 기판이고, 상기 기판 인장 단계에서 곡면 형상의 기판 지지대에 밀착되어 곡면 형상을 유지하는 초소형 다중 경사 구조체 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 신축성 기판은 볼록하거나 오목한 단일 곡면을 형성하는 초소형 다중 경사 구조체 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 신축성 기판은 곡률 반경과 곡률 방향 중 적어도 하나가 상이한 복수 개 곡면의 조합으로 이루어진 다중 곡면을 형성하는 초소형 다중 경사 구조체 제조 방법
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제7항에 있어서,상기 마스크 배치 단계에서, 상기 엑스선 마스크는 유연한 마스크로 제작되어 상기 감광층에 밀착 배치되거나, 단단한 마스크로 제작되어 상기 감광층과 거리를 두고 위치하는 초소형 다중 경사 구조체 제조 방법
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제7항에 있어서,상기 기판 변형 단계에서, 상기 신축성 기판은 평탄하게 변형되는 초소형 다중 경사 구조체 제조 방법
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제7항에 있어서,상기 기판 변형 단계에서, 상기 신축성 기판은 상기 감광층 형성 단계 때와 곡률 반경과 곡률 방향 중 적어도 하나가 다른 곡면으로 변형되는 초소형 다중 경사 구조체 제조 방법
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