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반응가스 공급부, 반응부, 및 분해가스 배출부를 포함하며,상기 반응가스 공급부는 HFCs 공급부; 불활성 가스 공급부; 수증기 공급부; 및 반응가스 공급부와 반응부를 연결하며 반응부에 반응가스를 주입하는 반응가스 주입관을 포함하여 구성되며,상기 반응부는 촉매충진컬럼 및 상기 촉매충진컬럼을 둘러싸는 히터를 포함하여 구성되며, 상기 분해가스 배출부는 분해가스 배출관을 포함하여 구성되며,상기 촉매충진컬럼의 일단부에는 상기 반응가스 주입관이 연결되며 타단부에는 상기 분해가스 배출관이 연결되며,상기 촉매충진컬럼에는 비표면적이 200~300 m2/g 이고, 평균포어사이즈가 3~10 nm이고, 포어부피가 0
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청구항 1에 있어서,상기 반응가스 공급부에는 각각의 반응가스의 유량을 조절하는 유량조절장치가 더 설치된 것을 특징으로 하는 HFCs 분해 처리 장치
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청구항 1에 있어서,상기 분해가스 배출부는 분해가스 배출관에 연결된 분해가스 포집부 및 분해가스 중화부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 HFCs 분해 처리 장치
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청구항 1에 있어서,상기 반응부에서 히터는 전기로 방식의 원형 히터인 것을 특징으로 하는 HFCs 분해 처리 장치
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청구항 1에 있어서,상기 촉매충진컬럼은 금속 관형 컬럼의 양단에 글래스 울(glass wool)을 채우고, 상기 글래스 울 사이에 분해촉매를 충진한 것을 특징으로 하는 HFCs 분해 처리 장치
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청구항 1에 있어서,상기 촉매충진컬럼은 하단부에 반응가스 주입관이 연결되며, 상단부에 분해가스 배출관이 연결되는 것을 특징으로 하는 HFCs 분해 처리 장치
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청구항 1에 있어서,상기 Al2O3가 γ-Al2O3인 것을 특징으로 하는 HFCs 분해 처리 장치
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청구항 1에 있어서,상기 HFCs가 알칸(CnH2n+2)의 수소 일부가 불소로 치환된 할로알칸(Haloalkanes) 화합물인 것을 특징으로 하는 HFCs 분해 처리 장치
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청구항 1에 있어서,HFCs를 촉매열분해를 300~650℃에서 수행하는 것을 특징으로 하는 HFCs 분해 처리 장치
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반응가스 공급부, 반응부, 및 분해가스 배출부를 포함하며,상기 반응가스 공급부는 HFCs 공급부; 불활성 가스 공급부; 수증기 공급부; 및 반응가스 공급부와 반응부를 연결하며 반응부에 반응가스를 주입하는 반응가스 주입관을 포함하여 구성되며,상기 반응부는 촉매충진컬럼 및 상기 촉매충진컬럼을 둘러싸는 히터를 포함하여 구성되며, 상기 분해가스 배출부는 분해가스 배출관을 포함하여 구성되며,상기 촉매충진컬럼의 일단부에는 상기 반응가스 주입관이 연결되며 타단부에는 상기 분해가스 배출관이 연결된 HFCs 분해 처리 장치 사용하며;상기 불활성 가스로는 질소가스를 사용하고, 상기 촉매충진컬럼에는 비표면적이 200~300 m2/g 이고, 평균포어사이즈가 3~10 nm이고, 포어부피가 0
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