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기판(Substrate);상기 기판 위에 배열되는 적어도 하나의 전극(Electrode);상기 전극에 미리 설정된 기준 주파수를 기준으로 고주파 교류 전압을 인가하는 전압 인가부; 및상기 기준 주파수를 기준으로 저주파수 주기로 상기 인가되는 고주파 교류 전압을 온오프(on/off) 스위칭하여 한 주기 내에 고주파 교류 전압 및 저주파 교류 전압을 모두 발생시키는 스위칭부를 포함하되,상기 스위칭에 따라 전도성 액적(droplet) 및 비전도성 액적이 모두 제거 가능한 것을 특징으로 하는 클리닝 장치
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제1항에 있어서,상기 전도성 액적 및 상기 비전도성 액적은 상기 고주파 교류 전압과 상기 저주파 교류 전압이 상기 전극에 동시에 인가됨으로써, 진동하는 것을 특징으로 하는 클리닝 장치
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제3항에 있어서,상기 비전도성 액적 및 상기 전도성 액적은 상기 진동에 의하여 상기 기판 표면과의 접촉각이 변화하여 접착력이 감소하고, 상기 기판의 경사에 의하여 상기 기판의 바깥 측으로 이동하는 것을 특징으로 하는 클리닝 장치
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제4항에 있어서,상기 비전도성 액적 및 상기 전도성 액적은 상기 경사에 의하여 이동 방향 부분의 접촉각과 이동 방향의 반대 방향 부분의 접촉각 사이에서 차이가 발생하며, 상기 차이는 상기 이동을 도와주는 것을 특징으로 하는 클리닝 장치
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제1항에 있어서,상기 전극의 상면에 적층되는 절연 층(Dielectric Layer); 및상기 절연 층의 상면에 적층되며, 액적(droplet)이 표면에 형성되는 소수성 층(Hydrophobic Layer)을 더 포함하는 클리닝 장치
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제6항에 있어서,상기 전극은 복수의 하이(high) 전압 전극 및 복수의 그라운드(ground) 전압 전극을 포함하며, 하이(high) 전압 전극과 그라운드(ground) 전압 전극이 상기 기판 위에서 서로 분리된 상태에서 번갈아 가도록 연속적으로 배열되는 것을 특징으로 하는 클리닝 장치
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제7항에 있어서,상기 배열에 의하여 생성되는 결의 방향은 상기 액적의 이동 방향과 일치하는 것을 특징으로 하는 클리닝 장치
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제8항에 있어서,상기 액적과 상기 표면의 접촉각은 상기 결의 방향에서 더 크게 발생하는 것을 특징으로 하는 클리닝 장치
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제7항에 있어서,상기 복수의 하이(high) 전압 전극 및 상기 복수의 그라운드(ground) 전압 전극은 각각 일체로 형성됨으로써, 하이(high) 전압 전극끼리 및 그라운드(ground) 전압 전극끼리 연결되는 것을 특징으로 하는 클리닝 장치
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제1항에 있어서,상기 전극은 하이(high) 전압 전극 및 그라운드(ground) 전압 전극을 포함하며, 상기 하이(high) 전압 전극과 상기 그라운드(ground) 전압 전극은 각각 comb 형태를 가지고, 서로 닿지 않고 맞물려있는 형태로 배치되는 것을 특징으로 하는 클리닝 장치
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기판(Substrate), 상기 기판 위에 배열되는 적어도 하나의 전극(Electrode)을 포함하는 클리닝 장치가 수행하는 클리닝 방법에 있어서,(a) 액적 제거 요청 신호를 입력받는 단계;(b) 상기 전극에 미리 설정된 기준 주파수를 기준으로 고주파 교류 전압을 인가하는 단계;(c) 상기 기준 주파수를 기준으로 저주파수로 상기 인가되는 고주파 교류 전압을 온오프(on/off) 스위칭하여 한 주기 내에 고주파 교류 전압 및 저주파 교류 전압을 모두 발생시키는 단계; 및(d) 미리 정해진 시간이 경과하거나 액적 제거 해제 요청 신호가 입력되면, 상기 고주파 교류 전압의 인가 및 상기 온오프(on/off) 스위칭을 중단하는 단계를 포함하되,상기 스위칭에 따라 전도성 액적(droplet) 및 비전도성 액적이 모두 제거 가능한 것을 특징으로 하는 클리닝 방법
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제13항에 있어서,상기 (c) 단계는,상기 고주파 교류 전압과 상기 저주파 교류 전압이 상기 전극에 동시에 인가됨으로써, 상기 전도성 액적 및 상기 비전도성 액적이 진동하는 것을 특징으로 하는 클리닝 방법
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제15항에 있어서,상기 (c) 단계는,상기 비전도성 액적 및 상기 전도성 액적이 상기 진동에 의하여 상기 기판 표면과의 접촉각이 변화하여 접착력이 감소하고, 상기 기판의 경사에 의하여 상기 기판의 바깥 측으로 이동하는 것을 특징으로 하는 클리닝 방법
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