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외부의 압축 공기를 인가하기 위한 시브 밸브 챔버;외부 압력에 의해 일부분이 변형이 가능한 밸브막;상부층에 상기 시브 밸브 챔버에 연결되어 입자가 포함된 유체가 유입되는 상부 채널이 형성되고, 하부층에 상기 상부 채널의 끝단에 연통된 하부 연결 채널과, 상기 하부 연결 채널의 양쪽으로 입자가 걸러진 유체가 흐르는 제1 연결채널과, 걸러진 입자가 흐르는 제2 연결채널이 형성되고, 상기 제1 연결채널과 상기 제2 연결채널을 연결하는 반구형 유체 챔버를 포함하며,상기 시브 밸브 챔버의 압축 공기의 압력에 의해 상기 밸브막의 일부분이 변형되어 상기 반구형 유체 챔버의 형상으로 변형되면서 상기 상부 채널의 출구면이 좁아지고 상기 상부 채널을 통해 유입된 유체에서 상기 입자가 차단되면서 유체를 배출하고,상기 밸브막의 상부면에 형성된 외부 유체 및 외부 압축공기 인가를 위한 공압 연결 층을 포함하고, 상기 공압 연결 층은 상기 외부 유체 및 외부 압축공기 인가를 위한 공압 연결 층은 상기 시브 밸브 챔버에 포함되어 외부의 압축 공기를 인가하여 상기 밸브막을 압축 공기로 변형시켜 상기 상부 채널의 출구면이 좁아지도록 하는 시브 밸브;입자와 유체를 주입하는 유입구;유체를 배출하는 유체 배출구; 및입자를 배출하는 입자 배출구를 포함하며, 상기 반구형 유체 챔버의 형상으로 변형되면서 상기 상부 채널의 출구면이 좁아져 입자가 쌓여 농축되는 입자 포집 영역이 상기 시브 밸브에 근접되어 있는 형태이며,상기 상부층은 상기 유입구에 하부 방향으로 연통된 유입구 포트;상기 유입구 포트로부터 수평 방향으로 연통된 상기 상부 채널;상기 상부 채널의 일측 끝단에 형성된 유동 챔버;상기 유동 챔버와 일정 거리 이격되어 상기 제1 연결채널에 하부 방향으로 연통된 유체 밸브 챔버;상기 유동 챔버와 일정 거리 이격되어 상기 제2 연결채널에 하부 방향으로 연통된 입자 밸브 챔버;상기 유체 밸브 챔버에 연결되고, 상부 방향으로 상기 유체 배출구와 연통된 유체 배출구 포트; 및상기 입자 밸브 챔버에 연결되고, 상부 방향으로 상기 입자 배출구와 연통된 입자 배출구 포트를 포함하는 것을 특징으로 하는 공압 구동 방식의 미세 입자 농축기
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제1항에 있어서,상기 밸브막의 상부면에 형성된 외부 유체 및 외부 압축공기 인가를 위한 공압 연결 층을 포함하고, 상기 외부 유체 및 외부 압축공기 인가를 위한 공압 연결 층은 상기 시브 밸브 챔버에 대응되는 위치에 형성되어 외부의 압축 공기를 인가하여 상기 밸브막을 압축 공기로 변형시켜 상기 상부 채널의 출구면이 좁아지도록 하는 시브 밸브;상기 제1 연결채널의 입자의 흐름을 제어하기 위한 유체 밸브; 및상기 제2 연결채널의 유체의 흐름을 제어하기 위한 입자 밸브를 포함하며, 상기 시브 밸브를 온시키고, 상기 입자 밸브를 온하고, 상기 유체 밸브를 오프시켜 상기 제1 연결채널이 개방되며, 상기 제2 연결채널이 차단되어 유체는 흐르고 입자는 농축되는 것을 특징으로 하는 공압 구동 방식의 미세 입자 농축기
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제1항에 있어서,상기 밸브막의 상부면에 형성된 외부 유체 및 외부 압축공기 인가를 위한 공압 연결 층을 포함하고, 상기 외부 유체 및 외부 압축공기 인가를 위한 공압 연결 층은 상기 시브 밸브 챔버에 포함되어 외부의 압축 공기를 인가하여 상기 밸브막을 압축 공기로 변형시켜 상기 상부 채널의 출구면이 좁아지도록 하는 시브 밸브;상기 제1 연결채널의 입자의 흐름을 제어하기 위한 유체 밸브; 및상기 제2 연결채널의 유체의 흐름을 제어하기 위한 입자 밸브를 포함하며, 상기 시브 밸브를 오프시키고, 상기 입자 밸브를 오프시키고, 상기 유체 밸브를 온시켜 상기 제1 연결채널이 차단되며, 상기 제2 연결채널이 개방되어 농축된 입자가 상기 제2 연결채널을 통해 외부로 배출되는 것을 특징으로 하는 공압 구동 방식의 미세 입자 농축기
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제1항에 있어서,미세 입자의 크기에 따라 상기 시브 밸브 챔버에 인가하는 압력을 조절하여 상기 밸브막의 변형 정도를 제어하는 것을 특징으로 하는 공압 구동 방식의 미세 입자 농축기
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