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다중 광학계를 이용한 복합 검사장치

  • 기술번호 : KST2019035907
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 다중 광학계를 이용한 복합 검사장치에 관한 것으로서, 제 1 광학 측정 방식을 이용하여 물체의 3차원 형상을 측정하는 것으로서, 제 1 파장대역의 측정광을 시료에 조사하는 제 1 측정광 입력부와, 상기 제 1 파장대역의 측정광만을 선택적으로 투과시키는 제 1 광학필터와, 상기 제 1 광학필터를 통과한 제 1 파장대역 반사광 이미지를 획득하는 제 1 측정 시스템 및 상기 제 1 광학 측정 방식과 다른 제 2 광학 측정 방식을 이용하여 물체의 3차원 형상을 측정하는 것으로서, 제 2 파장대역의 측정광을 시료에 조사하는 제 2 측정광 입력부와, 상기 제 2 파장대역의 측정광만을 선택적으로 투과시키는 제 2 광학필터와, 상기 제 2 광학필터를 통과한 제 2 파장대역 반사광 이미지를 획득하는 제 2 측정 시스템을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 동시에 여러 종류의 광학 검사장치를 동시에 구동할 수 있어 검사속도가 현저하게 향상되고, 구성이 간단하여 제조단가 측면에서 매우 우수한 검사장치를 제공할 수 있어 3차원 광학식 형상 검사장치 시장이 보다 활성화될 수 있을 것으로 기대된다.
Int. CL G01B 11/25 (2006.01.01) G01N 21/17 (2006.01.01)
CPC G01B 11/254(2013.01) G01B 11/254(2013.01) G01B 11/254(2013.01) G01B 11/254(2013.01)
출원번호/일자 1020160062278 (2016.05.20)
출원인 주식회사 미르기술, 선문대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1846949-0000 (2018.04.03)
공개번호/일자 10-2017-0131085 (2017.11.29) 문서열기
공고번호/일자 (20180409) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.05.20)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 미르기술 대한민국 경기도 군포시 고산로 ***, 제*
2 선문대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 아산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김기영 대한민국 경기도 군포시 고산로 ***, *
2 윤종극 대한민국 경기도 군포시 고산로 ***, *
3 유상혁 대한민국 경기도 군포시 고산로 ***, *
4 박윤창 대한민국 충청남도 천안시 서북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유한) 해담 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***, **층 *호(역삼동, 송촌빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 미르기술 경기도 군포시 고산로 ***, 제*
2 선문대학교 산학협력단 충청남도 아산시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.05.20 수리 (Accepted) 1-1-2016-0487357-72
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2016.05.25 수리 (Accepted) 1-1-2016-0500453-19
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.02.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.04.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0059653-69
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.04.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0289479-25
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.06.22 수리 (Accepted) 1-1-2017-0598378-35
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.07.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0711175-48
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.07.24 수리 (Accepted) 1-1-2017-0711159-17
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.09.19 수리 (Accepted) 4-1-2017-5151473-45
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0830175-08
11 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
2017.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2017-1309339-99
12 법정기간연장승인서
2018.01.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0004667-33
13 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2018.01.29 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-0101560-62
14 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.01.29 수리 (Accepted) 1-1-2018-0101537-11
15 등록결정서
Decision to Grant Registration
2018.02.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0111246-66
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.02.18 수리 (Accepted) 4-1-2019-5030972-36
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.26 수리 (Accepted) 4-1-2019-5169188-72
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2020-5136355-52
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제 1 파장대역의 측정광을 시료에 조사하는 제 1 측정광 입력부와, 상기 제 1 파장대역의 측정광만을 선택적으로 투과시키는 제 1 광학필터, 상기 제 1 광학필터를 통과한 제 1 파장대역 반사광 이미지를 획득하는 제 1 측정 시스템과,상기 제1 측정 시스템과 다른 광학 방식을 갖는 것으로서, 상기 제1 측정광 입력부와 동시에 상기 시료로 제 2 파장대역의 측정광을 조사하는 제 2 측정광 입력부와, 상기 제 2 파장대역의 측정광만을 선택적으로 투과시키는 제 2 광학필터와, 상기 제 2 광학필터를 통과한 제 2 파장대역 반사광 이미지를 획득하는 제 2 측정 시스템 및,상기 제1 측정 시스템으로부터 제공되는 제1 파장대역의 이미지를 제1 광학 측정방식의 알고리즘을 이용하여 시료에 대한 3차원 형상을 측정하고, 상기 제2 측정 시스템으로부터 제공되는 제2 파장대역의 이미지를 제1 광학측정방식의 알고리즘과 다른 제2 광학 측정방식의 알고리즘을 이용하여 시료에 대한 3차원 형상을 측정함으로써, 하나의 시료에 대해 제1 측정 시스템과 제2 측정 시스템으로부터 서로 다른 측정 알고리즘에 의한 3차원 형상을 동시에 획득하고, 시료의 광학 특성에 따라 어느 하나의 광학 측정 알고리즘에 의한 3차원 형상을 선택적으로 사용하는 측정 단말을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 다중 광학계를 이용한 복합 검사장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 광학 측정 방식과 다른 제 3 광학 측정 방식을 이용하여 물체의 3차원 형상을 측정하는 것으로서, 제 3 파장대역의 측정광을 시료에 조사하는 제 3 측정광 입력부와, 상기 제 3 파장대역의 측정광만을 선택적으로 투과시키는 제 3 광학필터와, 상기 제 3 광학필터를 통과한 제 3 파장대역 반사광 이미지를 획득하는 제 3 측정 시스템을 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 광학계를 이용한 복합 검사장치
3 3
제 1 항에 있어서,제 1 파장대역의 제 1 측정광을 시료에 조사하는 제 1 측정광 입력부;제 2 파장대역의 제 2 측정광을 시료에 조사하는 제 2 측정광 입력부; 및상기 시료에서 반사된 이미지를 획득한 후, 제 1 파장대역의 이미지와 제 2 파장대역의 이미지를 분리하여 출력하는 영상 획득부를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 광학계를 이용한 복합 검사장치
4 4
삭제
5 5
제 3 항에 있어서,제 3 파장대역의 제 3 측정광을 시료에 조사하는 제 3 측정광 입력부가 더 포함되고,상기 영상 획득부는 상기 시료에서 반사된 이미지를 획득한 후, 제 1 파장대역의 이미지, 제 2 파장대역의 이미지 및 제 3 파장대역의 이미지를 분리하여 출력하고,상기 측정단말은 제 1 ~ 3 광학 측정방식의 알고리즘을 이용하여 상기 제 1 ~ 3 파장대역의 이미지로부터 시료의 3차원 형상을 분석하는 것을 특징으로 하는 다중 광학계를 이용한 복합 검사장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 ㈜ 미르기술 산업핵심기술개발사업 대면적 복합 적층형 Sip(System in Package) 공정 검사 장비 개발