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변형거울을 이용한 광학면 측정 방법 및 장치

  • 기술번호 : KST2019036244
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 자유곡면을 포함한 비구면 광학면의 형상을 측정하기 위해 변형거울을 이용한 광학면 측정 방법 및 장치에 관한 것으로서, 왜곡없는 광파면을 형성하는 시준광원; 상기 시준광원으로부터 생성된 광파면의 일부는 반사시키고 일부는 투과시키는 빔스플리터; 상기 빔스프리터에 의해 반사된 광파면을 측정 광학면의 형상에 대응하도록 파면을 변형시키는 변형거울; 상기 측정 광학면의 형상이 오목할 경우에는 파면을 발산시키고 볼록할 경우에는 파면을 수렴시키기 위한 렌즈; 측정 광학면에서 반사되어 입사되는 파면을 수신하여 잔여 파면오차를 측정하는 파면센서; 및 상기 변형거울과 연결되고 상기 측정 광학면으로부터 측정된 광학면에 대응하도록 상기 변형거울 반사면의 변형을 제어하고, 상기 파면센서로부터 측정된 잔여 파면오차를 변형거울 변형정보에 가산하여 상기 측정 광학면의 형태를 계산하는 제어부;를 포함하여 구성되어 실시간으로 측정이 가능하며 새로운 비구면 광학면 측정시 마다 측정용 광학소자를 제작해야 하는 번거로움을 없앤 효과가 있다.
Int. CL G02B 7/185 (2006.01.01) G02B 27/14 (2006.01.01)
CPC G02B 7/185(2013.01) G02B 7/185(2013.01)
출원번호/일자 1020160130113 (2016.10.07)
출원인 한국 천문 연구원
등록번호/일자 10-1763907-0000 (2017.07.26)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20170801) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.10.07)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국 천문 연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 나자경 대한민국 대전광역시 유성구
2 남욱원 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김정수 대한민국 서울시 송파구 올림픽로 ***(방이동) *층(이수국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국 천문 연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.10.07 수리 (Accepted) 1-1-2016-0974989-07
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2016.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2016-1285976-65
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.01.03 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.01.24 수리 (Accepted) 9-1-2017-0002256-61
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.03.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0157587-41
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.04.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0404393-72
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.04.25 수리 (Accepted) 1-1-2017-0404392-26
8 등록결정서
Decision to grant
2017.07.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0507273-86
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.04.06 수리 (Accepted) 4-1-2018-5061983-19
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.04.06 수리 (Accepted) 4-1-2018-5061990-39
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.04.06 수리 (Accepted) 4-1-2018-5061989-93
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.04.06 수리 (Accepted) 4-1-2018-5061979-36
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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변형 없는 광파면을 형성하는 시준광원; 상기 시준광원으로부터 생성된 광파면의 일부는 반사시키고 일부는 투과시키는 빔스플리터; 상기 빔스프리터에 의해 반사된 광파면을 측정 광학면의 형상에 대응하도록 반사면을 변형시키는 변형거울; 상기 광학면이 오목할 경우에는 파면을 발산시키고 볼록할 경우에는 파면을 수렴시키는 렌즈; 측정 광학면에서 반사되어 입사되는 파면을 수신하여 잔여 파면오차를 측정하는 파면센서; 상기 변형거울과 연결되고 측정 광학면에 대응하도록 상기 변형거울의 반사면 변형을 제어하고, 상기 파면센서로부터 측정된 잔여 파면오차를 변형거울 변형정보에 가산하여 상기 측정 광학면의 형태를 측정하는 제어부; 를 포함하며,상기 제어부는 상기 변형거울 반사면의 형상을 나타내는 제르니케 다항식의 차수와 계수값을 순차적 조합으로 바꾸면서, 파면센서가 측정한 잔류 파면 오차가 최소화되는 제르니케 다항식의 차수와 계수값 조합을 찾는 것을 이용하여 상기 변형거울의 반사면 변형을 제어하는 변형거울을 이용한 광학면 측정 장치
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삭제
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변형 없는 광파면을 형성하는 단계; 상기 광파면을 측정 광학면의 형상에 대응하도록 변형거울의 반사면을 변형시키고 변형된 반사면의 변형정보로 저장하는 단계; 상기 변형거울의 변형된 변형면에 상기 광파면을 반사시키는 단계; 상기 측정 광학면의 형상이 오목할 경우에는 파면을 발산시키고 볼록할 경우에는 파면을 수렴시키는 단계; 측정 광학면에서 반사되어 입사되는 파면을 수신하여 상기 변형거울이 대응하지 못한 잔여 파면오차를 측정하는 단계; 상기 측정된 잔여 파면오차를 상기 변형거울 변형정보에 가산하여 상기 측정 광학면의 형태를 측정하는 단계;를 포함하는 변형거울을 이용한 광학면 측정 방법
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제3항에 있어서, 상기 변형거울을 변형시키는 단계는,곡률반경, 곡률상수와 같은 기하학적 정보를 이용하여 상기 측정 광학면의 형상에 대응하도록 제르니케 다항식의 차수와 계수값을 설정하여 상기 변형거울의 반사면을 변형시키는 제1 변형과정;상기 변형거울 반사면의 형상을 나타내는 제르니케 다항식의 차수와 계수값을 순차적 조합으로 바꾸면서, 파면센서가 측정한 잔류 파면 오차가 최소화되는 제르니케 다항식의 차수와 계수값 조합을 찾는 제2 변형과정; 중 어느 하나의 과정을 이용하여 변형시키는 것인 변형거울을 이용한 광학면 측정 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국천문연구원 한국천문연구원연구운영비지원 중소기업기술협력 및 성과확산