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인입(inlet) 경로를 통하여 유입되는 압축공기로부터 서로 다른 범위의 순도 및 유량의 질소가스를 발생하되, 산소 흡착제가 충진된 복수의 압력용기를 이용하여 PSA(Pressure Swing Adsorption) 방식에 따라 압축공기로부터 질소가스를 발생하는 적어도 하나의 제1 질소발생 모듈 시스템을 포함하는 복수의 질소발생 모듈 시스템;상기 복수의 질소발생 모듈 시스템의 배출(outlet) 경로에 결합되어 질소가스의 배출모드를 제어하기 위한 모드제어밸브 그룹; 및제1 배출모드에서는 상기 복수의 질소발생 모듈 시스템 중 적어도 하나에서 발생한 질소가스를 독립적으로 배출하고, 제2 배출모드에서는 상기 복수의 질소발생 모듈 시스템 중 적어도 2개에서 발생한 질소가스를 혼합하여 배출하도록, 상기 복수의 질소발생 모듈 시스템 및 상기 모드제어밸브 모듈을 제어함으로써, 배출되는 질소가스의 최종순도 및 최종유량을 제어하는, 컨트롤 모듈을 포함하며,상기 제1 질소발생 모듈 시스템은,서로 병렬로 연결되며, 각각이 서로 병렬로 연결된 복수의 하위 압력용기를 포함하며, 충진된 산소 흡착제를 이용한 산소흡착 및 충진된 산소 흡착제의 재생 동작을 상보적으로 수행하는 제1 및 제2 압력용기 그룹; 상기 제1 및 제2 압력용기 그룹의 동작 상태에 따라서, 상기 제1 및 제2 압력용기 그룹에 대한 인입 기능, 배기 기능, 및 평형 기능을 수행하는 인입단 밸브 그룹; 상기 제1 및 제2 압력용기 그룹의 동작 상태에 따라서, 상기 제1 및 제2 압력용기 그룹에 대한 질소 배출 기능 및 평형 기능을 수행하는 인출단 밸브 그룹; 및 상기 제1 및 제2 압력용기 그룹의 동작 상태와 무관하게, 상기 제1 및 제2 압력용기 그룹의 매칭되는 하위 압력용기 사이를 연결하는 미세 평형 경로 그룹을 포함하며,상기 컨트롤 모듈은, 상기 인입단 밸브 그룹 및 상기 인출된 밸브 그룹의 개폐를 제어하여, 상보적으로 산소 흡착 및 재생 동작을 수행할 하위 압력용기의 개수를 변경할 수 있는, 다채널 고순도 하이브리드 질소 발생기
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제1 항에 있어서, 상기 복수의 질소발생 모듈 시스템은,멤브레인(membrane) 모듈을 이용하여 지체 투과 원리에 따라 압축공기로부터 질소가스를 발생하는 제2 질소발생 모듈 시스템을 포함하는, 다채널 고순도 하이브리드 질소 발생기
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제1 항 또는 제2 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 압력용기 그룹 각각에 포함된 복수의 하위 압력용기 각각에는,인입 경로를 통하여 유입되는 압축공기를 용기단면 전체로 확산 상승시킴으로써, 압축공기에 의한 용기단면의 중앙부와 가장자리부의 압력 차이를 감소시키는 균압 모듈이 압축공기 주입구에서 일정거리 이격되어 몸체 내부에 장착되는 것을 특징으로 하는, 다채널 고순도 하이브리드 질소 발생기
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인입(inlet) 경로를 통하여 유입되는 압축공기로부터 서로 다른 범위의 순도 및 유량의 질소가스를 발생하되, 산소 흡착제가 충진된 복수의 압력용기를 이용하여 PSA(Pressure Swing Adsorption) 방식에 따라 압축공기로부터 질소가스를 발생하는 적어도 하나의 제1 질소발생 모듈 시스템을 포함하는 복수의 질소발생 모듈 시스템;상기 복수의 질소발생 모듈 시스템의 배출(outlet) 경로에 결합되어 질소가스의 배출모드를 제어하기 위한 모드제어밸브 그룹; 및제1 배출모드에서는 상기 복수의 질소발생 모듈 시스템 중 적어도 하나에서 발생한 질소가스를 독립적으로 배출하고, 제2 배출모드에서는 상기 복수의 질소발생 모듈 시스템 중 적어도 2개에서 발생한 질소가스를 혼합하여 배출하도록, 상기 복수의 질소발생 모듈 시스템 및 상기 모드제어밸브 모듈을 제어함으로써, 배출되는 질소가스의 최종순도 및 최종유량을 제어하는, 컨트롤 모듈을 포함하며,상기 제1 질소발생 모듈 시스템은,서로 병렬로 연결되며, 각각이 서로 직렬로 연결된 복수의 하위 압력용기를 포함하며, 충진된 산소 흡착제를 이용한 산소흡착 및 충진된 산소 흡착제의 재생 동작을 상보적으로 수행하는 제1 및 제2 압력용기 그룹; 상기 제1 및 제2 압력용기 그룹의 동작 상태에 따라서, 상기 제1 및 제2 압력용기에 대한 인입 기능, 질소배출기능, 배기 기능, 및 평형 기능을 수행하는 복수의 밸브 그룹; 상기 제1 및 제2 압력용기 그룹의 하위 압력용기들 사이의 연결 여부를 결정하는 용기 연결 밸브 그룹; 및 상기 제1 및 제2 압력용기 그룹의 동작 상태와 무관하게, 상기 제1 및 제2 압력용기 그룹의 매칭되는 하위 압력용기 사이를 연결하는 미세 평형 경로 그룹을 포함하며,상기 컨트롤 모듈은, 상기 용기 연결 밸브 그룹의 개폐를 제어하여, 상기 제1 및 제2 압력용기 그룹 각각에서 상기 서로 직렬로 연결되어 상보적으로 산소 흡착 및 재생 동작을 수행할 하위 압력용기의 개수를 변경할 수 있는, 다채널 고순도 하이브리드 질소 발생기
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제4 항에 있어서, 상기 복수의 질소발생 모듈 시스템은,멤브레인(membrane) 모듈을 이용하여 지체 투과 원리에 따라 압축공기로부터 질소가스를 발생하는 제2 질소발생 모듈 시스템을 포함하는, 다채널 고순도 하이브리드 질소 발생기
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제4 항 또는 제5 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 압력용기 그룹 각각에 포함된 복수의 하위 압력용기 각각에는,인입 경로를 통하여 유입되는 압축공기를 용기단면 전체로 확산 상승시킴으로써, 압축공기에 의한 용기단면의 중앙부와 가장자리부의 압력 차이를 감소시키는 균압 모듈이 압축공기 주입구에서 일정거리 이격되어 몸체 내부에 장착되는 것을 특징으로 하는, 다채널 고순도 하이브리드 질소 발생기
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