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패턴의 제조방법

  • 기술번호 : KST2019035726
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 제1폭 및 제1두께를 갖는 제1기판을 제공하는 단계; 상기 제1기판을 인장시켜, 제2폭 및 제2두께를 갖는 제2기판을 제공하는 단계; 상기 제2기판 상에 형성하고자 하는 패턴의 물질로 이루어지는 베이스층을 형성하는 단계; 상기 베이스층의 일정 영역을 제거하여, 상기 제2기판 상에 제1선폭 및 제1높이를 포함하는 제1패턴을 형성하는 단계; 및 상기 제2기판에 가해진 인장력을 제거하여 상기 제1기판으로 회복함으로써, 상기 제1기판 상에 제2선폭 및 제2높이를 포함하는 제2패턴을 형성하는 단계;를 포함하는 패턴의 제조방법에 관한 것으로, 기판을 인장한 상태에서 제1패턴을 형성하고, 상기 인장된 기판을 회복시키면서 상기 제1패턴의 선폭을 수축시켜 수축된 선폭을 갖는 제2패턴을 상기 회복된 기판상에 형성함으로써, 선폭의 미세화를 달성할 수 있으며, 이를 통한 고집적화를 달성할 수 있다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/027 (2006.01.01) H01L 21/768 (2006.01.01)
CPC H01L 21/02288(2013.01) H01L 21/02288(2013.01) H01L 21/02288(2013.01) H01L 21/02288(2013.01)
출원번호/일자 1020170077727 (2017.06.20)
출원인 창원대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1851713-0000 (2018.04.18)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20180424) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.06.20)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 창원대학교 산학협력단 대한민국 경상남도 창원시 의창구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조영태 대한민국 대전광역시 중구
2 정윤교 대한민국 경상남도 창녕군
3 정연호 대한민국 경상남도 김해시 대청로***번길 **
4 신승항 대한민국 경상남도 창원시 성산구
5 최현민 대한민국 경상남도 김해시 분성로 **

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인가산 대한민국 서울 서초구 남부순환로 ****, *층(서초동, 한원빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 창원대학교 산학협력단 경상남도 창원시 의창구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.06.20 수리 (Accepted) 1-1-2017-0588564-42
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2017.06.28 수리 (Accepted) 1-1-2017-0620126-10
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2017.07.17 수리 (Accepted) 1-1-2017-0680622-39
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.07.19 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.08.09 수리 (Accepted) 9-1-2017-0025802-74
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.08.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0579912-74
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.10.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-1043122-27
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.10.23 수리 (Accepted) 1-1-2017-1043123-73
9 등록결정서
Decision to grant		 2018.01.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0068030-13
10 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2018.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2018-1186037-43
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.04 수리 (Accepted) 4-1-2019-5229792-25
