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초점가변 검경으로 구성된 자동검사시스템의 객담 도말시료 검사 방법

  • 기술번호 : KST2019036250
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 초점가변 검경으로 구성된 자동검사시스템의 객담 도말시료 검사 방법에 관한 것으로, 적어도 하나 이상의 샘플 검사시료내의 개체분포 검사를 토대로 실제 검사시료의 깊이방향 검사범위에 대한 통계정보를 도출하는 단계 및 상기 통계정보를 반영하여 실제 검사시료에 대하여 상기 통계정보에 따른 깊이방향의 두께만큼 초점가변 렌즈의 초점을 이동하며 개체를 검출하는 단계를 포함한다.
Int. CL G02B 21/24 (2006.01.01) G01N 21/01 (2006.01.01)
CPC G02B 21/241(2013.01) G02B 21/241(2013.01)
출원번호/일자 1020170147708 (2017.11.08)
출원인 한국 천문 연구원
등록번호/일자 10-1882696-0000 (2018.07.23)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20180727) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.11.08)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국 천문 연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 나자경 대전광역시 유성구
2 남욱원 대전광역시 유성구
3 강용우 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장한특허법인 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로 ***, **층 (서초동, 서초지웰타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국 천문 연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2017.11.08 수리 (Accepted) 1-1-2017-1105989-16
2 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.11.08 수리 (Accepted) 1-1-2017-1105945-18
3 보정요구서
Request for Amendment
2017.11.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0165315-29
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2017.12.11 수리 (Accepted) 1-1-2017-1228956-16
5 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search
2017.12.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2017.12.15 수리 (Accepted) 9-1-2017-0046642-02
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.12.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0912385-80
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.02.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0204927-52
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2018-0204923-70
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.04.06 수리 (Accepted) 4-1-2018-5061983-19
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.04.06 수리 (Accepted) 4-1-2018-5061979-36
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.04.06 수리 (Accepted) 4-1-2018-5061989-93
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.04.06 수리 (Accepted) 4-1-2018-5061990-39
14 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.05.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0370352-50
15 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.07.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0657530-32
16 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.07.04 수리 (Accepted) 1-1-2018-0657526-59
17 등록결정서
Decision to grant
2018.07.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0493923-16
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
적어도 하나 이상의 샘플 검사시료내의 개체분포 검사를 토대로 실제 검사시료의 깊이방향 검사범위에 대한 통계정보를 도출하는 단계; 및상기 통계정보를 반영하여 실제 검사시료에 대하여 상기 통계정보에 따른 깊이방향의 두께만큼 초점가변 렌즈의 초점을 이동하며 개체를 검출하는 단계;를 포함하되,상기 통계정보를 도출하는 단계는,상기 샘플 검사시료에 대한 기준위치를 설정하고, 검사영역을 분할하는 단계;상기 기준위치와 검사영역에 따라 3차원 격자좌표를 할당하는 단계;상기 초점가변 렌즈의 초점이동을 통해 상기 샘플 검사시료 내에 분포하는 개체를 검출하는 단계;상기 개체를 검출하는 단계에서 검출된 개체의 3차원 격자좌표를 저장하는 단계; 및상기 검출된 개체의 3차원 격자좌표에 대한 통계정보를 도출하는 단계;를 포함하는 초점가변 검경으로 구성된 자동검사시스템의 객담 도말시료 검사 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 통계정보를 도출하는 단계 이전에,상기 초점가변 렌즈의 초점이동량과 상기 초점가변 렌즈의 초점이동을 제어하는 제어전류량을 토대로 상기 초점가변 렌즈를 제어하는 제어데이터를 설정하는 단계를 더 포함하는 초점가변 검경으로 구성된 자동검사시스템의 객담 도말시료 검사 방법
3 3
제2항에 있어서,상기 초점가변 렌즈를 제어하는 제어데이터를 설정하는 단계는,분해능 타겟을 수직방향으로 이동시키고, 상기 분해능 타겟이 선명하게 관찰되도록 상기 초점가변 렌즈에 전류를 인가하는 단계; 및상기 분해능 타겟의 수직 이동에 따라 선명하게 관찰되는 위치와 상기 초점가변 렌즈에 인가되는 전류를 순차적으로 측정하여 상기 초점이동량과 상기 제어전류량을 데이터화하여 제어데이터로 설정하는 단계;를 포함하는 초점가변 검경으로 구성된 자동검사시스템의 객담 도말시료 검사 방법
4 4
삭제
5 5
제1항에 있어서,상기 기준위치는 상기 샘플 검사시료의 평면에 대한 기준위치와 깊이방향에 대한 기준위치를 설정하는 초점가변 검경으로 구성된 자동검사시스템의 객담 도말시료 검사 방법
6 6
제1항에 있어서,상기 검출된 개체의 3차원 격자좌표에 대한 통계정보를 도출하는 단계 이전에,상기 샘플 검사시료에 대한 기준위치를 설정하고, 검사영역을 분할하는 단계부터 상기 개체를 검출하는 단계에서 검출된 개체의 위치를 할당된 상기 3차원 격자좌표로 저장하는 단계를 준비된 샘플 검사시료의 개수만큼 반복하는 초점가변 검경으로 구성된 자동검사시스템의 객담 도말시료 검사 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국천문연구원 천문우주연구지원사업 중소기업기술협력 및 성과확산