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질화갈륨계 전력 스위칭 장치

  • 기술번호 : KST2019035448
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 AlGaN/GaN 이종접합 전력 반도체 소자에 있어서, 스위칭 구동 신호를 증폭하는 게이트 전류 부스터를 단일 스테이지로 구성하여 전력 스위칭 소자가 형성된 칩 내에 집적하는 질화갈륨계 전력 스위칭 장치에 관한 것으로, 전력 스위칭 트랜지스터, 및 상기 전력 스위칭 트랜지스터의 구동 신호를 입력받고 상기 구동 신호를 증폭하여 구동 게이트 전류를 생성하는 게이트 전류 부스터가 일체화되어 형성된 모놀리식 집적 회로칩 구조를 가지는 질화갈륨계 전력 스위칭 장치에 있어서, 상기 게이트 전류 부스터는, 소스 단자는 접지되고, 게이트 단자를 통하여 상기 구동 신호를 인가받으며, 드레인 단자는 상기 전력 스위칭 트렌지스터의 게이트 단자에 연결된 구동 트랜지스터; 및 일단은 상기 전력 스위칭 트렌지스터의 게이트 단자에 연결되고, 타단은 제1 전원에 연결되어, 가변적인 저항값을 제공하는 가변 저항을 포함한다.
Int. CL H03K 17/687 (2006.01.01) H01L 29/78 (2006.01.01) H01L 29/51 (2006.01.01)
CPC H03K 17/6871(2013.01) H03K 17/6871(2013.01) H03K 17/6871(2013.01)
출원번호/일자 1020170069653 (2017.06.05)
출원인 홍익대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1873219-0000 (2018.06.26)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20180702) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.06.05)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 홍익대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 마포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 차호영 대한민국 서울특별시 마포구
2 한상우 대한민국 서울특별시 마포구
3 김현섭 대한민국 서울특별시 마포구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다울 대한민국 서울 강남구 봉은사로 ***, ***호(역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 홍익대학교 산학협력단 서울특별시 마포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.06.05 수리 (Accepted) 1-1-2017-0535279-14
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.08.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.11.10 수리 (Accepted) 9-1-2017-0038423-77
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.12.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0886718-35
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.02.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0168647-38
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.02.19 수리 (Accepted) 1-1-2018-0168629-16
7 등록결정서
Decision to grant
2018.06.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0423217-26
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번호 청구항
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전력 스위칭 트랜지스터, 및 상기 전력 스위칭 트랜지스터의 구동 신호를 입력받고 상기 구동 신호를 증폭하여 구동 게이트 전류를 생성하는 게이트 전류 부스터가 일체화되어 형성된 모놀리식 집적 회로칩 구조를 가지는 질화갈륨계 전력 스위칭 장치에 있어서,상기 게이트 전류 부스터는,소스 단자는 접지되고, 게이트 단자를 통하여 상기 구동 신호를 인가받으며, 드레인 단자는 상기 전력 스위칭 트렌지스터의 게이트 단자에 연결된 구동 트랜지스터; 및일단은 상기 전력 스위칭 트렌지스터의 게이트 단자에 연결되고, 타단은 제1 전원에 연결되어, 가변적인 저항값을 제공하는 가변 저항을 포함하되,상기 구동 트랜지스터는 상시불통형인 질화갈륨계 전력 스위칭 장치
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청구항 1에 있어서,상기 구동 트랜지스터는,기판;상기 기판 위에 형성된 질화갈륨계 물질인 버퍼층;상기 버퍼층 위에 형성된 질화알루미늄갈륨계 물질인 배리어층;상기 배리어층 위에 형성된 게이트 절연층;상기 게이트 절연층을 관통하여 상기 배리어층에 접하여 위치하는 제1 소스 전극 및 제1 드레인 전극; 및상기 제1 소스 전극 및 상기 제1 드레인 전극 사이에 위치하며, 상기 게이트 절연층에 의하여 상기 배리어층과 이격되는 제1 게이트 전극을 포함하는 질화갈륨계 전력 스위칭 장치
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청구항 1에 있어서,상기 가변 저항은,기판;상기 기판 위에 형성된 질화갈륨계 물질인 버퍼층;상기 버퍼층 위에 형성된 질화알루미늄갈륨계 물질인 배리어층;상기 배리어층 위에 형성된 게이트 절연층; 및상기 게이트 절연층을 관통하여 상기 배리어층에 접하여 위치하는 제1 오믹 전극 및 제2 오믹 전극을 포함하는 질화갈륨계 전력 스위칭 장치
4 4
청구항 2에 있어서,상기 가변 저항은,상기 기판;상기 버퍼층;상기 배리어층;상기 게이트 절연층; 및상기 게이트 절연층을 관통하여 상기 배리어층에 접하여 위치하는 제1 오믹 전극 및 제2 오믹 전극을 포함하는 질화갈륨계 전력 스위칭 장치
5 5
청구항 1에 있어서,상기 전력 스위칭 트랜지스터는,기판;상기 기판 위에 형성된 질화갈륨계 물질인 버퍼층;상기 버퍼층 위에 형성된 질화알루미늄갈륨계 물질인 배리어층;상기 배리어층 위에 형성된 게이트 절연층;상기 게이트 절연층을 관통하여 상기 배리어층에 접하여 위치하는 제2 소스 전극 및 제2 드레인 전극; 및상기 제2 소스 전극 및 상기 제2 드레인 전극 사이에 위치하며, 상기 게이트 절연층에 의하여 상기 배리어층과 이격되는 제2 게이트 전극을 포함하는 질화갈륨계 전력 스위칭 장치
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청구항 2 또는 청구항 4에 있어서,상기 전력 스위칭 트랜지스터는,상기 기판;상기 버퍼층;상기 배리어층;상기 게이트 절연층;상기 게이트 절연층을 관통하여 상기 배리어층에 접하여 위치하는 제2 소스 전극 및 제2 드레인 전극; 및상기 제2 소스 전극 및 상기 제2 드레인 전극 사이에 위치하며, 상기 게이트 절연층에 의하여 상기 배리어층과 이격되는 제2 게이트 전극을 포함하는 질화갈륨계 전력 스위칭 장치
7 7
청구항 6에 있어서,상기 제1 소스 전극 및 상기 제1 드레인 전극의 소스-드레인 거리인 제1 거리는, 상기 제2 소스 전극 및 상기 제2 드레인 전극의 소스-드레인 거리인 제2 거리의 2분의 1인 질화갈륨계 전력 스위칭 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 홍익대학교 산학협력단 나노소재원천기술개발사업 GaN와 Si의 이종 집적화 기술 개발
2 교육과학기술부 홍익대학교 산학협력단 중점연구소지원사업 메타물질 융합 핵심요소기술 연구