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임피던스, 온도 및 수소 이온 농도 측정을 위한 바이오센서에 있어서,사각 형상의 측정 기판(10);상기 측정 기판의 상부에 위치하는 온도 측정 센서용 회로부(31);상기 온도 측정 센서용 회로부의 상부에 위치하는 절연층(60);상기 절연층의 상부에 위치하는 제 1 임피던스 측정 센서용 회로부(41);상기 절연층의 상부에 위치하는 제 2 임피던스 측정 센서용 회로부(46);상기 절연층의 상부에 위치하는 제 1 수소 이온 농도 측정 센서용 회로부(51); 및상기 절연층의 상부에 위치하는 제 2 수소 이온 농도 측정 센서용 회로부(56);를 포함하고,상기 측정 기판(10)은,실리콘층(13) 및 상기 실리콘층(13)의 상하층에 접붙여진 실리콘 나이트라이드 층(15)(Silicon nitride, Si3N4)으로 구성된 기판의 상기 상하층에 접붙여진 실리콘 나이트라이드 층(15) 중 어느 한층을 감광물질(90)으로 코팅하는 공정;엣칭될 부분의 회로를 상기 감광물질(90)로 코팅된 한층의 위에 붙이고 자외선에 노광시킨 후 현상하는 공정;RIE(reactive ion etching)공정을 통해 상기 실리콘 나이트라이드 층(15)를 제거하는 공정; 및수산화칼륨(KOH)를 이용한 엣칭 공정을 거쳐 상기 실리콘층(13)을 깎는 공정;을 이용하여 생성되고,상기 측정 기판(10)은, 제1 전극, 제2 전극, 제3 전극 및 제4 전극을 포함하는 제1 모서리부(21) 및 상기 제1 모서리부(21)의 대향하여 제5 전극, 제6 전극, 제7 전극 및 제8 전극을 포함하는 제2 모서리부(22)를 포함하고, 상기 제4 전극은 상기 측정 기판(10)의 제1 모서리부(21)의 우측 최말단에 위치하고, 상기 제5 전극은 상기 측정 기판(10)의 제2 모서리부(22)의 좌측 최말단에 위치하며, 상기 온도 측정 센서용 회로부(31)는상기 제2 전극, 상기 제6 전극 및 상기 제 2 전극 및 상기 제 6 전극을 직선으로 가로지르며 상기 바이오센서의 중앙부를 지나게 연결되는 온도 측정 센서용 회로(37)로 구성되고,상기 제 1 임피던스 측정 센서용 회로부(41)는,상기 제1 전극, 상기 제7 전극 및 상기 제 1 전극 및 상기 제 7 전극과 연결되는 제 1 임피던스 측정 센서용 회로(44)로 구성되고,상기 제 2 임피던스 측정 센서용 회로부(46)는,상기 제3 전극, 상기 제8 전극 및 상기 제 3 전극 및 상기 제 8 전극과 연결되는 제 2 임피던스 측정 센서용 회로(49)로 구성되고,상기 제 1 수소 이온 농도 측정 센서용 회로부(51)는,상기 제 5 전극, 측정 대상 용액의 수소 이온 농도를 측정하기 위하여 소정의 넓이를 갖는 측정 대상 용액 접지부(53) 및 상기 제 5 전극 및 상기 측정 대상 용액 접지부(53)와 연결되는 제 1 수소 이온 농도 측정 센서용 회로(54)로 구성되고,상기 제 2 수소 이온 농도 측정 센서용 회로부(56)는,상기 제 4 전극, 기준 용액의 수소 이온 농도를 측정하기 위하여 소정의 넓이를 갖는 기준 용액 접지부(58) 및 상기 제 4 전극 및 상기 기준 용액 접지부(58)와 연결되는 제 2 수소 이온 농도 측정 센서용 회로(59)로 구성되고,상기 온도 측정 센서용 회로(37)는 상기 제 1 임피던스 측정 센서용 회로(44) 및 상기 제 2 임피던스 측정 센서용 회로(49)와 절연층으로 분리되어 있되, 상기 절연층의 하부에 위치하고,상기 온도 측정 센서용 회로(37)는 백금으로 형성되며,상기 온도 측정 센서용 회로부(31)는,온도 변화에 따른 상기 온도 측정 센서용 회로(37)의 저항 변화 및 하기 수학식 (1)에 의해 측정된 TCR(Temperature Coefficient of Resistance)을 이용하여 온도를 측정하고,수학식 (1)수학식 (2)R(T) = R0 [1+ TCR*(T-T0)](단, T0: 기준온도, R0: T0에서의 저항값, R(T): 미지의 온도 T에서 측정된 저항값)상기 온도는 상기 수학식 (2)에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는 임피던스, 온도 및 수소 이온 농도 측정을 위한 바이오센서
