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주사투과전자현미경 이미지를 획득하는 단계; 노이즈를 제거하기 위하여 머신 러닝을 통해 상기 주사투과전자현미경 이미지를 재구성하는 단계; 및 재구성된 주사투과전자현미경 이미지로부터 좌표 정보를 검출하여 원자 구조를 해석하는 단계를 포함하고,상기 주사투과전자현미경 이미지를 재구성하는 단계는, 상기 주사투과전자현미경 이미지를 복수의 윈도우로 분할하는 단계; 상기 복수의 윈도우 중 랜덤으로 수집된 샘플을 이용하여 상기 복수의 윈도우 각각의 노이즈를 제거하기 위한 머신 러닝을 수행하는 단계; 머신 러닝을 통해 상기 복수의 윈도우 각각에 대한 노이즈를 제거하는 단계; 및 노이즈가 제거된 상기 복수의 윈도우를 이용하여 상기 주사투과전자현미경 이미지를 재구성하는 단계를 포함하고,상기 주사투과전자현미경 이미지는 HAADF 이미지 및 ABF 이미지를 포함하고,상기 주사투과전자현미경 이미지를 재구성하는 단계에서는, 상기 HAADF 이미지를 재구성하여 상대적으로 무거운 이온들의 위치가 결정되면 다음으로 상대적으로 가벼운 이온들의 위치를 찾기 위하여 상기 ABF 이미지의 재구성을 수행하는, 원자 구조 해석 방법
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제1항에 있어서,상기 머신 러닝을 수행하는 단계에서는, 샘플로 수집된 윈도우를 입력 데이터로 사용하는 자동 엔코더를 이용하여 뉴럴 네트워크 학습을 수행하는, 원자 구조 해석 방법
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제3항에 있어서,상기 자동 엔코더는 노이즈가 발생된 이미지를 재구성하기 위하여 원본 데이터보다 노드수가 적은 히든층이 있는 아키텍처를 사용하여 입력 데이터를 재현하는 방법을 학습하는, 원자 구조 해석 방법
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제1항에 있어서,상기 ABF 이미지의 재구성에서는 HAADF 이미지의 재구성으로 통해 확인된 무거운 이온 위치와의 거리를 이용하여 ABF 이미지의 복수의 윈도우를 두가지 윈도우 세트로 나누고, 두가지 윈도우 세트에서 다시 뉴럴 네트워크 학습을 수행하는, 원자 구조 해석 방법
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제7항에 있어서,상기 ABF 이미지의 재구성에서는 ABF 이미지의 상대적으로 무거운 원자열을 포함하는 윈도우를 처리하는 제1 뉴럴 네트워크와, 상대적으로 가벼운 원자열을 포함하는 윈도우를 처리하는 제2 뉴럴 네트워크를 설정하고, 학습된 제2 뉴럴 네트워크에 의해 재구성된 이미지로 상대적으로 가벼운 원자열의 초기 위치가 먼저 결정되면 학습된 제1 뉴럴 네트워크에 의해 재구성된 이미지를 합친 결과를 이용하여 상대적으로 가벼운 원자열의 위치를 조정하는, 원자 구조 해석 방법
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주사투과전자현미경 이미지를 획득하는 이미지 획득 수단; 노이즈를 제거하기 위하여 머신 러닝을 통해 상기 주사투과전자현미경 이미지를 재구성하는 이미지 재구성 수단; 및 재구성된 주사투과전자현미경 이미지로부터 좌표 정보를 검출하여 원자 구조를 해석하는 좌표 검출 수단;을 포함하고,상기 이미지 재구성 수단은, 상기 주사투과전자현미경 이미지를 복수의 윈도우로 분할하고, 상기 복수의 윈도우 중 랜덤으로 수집된 샘플을 이용하여 상기 복수의 윈도우 각각의 노이즈를 제거하기 위한 머신 러닝을 수행하고, 머신 러닝을 통해 상기 복수의 윈도우 각각에 대한 노이즈를 제거하고, 노이즈가 제거된 상기 복수의 윈도우를 이용하여 상기 주사투과전자현미경 이미지를 재구성하고,상기 주사투과전자현미경 이미지는 HAADF 이미지 및 ABF 이미지를 포함하고,상기 이미지 재구성 수단은, 상기 HAADF 이미지를 재구성하여 상대적으로 무거운 이온들의 위치가 결정되면 다음으로 상대적으로 가벼운 이온들의 위치를 찾기 위하여 상기 ABF 이미지의 재구성을 수행하는, 원자 구조 해석 장치
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제9항에 있어서,상기 이미지 재구성 수단은, 샘플로 수집된 윈도우를 입력 데이터로 사용하는 자동 엔코더를 이용하여 뉴럴 네트워크 학습을 수행하는, 원자 구조 해석 장치
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제11항에 있어서,상기 자동 엔코더는 노이즈가 발생된 이미지를 재구성하기 위하여 원본 데이터보다 노드수가 적은 히든층이 있는 아키텍처를 사용하여 입력 데이터를 재현하는 방법을 학습하는, 원자 구조 해석 장치
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제9항에 있어서,상기 이미지 재구성 수단은, ABF 이미지의 상대적으로 무거운 원자열을 포함하는 윈도우를 처리하는 제1 뉴럴 네트워크와, 상대적으로 가벼운 원자열을 포함하는 윈도우를 처리하는 제2 뉴럴 네트워크를 설정하고, 학습된 제2 뉴럴 네트워크에 의해 재구성된 이미지로 상대적으로 가벼운 원자열의 초기 위치가 먼저 결정되면 학습된 제1 뉴럴 네트워크에 의해 재구성된 이미지를 합친 결과를 이용하여 상대적으로 가벼운 원자열의 위치를 조정하는, 원자 구조 해석 장치
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