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투명 기판의 제1 면 상에 투명성을 갖는 제1 후면전극을 증착하여 적층하는 단계;상기 제1 후면전극 상에 금속질화물층을 포함하는 제2 후면전극을 증착하여 적층하는 단계;상기 제1 후면전극 및 제2 후면전극을 포함하는 제1 적층 구조를 분리하기 위해 제1 레이저 스크라이빙을 수행하는 단계;상기 제2 후면전극 상에 금속 칼코게나이드를 포함하는 광흡수층을 증착하여 적층하는 단계;상기 제2 후면전극 및 상기 광흡수층을 포함하는 제2 적층 구조를 분리하기 위해, 상기 투명 기판의 제1 면과 마주보는 제2 면으로 레이저를 입사시켜 제2 레이저 스크라이빙을 수행하는 단계; 상기 광흡수층 상에 투명전극을 증착하여 적층하는 단계;상기 제2 후면전극, 상기 광흡수층 및 상기 투명전극을 포함하는 제3 적층 구조를 분리하기 위해, 상기 투명 기판의 제2 면으로 레이저를 입사시켜 제3 레이저 스크라이빙을 수행하는 단계; 및상기 광흡수층 상에 기판 입사 방식의 레이저를 입사시켜 제4 레이저 스크라이빙을 수행하는 단계를 더 포함하고,상기 제4 레이저 스크라이빙을 상기 제1 내지 제3 레이저 스크라이빙에 수직으로 적용하고,상기 제1 후면전극 및 제2 후면전극 사이에 배치된 계면접착층을 더 포함하고,상기 계면접착층은 Mo, W, 크롬(Cr), 니켈(Ni) 및 Ti 중 선택된 하나 이상을 포함하는, 박막 태양전지 모듈 구조의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 금속질화물층은 하기 화학식 1로 표시되는 금속질화물을 포함하는, 박막 태양전지 모듈 구조의 제조 방법:003c#화학식 1003e#Mx(CyN1-y)1-x상기 화학식 1에서, 0
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제1항에 있어서,상기 제2 레이저 스크라이빙을 수행하는 단계 및 상기 제3 레이저 스크라이빙을 수행하는 단계는, 상기 제2 후면전극을 희생층으로 사용하는, 박막 태양전지 모듈 구조의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 제1 내지 제3 레이저 스크라이빙은 펄스폭이 0
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제1항에 있어서,상기 광흡수층 상에 투명전극을 증착하여 적층하는 단계 대신, 상기 광흡수층 상에 보조층을 증착하여 적층하는 단계; 및상기 보조층 상에 투명전극을 증착하여 적층하는 단계를 포함하고,상기 제2 적층 구조는 상기 제2 후면전극, 상기 광흡수층 및 상기 보조층을 포함하며, 상기 제3 적층 구조는 상기 제2 후면전극, 상기 광흡수층, 상기 보조층 및 상기 투명전극을 포함하는, 박막 태양전지 모듈 구조의 제조 방법
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제5항에 있어서,상기 보조층은 버퍼층 또는 고저항 윈도우층 중 하나 이상의 층을 포함하는, 박막 태양전지 모듈 구조의 제조 방법
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제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 따른 제조 방법에 의해 제조되는 박막 태양전지 모듈 구조로서,투명 기판;상기 투명 기판 상에 적층되고, 투명성을 갖는 제1 후면전극;상기 제1 후면전극 상에 적층되고, 금속질화물층을 포함하는 제2 후면전극;상기 제2 후면전극 상에 적층되고, 금속 칼코게나이드를 포함하는 광흡수층; 및상기 광흡수층 상에 적층되는 투명전극;을 포함하고,상기 제1 후면전극과 제2 후면전극 사이에 배치된 계면접착층을 더 포함하고,상기 계면접착층은 Mo, W, 크롬(Cr), 니켈(Ni) 및 Ti 중 선택된 하나 이상을 포함하고,상기 계면접착층의 두께는 1 내지 50 nm이고,상기 제1 후면전극 및 상기 제2 후면전극을 포함하는 제1 적층 구조 중 적어도 일 부분은, 상기 제1 적층 구조의 적층 방향과 수직인 제1 방향으로 분리되고, 상기 제2 후면전극 및 상기 광흡수층을 포함하는 제2 적층 구조 중 적어도 일 부분은 상기 제1 방향으로 분리되고,상기 제2 후면전극, 상기 광흡수층 및 상기 투명전극을 포함하는 제3 적층 구조 중 적어도 일 부분은 상기 제1 방향으로 분리된, 박막 태양전지의 모듈 구조
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제7항에 있어서,상기 제1 후면전극과 상기 투명전극은, 상기 제2 적층 구조가 분리된 부분에서 직렬 연결되는, 박막 태양전지의 모듈 구조
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제7항에 있어서,상기 광흡수층과 투명전극 사이에 배치된 보조층을 더 포함하고, 상기 제2 적층 구조는 상기 제2 후면전극, 상기 광흡수층 및 상기 보조층을 포함하며, 상기 제3 적층 구조는 상기 제2 후면전극, 상기 광흡수층, 상기 보조층 및 상기 투명전극을 포함하는, 박막 태양전지의 모듈 구조
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제9항에 있어서,상기 보조층은 버퍼층 또는 고저항 윈도우층 중 하나 이상의 층을 포함하는, 박막 태양전지의 모듈 구조
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제7항에 있어서,상기 제1 후면전극은 가시광 또는 근적외선 대역에서 광흡수도가 20% 이하이고, 비저항이 1 × 10-2 Ω·cm 이하인 물질을 포함하는, 박막 태양전지의 모듈 구조
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제7항에 있어서,상기 제1 후면전극은 인듐(In)의 산화물, 아연(Zn)의 산화물, 주석(Sn)의 산화물 중 선택된 하나 이상을 포함하는 투명전도산화물(TCO), 상기 TCO와 금속층 또는 나노와이어층 및 TCO로 구성된 다층구조 투명전극, 및 그래핀, 카본나노튜브 중 하나 이상을 포함하는 카본소재가 분산된 투명전극 중에서 선택된 하나 이상을 포함하는, 박막 태양전지의 모듈 구조
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제7항에 있어서,상기 금속질화물층은 하기 화학식 1로 표시되는 금속질화물을 포함하는, 박막 태양전지의 모듈 구조:003c#화학식 1003e#Mx(CyN1-y)1-x상기 화학식 1에서, 0
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제7항에 있어서,상기 제1 후면전극의 두께는 100 내지 2000 nm이고, 상기 제2 후면전극의 두께는 1 내지 200 nm인, 박막 태양전지의 모듈 구조
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제7항에 있어서,상기 제2 후면전극과 광흡수층 사이에 배치된 옴 접촉(ohmic contact)층을 더 포함하는, 박막 태양전지의 모듈 구조
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제15항에 있어서,상기 옴 접촉층은 Mo, 금(Au), Mo의 산화물, W의 산화물, Ni의 산화물, ITO, 및 FTO 중 선택된 하나 이상을 포함하는, 박막 태양전지의 모듈 구조
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제15항에 있어서,상기 옴 접촉층의 두께는 1 내지 50 nm인, 박막 태양전지의 모듈 구조
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제7항에 있어서,상기 광흡수층은 구리(Cu) 또는 은(Ag) 중 선택된 하나 이상, 인듐(In), 갈륨(Ga), 알루미늄(Al), 아연(Zn), 및 주석(Sn) 중 선택된 하나 이상, 및셀레늄(Se) 또는 황(S) 중 선택된 하나 이상을 포함하는, 박막 태양전지의 모듈 구조
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