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제 1항에 있어서, 상기 온도 측정 센서용 회로부(31), 제 1 임피던스 측정 센서용 회로부(41), 제 2 임피던스 측정 센서용 회로부(46), 제 1 수소 이온 농도 측정 센서용 회로부(51) 및 제 2 수소 이온 농도 측정 센서용 회로부(56)는, 섀도우 마스크(shadow mask)를 이용한 스퍼터링(sputtering, 진공증착) 방법 또는 감광물질(90) 및 노광장비를 활용한 리프트 오프(lift-off, 박리) 방법 중 어느 하나의 방법에 의하여 상기 측정 기판(10)에 형성되는 것을 특징으로 하는 임피던스, 온도 및 수소 이온 농도 측정을 위한 바이오센서
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제 1항에 있어서, 상기 제 1 임피던스 측정 센서용 회로부(41) 및 제 2 임피던스 측정 센서용 회로부(46)는, 크롬과 백금이 복합된 소재이고, 제 1 수소 이온 농도 측정 센서용 회로부(51) 및 제 2 수소 이온 농도 측정 센서용 회로부(56)는, 크롬과 이리듐이 복합된 소재인 것을 특징으로 하는 임피던스, 온도 및 수소 이온 농도 측정을 위한 바이오센서
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제 1항에 있어서,상기 제1 전극은, 상기 측정 기판(10)의 제1 모서리부(21)의 좌측 최말단에 위치하고, 상기 제2 전극 및 상기 제3 전극은, 상기 제1 전극과 상기 제4 전극 사이에 위치하며,상기 제8 전극은, 상기 측정 기판(10)의 제2 모서리부(22)의 우측 최말단에 위치하고, 상기 제6 전극 및 상기 제7 전극은, 상기 제5 전극과 상기 제8 전극 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는, 임피던스, 온도 및 수소 이온 농도 측정을 위한 바이오센서
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제 6항에 있어서,상기 측정 대상 용액 접지부(53)에서 측정하는 측정 대상 용액과 상기 기준 용액 접지부(58)에서 측정하는 기준 용액이 서로 섞이지 않게 하기 위하여, 내경의 하부면 안에 상기 측정 대상 용액 접지부(53)를 포함하고, 기준 용액 접지부(58)를 포함하지 않는 제 1 절연벽(61);내경의 하부면 안에 상기 기준 용액 접지부(58)를 포함하고, 측정 대상 용액 접지부(53)를 포함하지 않는 제 2 절연벽(62);을 더 포함하되,상기 제 1 절연벽(61)과 제 2 절연벽(62)은 서로 포함되지 않고 분리된 영역에 위치하는 것을 특징으로 하는 임피던스, 온도 및 수소 이온 농도 측정을 위한 바이오센서
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청구항 7에 따른 임피던스, 온도 및 수소 이온 농도 측정을 위한 바이오센서;상기 제 1 전극, 상기 제 7 전극과 연결되는 제 1 전기선(71);상기 제 3 전극, 상기 제 8 전극과 연결되는 제 2 전기선(72); 및제 1 전기선(71)과 제 2 전기선(72)을 연결하는 제 3 전기선(73) 상에 위치하여 세포의 임피던스 산출을 수행하는 임피던스 산출부;를 포함하는 임피던스 측정 장치
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청구항 7에 따른 임피던스, 온도 및 수소 이온 농도 측정을 위한 바이오센서;상기 제 2 전극, 상기 제 6 전극과 연결되는 제 4 전기선(74) 상에 위치하여 세포의 온도 산출을 수행하는 온도 산출부;를 포함하는 온도 측정 장치
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청구항 7에 따른 임피던스, 온도 및 수소 이온 농도 측정을 위한 바이오센서;상기 제 4 전극, 상기 제 5 전극과 연결되는 제 5 전기선(75) 상에 위치하여 세포의 수소 이온 농도 산출을 수행하는 수소 이온 농도 산출부;를 포함하는 수소 이온 농도 측정 장치
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