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측정 정밀도와 파면 측정범위가 반비례함으로 인해 넓은 파면 측정범위가 요구되는 경우에는 측정 정밀도의 손실을 감수하면서 짧은 초점거리의 미소렌즈를 사용해야 하고, 높은 측정 정밀도가 요구되는 경우에는 파면 측정범위가 좁아지는 긴 초점거리의 미소렌즈를 사용해야 하는 한계가 있는 데 더하여, 사용되는 미소렌즈의 개수에 의해 공간 분해능(spatial resolution)이 제한됨으로 인해 공간 해상도가 낮아지게 되는 단점이 있었던 종래기술의 파면측정기들의 문제점을 해결하기 위한 미소렌즈 배열의 구성방법에 있어서, 미소렌즈 배열의 패턴을 결정하는 단계; 결정된 상기 패턴에 따라 복수의 미소렌즈를 미리 정해진 일정 간격으로 배열하여 패턴을 형성하는 단계; 및 측정 가능한 국부 파면 기울기가 최대가 되도록 각각의 미소렌즈들 사이의 간격을 조정하는 단계를 포함하여 구성됨으로써, 높은 측정 정밀도와 넓은 측정범위를 동시에 확보하여 측정 정밀도와 측정범위 사이의 반비례 관계에서 발생하는 상호 절충에 대한 고려가 필요 없도록 구성되는 동시에, 파면측정기의 공간해상도를 높일 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 미소렌즈 배열의 구성방법
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제 1항에 있어서, 상기 미소렌즈 배열의 패턴을 결정하는 단계는, 요구되는 측정 정밀도와 측정 범위에 근거하여 상기 미소렌즈 배열의 패턴을 결정하는 처리가 수행되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 미소렌즈 배열의 구성방법
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제 2항에 있어서, 상기 미소렌즈 배열의 패턴은, 직교(orthogonal) 배열, 원형 배열, 나선 배열, 육각(hexagonal) 배열 중 하나로 구성되는 것을 특징으로 하는 미소렌즈 배열의 구성방법
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제 3항에 있어서, 상기 미소렌즈들 사이의 간격을 조정하는 단계는, 이하의 수학식을 이용하여, 측정 가능한 국부 파면 기울기가 최대가 되도록 각각의 상기 미소렌즈들 사이의 간격을 조정하는 처리가 수행되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 미소렌즈 배열의 구성방법
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제 4항에 있어서, 상기 방법은, 원하는 미소렌즈들에만 선택적으로 파면이 통과하도록 하기 위해 상기 미소렌즈 배열의 앞에 마스크 패턴을 장착하는 단계를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 미소렌즈 배열의 구성방법
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측정 정밀도와 파면 측정범위가 반비례함으로 인해 넓은 파면 측정범위가 요구되는 경우에는 측정 정밀도의 손실을 감수하면서 짧은 초점거리의 미소렌즈를 사용해야 하고, 높은 측정 정밀도가 요구되는 경우에는 파면 측정범위가 좁아지는 긴 초점거리의 미소렌즈를 사용해야 하는 한계가 있는 데 더하여, 사용되는 미소렌즈의 개수에 의해 공간 분해능(spatial resolution)이 제한됨으로 인해 공간 해상도가 낮아지게 되는 단점이 있었던 종래기술의 파면측정기들의 문제점을 해결하기 위한 파면측정기에 있어서, 청구항 1항 내지 청구항 5항 중 어느 한 항에 기재된 미소렌즈 배열의 구성방법을 이용하여, 복수의 미소렌즈가 미리 정해진 일정 간격으로 배치되어 이루어지는 미소렌즈 배열 모듈; 상기 미소렌즈 배열 모듈을 이송하기 위한 이송장치 모듈; 및 상기 미소렌즈 배열 모듈을 통하여 전달된 영상이 결상되는 2차원 영상센서를 포함하여 구성되며, 상기 미소렌즈 배열 모듈을 상기 이송장치 모듈 위에 장착하고, 측정 구경 전체에 대한 파면 측정을 위해 상기 측정 구경 범위 안에서 요구되는 공간 해상도에 맞추어 상기 이송장치 모듈의 이송간격(스탭)을 조절한 후 스캔하는 것에 의해 입사된 파면 정보를 구할 수 있도록 구성됨으로써, 측정범위를 증가시키는 동시에 공간 해상도를 높일 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 파면측정기
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제 6항에 있어서, 상기 이송장치 모듈은, 3축(X, Y, Z) 또는 다축 이송이 가능한 이송장치를 이용하여 구성되는 것을 특징으로 하는 파면측정기
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제 7항에 있어서, 상기 파면측정기는, 3축 이송이 가능한 이송장치 사용시, 측정 파면과 나란한 X축 방향 및 Y축 방향에 대하여 스캔이 이루어지고, Z축 방향은 상기 미소렌즈의 초점길이 조절을 위해 선택적으로 사용되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 파면측정기
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제 8항에 있어서, 상기 이송장치 모듈은, 선형(raster), 원형(circular), 나선형(spiral), 또는, 측정 구경의 형태에 따라 임의의 방향에 대하여 상기 미소렌즈 배열 모듈을 이송 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 파면측정기
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