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유체의 유속을 측정하기 위한 유속 측정 구조물을 포함하는 제1 패널;상기 제1 패널과 분리되고 시료가 통과하는 미세 유체 채널을 포함하는 제2 패널; 및상기 미세 유체 채널을 통과하는 시료가 상기 유속 측정 구조물에 직접 닿지 않도록 상기 제1 패널과 제2 패널이 접하는 부분에 형성되어 상기 제1 패널과 제2 패널을 분리하는 박막; 를 포함하며, 상기 유속 측정 구조물을 포함하는 제1 패널은 반복하여 여러 번 사용이 가능한 것을 특징으로 하는 미세 유체 유속 측정장치
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청구항 1에 있어서, 상기 유속 측정 구조물은 상기 미세 유체 채널을 통과하는 시료에 열을 가하기 위한 히터; 및상기 히터에서 발생한 열에 의해 상기 시료의 온도가 상승하면 시료의 온도 변화에 따른 저항 차이를 측정하도록 상기 히터의 전후로 설치되는 2개의 온도 측정 전극;을 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 유속 측정장치
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청구항 1에 있어서, 상기 제1 패널과 제2 패널을 진공 흡착하기 위해 진공을 인가하는 진공흡착수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 유속 측정장치
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청구항 3에 있어서, 상기 진공흡착수단은 상기 제1 패널과 제2 패널의 접하는 면에 형성되는 진공홈과, 상기 진공홈과 연통되어 진공을 인가함으로써, 상기 제1 패널과 제2 패널 사이에 공기층을 완전히 제거하도록 상기 제1 패널과 제2 패널이 진공 흡착시키는 진공흡입부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 미세 유체 유속 측정장치
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청구항 4에 있어서, 상기 진공홈은 상기 제2 패널의 하면에 형성되고, 상기 진공흡입부는 상기 제2 패널의 상면 또는 측면에 연통되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 미세 유체 유속 측정장치
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청구항 4에 있어서, 상기 진공홈은 상기 제1 패널의 상면에 형성되고, 상기 진공흡입부는 상기 제1 패널의 하면 또는 측면에 연통되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 미세 유체 유속 측정장치
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청구항 4에 있어서, 상기 진공홈은 상기 미세 유체 채널을 감싸는 형상 및 위치로 형성되는 것을 특징으로 하는 미세 유체 유속 측정장치
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청구항 1에 있어서, 상기 박막의 재질은 폴리디메틸실록산(PDMS; polydimethyl siloxane), 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET, polyethylene Terephthalate), 폴리이미드(PI; polyimide), 폴리프로필렌(PP, polypropylene), 고분자 플라스틱, 유리 및 세라믹 중 적어도 어느 하나 이상의 선택된 재질을 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 유속 측정장치
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청구항 1에 있어서, 상기 미세 유체 채널은 시료를 주입하기 위한 유체 주입구;상기 유체 주입구에서 유입된 시료가 흐르는 유체 채널; 및상기 유체 채널을 흐른 시료가 배출되는 유체 배출구를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 유속 측정장치
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청구항 1에 있어서, 상기 제1 패널과 제2 패널이 분리 가능하므로,시료가 통과하는 미세 유체 채널을 포함하는 상기 제2 패널을 사용자가 측정하고자 하는 유체 유속 측정범위에 따라 교환하여 사용함으로써, 상기 제1 패널을 측정 가능한 유속의 범위를 제한하지 않고 범용적으로 사용할 수 있는 것을 특징으로 하는 미세 유체 유속 측정장치
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