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.03.30 수리 (Accepted) 4-1-2020-5073723-40
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제1폭 및 제1두께를 갖는 제1기판을 제공하는 단계;상기 제1기판을 인장시켜, 제2폭 및 제2두께를 갖는 제2기판을 제공하는 단계;상기 제2기판 상에 형성하고자 하는 패턴의 물질로 이루어지는 베이스층을 형성하는 단계;상기 베이스층의 일정 영역을 제거하여, 상기 제2기판 상에 제1선폭 및 제1높이를 포함하는 제1패턴을 형성하는 단계; 및상기 제2기판에 가해진 인장력을 제거하여 상기 제1기판으로 회복함으로써, 상기 제1기판 상에 제2선폭 및 제2높이를 포함하는 제2패턴을 형성하는 단계;를 포함하며,상기 제1기판은 전사용 기판이고,상기 전사용 기판 상의 상기 제2패턴을 베이스 부재 상에 전사시키는 단계를 더 포함하는 패턴의 제조방법
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서,상기 제1기판을 인장시키는 것은, 상기 제1기판을 제1기판의 폭방향으로 인장하는 것인 패턴의 제조방법
4 4
제 1 항에 있어서,상기 제2폭은 상기 제1폭 보다 크고, 상기 제2두께는 상기 제1두께보다 작은 것을 특징으로 하는 패턴의 제조방법
5 5
제 1 항에 있어서,상기 제1기판은 탄성변형이 가능한 기판인 것을 특징으로 하는 패턴의 제조방법
6 6
제 1 항에 있어서,상기 제2기판 상에 제1선폭 및 제1높이를 포함하는 제1패턴을 형성하는 단계는,철(凸)부와 요(凹)부를 포함하는 제3기판을 제공하는 단계; 상기 제3기판의 상기 철(凸)부와 상기 제2기판 상의 상기 베이스층이 상호 접촉하도록 배치하는 단계; 및 상기 제3기판의 상기 철(凸)부에 상기 베이스층의 일정 영역을 전사하여, 상기 제3기판의 상기 철(凸)부에 더미패턴을 형성하고, 상기 베이스층 중 전사되지 않고 잔존하는 영역에 의하여, 상기 제2기판 상에 제1패턴을 형성하는 것인 패턴의 제조방법
7 7
제 1 항에 있어서,상기 제2기판에 가해진 인장력을 제거하여 상기 제1기판으로 회복함으로써, 상기 제1기판 상에 제2선폭 및 제2높이를 포함하는 제2패턴을 형성하는 단계는,상기 제1선폭이 수축되어 상기 제2선폭으로 감소되고,상기 제1선폭이 상기 제2선폭으로 수축되면서, 상기 제1높이는 상기 제2높이로 증가하는 것을 특징으로 하는 패턴의 제조방법
8 8
기판을 인장시켜, 상기 인장된 기판 상에 베이스층을 형성하는 단계: 상기 베이스층의 일정 영역을 제거하여, 상기 인장된 기판 상에, 제1선폭과 제1높이를 포함하는 제1패턴을 형성하는 단계; 및상기 인장된 기판을 수축하여, 상기 수축된 기판 상에 제2선폭과 제2높이를 포함하는 제2패턴을 형성하는 단계를 포함하며,상기 수축된 기판은 전사용 기판이고,상기 전사용 기판 상의 상기 제2패턴을 베이스 부재 상에 전사시키는 단계를 더 포함하는 패턴의 제조방법
9 9
삭제
10 10
제 8 항에 있어서,상기 베이스층의 일정 영역을 제거하여, 상기 인장된 기판 상에, 제1선폭과 제1높이를 포함하는 제1패턴을 형성하는 단계는,철(凸)부와 요(凹)부를 포함하는 제3기판을 제공하는 단계; 상기 제3기판의 상기 철(凸)부와 상기 기판 상의 상기 베이스층이 상호 접촉하도록 배치하는 단계; 및 상기 제3기판의 상기 철(凸)부에 상기 베이스층의 일정 영역을 전사하여, 상기 제3기판의 상기 철(凸)부에 더미패턴을 형성하고, 상기 베이스층 중 전사되지 않고 잔존하는 영역에 의하여, 상기 기판 상에 제1패턴을 형성하는 것인 패턴의 제조방법
11 11
제 8 항에 있어서,상기 인장된 기판을 수축하여, 상기 수축된 기판 상에 제2선폭과 제2높이를 포함하는 제2패턴을 형성하는 단계는,상기 제1선폭이 수축되어 상기 제2선폭으로 감소되고,상기 제1선폭이 상기 제2선폭으로 수축되면서, 상기 제1높이는 상기 제2높이로 증가하는 것을 특징으로 하는 패턴의 제조방법
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US10800156 US 미국 FAMILY
2 US20200101716 US 미국 FAMILY
3 WO2018236118 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2020101716 US 미국 DOCDBFAMILY
2 WO2018236118 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 (재)경남테크노파트 산업기술혁신사업-2016년도 나노금형기반 맞춤형 융합제품 상용화지원센터 구축 사업 나노금형기반 맞춤형 융합제품 상용화지원센터 구축
2 미래창조과학부 창원대학교 산학협력단 이공분야기초연구사업-중견연구자지원사업-중견연구(총연구비1.5억초과~3억이하) 탄성 변형을 이용한 신개념의 패턴 미세화 공정기술 개발
3 산업통상자원부 (주)피앤티 산업핵심기술개발사업 미세패턴/정밀중첩 패터닝이 가능한 롤투롤 연속 인쇄시스템 기술 개발
4 과학기술정보통신부 부산대학교 산학협력단 Grand ICT연구센터지원사업 IoT 및 지능정보 기반 동남권 제조 IT 기술 혁신 및 인재양성