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상부플레이트;상기 상부플레이트의 하부에 구비되며 상기 상부플레이트의 진동을 방지하는 복수의 에어댐퍼;상기 상부플레이트의 상부에 고정되는 카메라고정부; 및상기 카메라고정부 또는 상기 상부플레이트에 연결되며 높이 방향으로 연장 형성되고 단부에 질량체가 구비된 진자를 포함하고,상기 진자는,상기 상부플레이트의 진동 주기와 동일한 주기를 갖고 상기 상부플레이트의 진동 위상과 역상을 갖는 것을 특징으로 하는 진동방지기능을 갖는 정밀계측장치
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상부플레이트;상기 상부플레이트의 하부에 구비되며 상기 상부플레이트의 진동을 방지하는 복수의 에어댐퍼;상기 상부플레이트의 상부에 고정되는 카메라고정부;상기 상부플레이트의 상부에 고정되는 진자고정부; 및상기 진자고정부에 연결되며 높이 방향으로 연장 형성되고 단부에 질량체가 구비된 진자를 포함하고,상기 진자는 상기 상부플레이트를 높이방향으로 관통하도록 위치되고,상기 상부플레이트의 진동 주기와 동일한 주기를 갖고 상기 상부플레이트의 진동 위상과 역상을 갖는 것을 특징으로 하는 진동방지기능을 갖는 정밀계측장치
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 에어댐퍼는,탄성체가 구비되는 방진마운트를 포함하는 것을 특징으로 하는 진동방지기능을 갖는 정밀계측장치
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 에어댐퍼의 하부에 구비되는 하부 플레이트를 더 포함하고,상기 진자는 상기 하부 플레이트를 높이 방향으로 관통하도록 위치되는 것을 특징으로 하는 진동방지기능을 갖는 정밀계측장치
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 카메라고정부는,내부에 수용부가 구비되어 계측 장치가 수용 가능한 카메라수용부; 및상기 카메라 수용부의 일측에 결합되는 고정지그를 포함하는 것을 특징으로 하는 진동방지기능을 갖는 정밀계측장치
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제 5항에 있어서,상기 고정지그의 하부는 상기 카메라고정부와 수평방향 회전이 가능하도록 힌지결합 되는 것을 특징으로 하는 진동방지기능을 갖는 정밀계측장치
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제 5항에 있어서,상기 카메라수용부의 양 측은 상기 고정지그와 상하 각도조절이 가능하도록 힌지결합 되는 것을 특징으로 하는 진동방지기능을 갖는 정밀계측장치
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제 5항에 있어서,상기 카메라고정부는, 상기 카메라수용부 및 상기 고정지그의 외측 일부를 감싸도록 구비되는 커버프레임을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진동방지기능을 갖는 정밀계측장치
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상부플레이트;상기 상부플레이트의 하부에 구비되며 상기 상부플레이트의 진동을 방지하는 복수의 에어댐퍼; 및상기 상부플레이트에 연결되며 높이 방향으로 연장 형성되고 단부에 질량체가 구비된 진자를 포함하되,상기 진자는 상기 상부플레이트의 진동 주기와 동일한 주기를 가지며,상기 상부플레이트가 진동하는 경우 상기 복수의 에어댐퍼가 공기의 압축력에 의해 외부 진동이 상기 상부플레이트에 전달되는 것을 방지하고, 상기 진자가 상기 상부플레이트의 진동에 의해 상기 상부플레이트의 진동 위상과 역상을 가지며 동일한 주기로 운동하여 상기 상부플레이트의 진동을 감소시키는 것을 특징으로 하는 진동방지 계측시스템
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