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초소형 전자 칼럼의 전자렌즈용 전극 제조 방법

  • 기술번호 : KST2019035895
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전자빔을 생성하는 초소형 전자칼럼(micro-column)장치의 전자렌즈를 만들기 위한 전극 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 다마신 공정으로 전자렌즈의 전극을 제작하여 광학적 특성이 우수한 전자렌즈를 만들 수 있도록 하는 것이다.
Int. CL H01J 37/147 (2006.01.01) H01J 37/141 (2006.01.01) G03F 5/24 (2006.01.01) G03F 7/26 (2006.01.01)
CPC H01J 37/147(2013.01) H01J 37/147(2013.01) H01J 37/147(2013.01) H01J 37/147(2013.01)
출원번호/일자 1020160023760 (2016.02.26)
출원인 선문대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1741599-0000 (2017.05.24)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20170531) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.02.26)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 선문대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 아산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김 호 섭 대한민국 인천 서구
2 오태식 대한민국 충청남도 천안시 동남구
3 김대욱 대한민국 경기도 성남시 분당구
4 안승준 대한민국 대전광역시 서구
5 김형우 대한민국 서울특별시 광진구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아이엠 대한민국 서울특별시 강남구 봉은사로 ***, ***호 (역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 선문대학교 산학협력단 충청남도 아산시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.02.26 수리 (Accepted) 1-1-2016-0193857-26
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.11.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.01.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0006177-38
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.01.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0000219-07
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.03.02 수리 (Accepted) 1-1-2017-0209294-86
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.03.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0209295-21
7 등록결정서
Decision to grant
2017.05.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0344287-91
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.26 수리 (Accepted) 4-1-2019-5169188-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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전자렌즈용 전극을 제조하는 방법에 있어서, 상기 제조 방법이마스크를 이용하여 기판의 일부 영역을 상기 전극의 홀의 크기보다 같거나 크게 하여 노광하는 단계,상기 기판의 노광된 부분의 중심을 상기 전극 홀의 중심에 대응하여 상기 기판 상에 전자렌즈 전극의 형상에 따라 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계,상기 포토레지스트 패턴 상부와 상기 포토레지스트 패턴이 형성되지 않은 상기 기판 상부를 포함하여 시드층을 형성하는 단계,상기 시드층을 이용하여 상기 포토레지스트 패턴 상부보다 높게 도금층을 형성하는 단계,상기 기판 상에 형성된 포토레지스트 패턴 상부에 형성된 시드층과 도금층이 완전히 제거되고 그리고 상기 기판 상에 형성된 포토레지스트의 상부 일부가 제거되도록, 상기 기판 상에 형성된 포토레지스트 패턴과 상기 기판상에 형성된 도금층의 상부를 평탄화 하는 단계, 그리고평탄화된 포토레지스트 패턴과 기판의 노광된 부분을 제거하는 단계,를 포함하는 전자렌즈용 전극 제조 방법
2 2
제1항에 있어서,포토레지스트 패턴을 형성할 때 외부로의 전기 연결을 위한 전기배선패턴을 같이 하는 것,을 특징으로 하는 전자렌즈용 전극제조 방법
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 기판은 감광성 유리기판(PSG: Photo Sensitive Glass)이고,상기 도금층은 구리 도금층이며, 그리고상기 전극제조 방법이 다마신 공정(DAMASCENE PROCESS)을 사용하는 것,을 특징으로 하는 전자렌즈용 전극제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통산자원부 선문대학교산학협력단 산업원천기술개발사업 EUV 마스크 actinic 검사장비 및 멀티 전자빔 웨이퍼 검사기술개발